本實用新型涉及電子工業領域，具體地，涉及一種用于蝕刻處理的蝕刻裝置。

背景技術：

許多電子產品例如電視、移動電話、冰箱或甚至在汽車中都可見與平板顯示器的搭配應用。液晶顯示面板由于具有良好的顯示及觸控質量以及相對較低的成本，目前已成為平板顯示器的主流產品。一般來說，液晶顯示及觸控面板需經由一至二道蝕刻工藝，完成導電線路成型的工藝。蝕刻機使用的頻度極高，各大面板廠在蝕刻房建制成本逐步提升。因此，對于作為蝕刻液的酸液氣的腐蝕性防護處理，顯的格外重要。

因此，亟需這樣的一種蝕刻裝置，其能夠有效避免酸蝕刻液和/或蝕刻氣外泄，從而避免對人員可能發生的傷害及蝕刻房銹蝕。

技術實現要素：

本實用新型的目的是為了提供一種能夠有效避免蝕刻過程中蝕刻液和/ 或蝕刻氣，例如，酸和/或酸氣，外泄的技術方案。

為了實現上述目的，本實用新型提供了一種蝕刻裝置，該蝕刻裝置包括：

蝕刻區，該蝕刻區允許待蝕刻物件在其中進行蝕刻處理，且該蝕刻區的上部呈突起狀，所述突起的外側面與所述蝕刻裝置的外壁內側是間隔開的；

水封區，該水封區由所述蝕刻裝置的外壁內側、所述突起的外側面和所述蝕刻區的頂部所形成，該水封區用于捕獲由所述蝕刻區外逸的蝕刻液和/或蝕刻氣。

優選的，所述突起為錐體狀、圓柱狀或多面體狀。

優選的，所述水封區通過流體入口和流體出口被持續的供給用于捕獲外漏的蝕刻液和/或蝕刻氣的流體。

優選的，所述水封區還包括溢流出口，該溢流出口用于外排過量的流體，以使得所述水封區內的流體的高度等于或低于所述突起的高度。

優選的，所述水封區還包括抽氣孔，該抽氣孔用于外排由所述蝕刻區外逸的蝕刻氣和/或蝕刻液，且其高度高于水封區中流體的高度。

優選的，所述蝕刻裝置還包括內蓋，該內蓋用于封閉位于所述蝕刻區上部突起的開口。

優選的，所述內蓋是蝕刻氣和/或蝕刻液可透過的。

優選的，所述蝕刻裝置還包括外蓋，該外蓋用于封閉整個蝕刻裝置。

優選的，所述外蓋是蝕刻氣和/或蝕刻液不可透過的。

優選的，所述外蓋呈水平狀或中間高兩端低的折角狀。

通過在蝕刻裝置中設置水封區，在刻蝕機啟動之后，在所述水封區內持續補給能夠捕獲蝕刻液和/或蝕刻氣的流體并將捕獲的蝕刻液和/或蝕刻氣送至待處理處，可有效避免蝕刻液和/或蝕刻氣外泄到蝕刻房里，造成污染銹蝕。優選的情況下，在水封區高于流體的位置，設置一抽風口，將蝕刻裝置中剩余的蝕刻液和/或蝕刻氣持續抽離，可進一步降低蝕刻液和/或蝕刻氣的外逸。

本實用新型的其它特征和優點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本實用新型，但并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：

