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一種半導體晶粒切割裝置的制作方法

文檔序號:12754151閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種半導體晶粒的切割裝置,包括機架,在機架上安裝有切割絲的輥輪,還有切割絲安裝在輥輪上,切割絲連接動力裝置,動力裝置運行帶動切割絲運行,切割絲運形經過晶棒的加工工位,其特征是:所述的切割絲是鋼絲外面附著有金剛砂的絲線結構。

2.根據權利要求1所述的半導體晶粒的切割裝置,其特征是:切割裝置還有澆淋切割液的澆注裝置,用管道澆注在加工工位,在管道中間設置有冷卻部件。

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