本技術涉及光學儀器，尤其是涉及一種柱面鏡調節機構及半導體檢測系統。

背景技術：

1、柱面鏡類似于球面透鏡，其雖然與球面透鏡一樣使用曲面聚焦或發散光線，但是二者的聚焦方式不同，柱面鏡僅在一個方向上具有匯聚或發散能力、并且不會影響垂直方向上的光線，而球面透鏡是將光線以旋轉對稱的方式聚焦或均勻發散，因此在很多應用場景下，球面透鏡并不能代替柱面鏡使用。

2、目前，柱面鏡在激光束的控制和整形中起著重要的作用，用于激光片成形和將橢圓光束環形化。柱面鏡的現有安裝方式主要采用以下兩種：(1)通過透鏡支架將柱面鏡沿光軸進行同軸安裝，但是該設置方式無法對柱面鏡進行多自由度調節；(2)通過透鏡支架配合多軸微動載臺，將柱面鏡沿光軸進行同軸安裝、同時可對柱面鏡進行多自由度調節；但是該種設置方式無法對沿柱面鏡的中心軸轉動自由度進行調節、也無法適用安裝于狹小空間處的柱面鏡調節場景。

3、有鑒于此，特提出本實用新型。

技術實現思路

1、本實用新型提供了一種柱面鏡調節機構及半導體檢測系統，以解決現有柱面鏡調節機構不能對狹小空間處的柱面鏡沿柱面鏡的中心軸轉動自由度進行調節的技術問題。

2、本實用新型第一方面提供了一種柱面鏡調節機構，其包括：安裝座；安裝筒，一端可轉動地設置于所述安裝座，另一端自由并用于在筒內腔安裝柱面鏡；以及調節件，連接于所述安裝筒設置于所述安裝座的部位的筒壁上，且在外力作用下能夠帶動所述安裝筒圍繞其中心軸線轉動，以實現所述柱面鏡在所述安裝筒軸線轉動方向自由度的調節。

3、在本實用新型的進一步方案中，所述柱面鏡調節機構還包括：基座，與外部結構件可拆卸連接；以及微動機構，安裝于所述基座并連接所述安裝座，且所述微動機構設置為能夠驅動所述安裝座沿所述安裝筒的軸向運動，以調整所述安裝座及所述安裝筒在所述軸向上的位置。

4、在本實用新型的進一步方案中，所述微動機構包括：固定部分，設置于所述基座上；伸縮部分，連接于所述安裝座；以及驅動部分，設置于所述固定部分上并連接于所述伸縮部分，且所述驅動部分設置為能夠相對所述固定部分旋轉運動，以驅動所述伸縮部分沿所述安裝筒的軸向伸縮運動，以調整所述安裝座及所述安裝筒在所述軸向上的位置。

5、在本實用新型的進一步方案中，所述柱面鏡調節機構還包括多個固定組件，多個所述固定組件分別對應所述基座的不同部分設置。每個所述固定組件包括：壓緊支座，一端用于可拆卸連接在外部結構件上、另一端設置有壓緊孔；以及壓緊螺釘，穿設于所述壓緊孔且一端用于抵接于所述基座，以使多個所述壓緊螺釘相互配合將所述基座固定在所述外部結構件上。

6、在本實用新型的進一步方案中，所述壓緊螺釘的抵接于所述基座的一端為球頭結構。

7、在本實用新型的進一步方案中，所述安裝筒的自由端設置有間隔設置的第一標示線和第二標示線。所述安裝筒的筒壁上設置有固定孔，所述固定孔的中心軸線與所述第一標示線和所述第二標示線的連線平行。所述調節件通過所述固定孔連接于所述安裝筒。

8、在本實用新型的進一步方案中，所述柱面鏡調節機構還包括：緊固件，穿設于所述安裝座，通過與所述安裝座發生相對位置變化實現其與所述安裝筒抵接或脫離，以對所述安裝筒進行緊固或松動調節。