圖1是根據本實用新型一種實施方式的蝕刻裝置的示意圖。

附圖標記說明

1 蝕刻區 2 水封區 21 抽氣孔

3 流體入口 4 流體出口 5 溢流口

6 內蓋 7 外蓋

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。

在本實用新型中，在未作相反說明的情況下，使用的術語如：

“上部”是指蝕刻裝置水平放置時，蝕刻區1水平線最高處所形成的突起；

“突起的外側面”是指突起部位背離蝕刻區1而面向水封區2的側面；

“蝕刻裝置的外壁內側”是指蝕刻裝置外殼的內側，也即，面向水封區2或是蝕刻區1的一面；

“蝕刻區1的頂部”是指蝕刻區1未與蝕刻裝置的外壁內側間隔開的部分的水平線最高處。

如圖1所示，本實用新型提供了一種蝕刻裝置，該蝕刻裝置包括蝕刻區 1，該蝕刻區1允許待蝕刻物件在其中進行蝕刻處理，且該蝕刻區1的上部呈突起狀，所述突起的外側面與所述蝕刻裝置的外壁內側是間隔開的；水封區2，該水封區2由所述蝕刻裝置的外壁內側、所述突起的外側面和所述蝕刻區1的頂部所形成，該水封區2用于捕獲由所述蝕刻區1外逸的蝕刻液和 /或蝕刻氣。

根據本實用新型，一般情況下，所述蝕刻區1向外散逸的主要為蝕刻液所形成的蝕刻氣或者為蝕刻區1的噴嘴噴灑蝕刻液所散逸成的微小液滴，而所述外漏的蝕刻液基本上是指由所述外逸的蝕刻氣冷凝后所形成的蝕刻液滴和所述微小液滴。

根據本實用新型，所述蝕刻區1的上部突起的形狀沒有特別的要求，只要其外側面和所述蝕刻區1的頂部以及所述蝕刻裝置的外壁內側能夠形成可存儲流體的通道即可。例如，所述突起的形狀可以為但不限于椎體狀、圓柱狀或多面體狀。優選的，所述突起的形狀為多面體狀，更優選為長方體狀(包括正方體狀)。

本實用新型提供的蝕刻裝置還可以包括多個蝕刻區1和水封區2所形成的重復單元，例如，所述重復單元可以有多個，如可以有三個或四個。但實用新型并不限于此，還可以有更多個，如5個或6個。蝕刻液通常通過噴淋的方式噴灑在蝕刻區1內的待蝕刻物件上，當蝕刻裝置包括蝕刻區1和水封區2的重復單元時，待蝕刻物件可以按照順序依次在多個重復單元內分別經過一段時間的噴淋后，完成整個蝕刻處理。在實用新型的技術方案中，主要是在蝕刻裝置中(蝕刻區1的外周)設置了水封區2，以吸收外逸的蝕刻液和/或蝕刻氣，從而有效避免蝕刻液和/或蝕刻氣的外漏給工作人員以及蝕刻房造成的危害，而并未對蝕刻裝置的結構及其工作過程做重大改進，因此可以參考傳統的蝕刻裝置進行時刻處理。

根據本實用新型，如圖1所示的，所述突起還包括有向上的開口，由此，本實用新型所提供的蝕刻裝置還包括用于封閉所述開口的內蓋6和整個蝕刻裝置的外蓋7。其中，為了實現所述蝕刻區1內的水汽平衡，所述內蓋6的材質是蝕刻液和/或蝕刻氣所能夠通透的(酸氣或酸液因蝕刻槽內噴淋,蝕刻液呈現霧狀的水汽，酸氣流動性高，故內層蓋板無法完全將酸氣隔絕，因此，酸氣可進入到內蓋6和外蓋7所形成的空間)，例如，可以為PVC材質。當所述蝕刻氣穿透所述內蓋6進入至內蓋6和外蓋7所形成的空間后，由于溫度的降低，會部分冷凝形成蝕刻液滴從而粘附在所述外蓋7的內側(其中，所述外蓋7的材質為蝕刻液和/或蝕刻氣不可通透的，例如，可以為但并不限于不可通透的PVC材質)。當液滴不斷增重至超過其負荷后便會滴落至所述水封區2中，而被水封區2中的流體帶走。

其中，本實用新型對于所述外蓋7的形狀沒有特別的要求，其可以為水平狀的，或是具有一定傾角的。優選的，為了便于所述蝕刻液滴能夠更好的滴落至所述水封區2中，所述外蓋7的形狀優選為中間高而兩端低的折角狀。

根據本實用新型，所述水封區2通過不斷的流體流動而將滴落至水封區 2中的蝕刻液帶走，其中，本實用新型對于水封區2內的流體的種類并沒有特別的限制，例如，其可以為純水或堿水等，只要其能夠將所述蝕刻液帶離至待處理處而不會對蝕刻工藝造成影響即可。

其中，如圖1所示的，所述水封區2還包括流體入口3和流體出口4，所述流體的流動通過所述流體入口3和流體出口4不斷的供給流體而完成。所述流體的流動速度本領域技術人員可以根據實際待處理的蝕刻液的情況進行調整。

其中，優選的，為了進一步保證水封區2中的流體的高度不會超過所述突出部位以造成流體內漏至蝕刻區1中，所述水封區2還包括有溢流口5，以使得水封區2內的流體相對于所述突出的高度達到平衡狀態。

根據本實用新型，所述蝕刻區1中的蝕刻液可以為本領域任意的常規用于蝕刻的蝕刻液，本領域技術人員可以根據具體的情況而具體的選擇，例如，所述蝕刻液為可以為酸。

根據本實用新型的一種更為優選的實施方式，為了進一步防止蝕刻液和 /或蝕刻氣的外漏，如圖1所示的，本實用新型的蝕刻裝置的水封區2還包括一個或多個抽氣孔21，以進一步外排沒有滴落至水封區2的流體中的蝕刻液和/或蝕刻氣，從而更加有效地防止蝕刻液和/或蝕刻氣的外漏。

其中，所述抽氣孔21的高度高于水封區2中流體的高度，以能夠順利的將剩余的蝕刻氣以及蝕刻液抽走。所述抽氣孔21的高出水封區2中流體的高度以使得在抽氣系統啟動后不會或基本上不會由于抽力的作用而將水封區2中的流體抽走。

現結合圖1對本實用新型的一種具體的實施方式進行詳細介紹。

首先，將水封區2中的流體入口3打開，并控制流量，使作為流體的水流入水封區2內，待水封區2中的水達到預定的高度時，打開流體出口4以及溢流口5，同時調整水流量使得入水與出水和溢流情況穩定并達到平衡狀態，在所述平衡狀態時，水封區內水的高度低于所述突起的高度(其中，所述突起呈正方體狀)。待水封區2中的入水和出水達到平衡狀態后，蓋上蝕刻液和蝕刻氣可透過的內蓋6，同時開啟抽氣系統，并保證設置在水封區2 中高于流體水的位置處的抽氣孔21正常運作。之后，蓋上蝕刻液和蝕刻氣不可透過的水平外蓋7并啟動蝕刻區1內的蝕刻工序。其中，所述蝕刻區1 內設置有多個向待蝕刻物件噴射蝕刻液的噴嘴，在噴射蝕刻液的過程中蝕刻液會部分散逸為微小的液滴，并通過所述內蓋6而逃離到內蓋6和外蓋7所形成的空間，另外，在蝕刻的過程中所產生的蝕刻氣也會通過所述內蓋6而逃離到內蓋6和外蓋7所形成的空間。當逃離的微小液滴粘附在外蓋7下層并累積成超過其負荷的水珠后便會滴落至水封區2內，從而被水封區2中流水所帶走，而未形成水珠的微小液滴或蝕刻氣則會通過抽氣孔21而被抽離出體系外。

通過采用本實用新型提供的蝕刻裝置，可有效地避免蝕刻過程中蝕刻液和/或蝕刻氣外漏至機房中，從而避免對工作人員造成的傷害以及對其他部件所造成的污染銹蝕。此外，本實用新型提供的蝕刻裝置操作方便，設備結構也比較簡單，且水封區2的維修和清洗液較為方便和容易。

以上結合附圖詳細描述了本實用新型的優選實施方式，但是，本實用新型并不限于上述實施方式中的具體細節，在本實用新型的技術構思范圍內，可以對本實用新型的技術方案進行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本實用新型的保護范圍。

另外需要說明的是，在上述具體實施方式中所描述的各個具體技術特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進行組合。為了避免不必要的重復，本實用新型對各種可能的組合方式不再另行說明。

此外，本實用新型的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合，只要其不違背本實用新型的思想，其同樣應當視為本實用新型所公開的內容。