9、在本實用新型的進一步方案中，所述安裝座設置有第一安裝孔，所述第一安裝孔用于收容所述安裝筒的與所述安裝座相連的端部，且所述第一安裝孔的中心軸線與所述基座所在安裝面呈預設角度設置。

10、在本實用新型的進一步方案中，所述安裝座包括：連接部，與所述微動機構連接；以及安裝部，沿所述安裝筒的徑向突出于所述連接部，所述第一安裝孔沿所述軸向貫通設置于所述安裝部。所述安裝座還設置有依次貫穿所述連接部和所述第一安裝孔內壁的第二安裝孔，所述第二安裝孔與所述第一安裝孔連通并用于安裝所述調節件。所述調節件的部分伸出所述第二安裝孔并在外力作用下能夠在所述第二安裝孔中擺動，以帶動所述安裝筒圍繞其中心軸線轉動。

11、本實用新型第二方面提供了一種半導體檢測系統，其包括柱面鏡以及上述所述的柱面鏡調節機構，所述柱面鏡設置在所述安裝筒內。

12、在本實用新型的進一步方案中，所述柱面鏡的輪廓形狀為圓形或方形。

13、綜上所述，本實用新型提供的柱面鏡調節機構及半導體檢測系統至少具有以下有益效果：

14、由于安裝筒為筒狀結構件，在柱面鏡安裝于安裝筒的筒內腔后，則可以通過安裝筒帶著柱面鏡深入到狹小空間內使用。當柱面鏡深入到狹小空間內后不方便觀測柱面鏡的位置，則由于柱面鏡調節機構的調節件設置在安裝筒的遠離柱面鏡的一端，可以在距離柱面鏡較遠的距離，通過向調節件施加外力以帶動安裝筒圍繞其中心軸線轉動，從而帶動柱面鏡圍繞安裝筒的中心軸線轉動，由此實現柱面鏡在狹小空間內的安裝筒軸線轉動方向自由度的調節。同時，在調節件的調節過程中，可以根據調節件的轉動角度變化，就可以判斷柱面鏡的轉動角度，由此提高了柱面鏡調節過程的便捷性和準確性。

技術特征：

1.一種柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，所述柱面鏡調節機構(100)還包括：

3.根據權利要求2所述的柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，所述微動機構(50)包括：

4.根據權利要求2所述的柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，所述柱面鏡調節機構(100)還包括多個固定組件(60)，多個所述固定組件(60)分別對應所述基座(40)的不同部分設置，且每個所述固定組件(60)包括：

5.根據權利要求4所述的柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，所述壓緊螺釘(62)的抵接于所述基座(40)的一端為球頭結構。

6.根據權利要求1-5任一項所述的柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，

7.根據權利要求1-5任一項所述的柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，所述柱面鏡調節機構(100)還包括：

8.根據權利要求2所述的柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，所述安裝座(10)設置有第一安裝孔(a)，所述第一安裝孔(a)用于收容所述安裝筒(20)的與所述安裝座(10)相連的端部，且所述第一安裝孔(a)的中心軸線與所述基座(40)所在安裝面呈預設角度設置。

9.根據權利要求8所述的柱面鏡調節機構(100)，其特征在于，

10.一種半導體檢測系統，其特征在于，包括柱面鏡(200)以及權利要求1-9任一項所述的柱面鏡調節機構(100)，所述柱面鏡(200)設置在所述安裝筒(20)內。

技術總結
本技術提供了一種柱面鏡調節機構及半導體檢測系統，柱面鏡調節機構包括：安裝座；安裝筒，一端可轉動地設置于安裝座，另一端用于安裝柱面鏡；調節件，連接于安裝筒設置于安裝座的部位的筒壁上，且在外力作用下能夠帶動安裝筒圍繞其中心軸線轉動，以實現柱面鏡在安裝筒軸線轉動方向自由度的調節。由于安裝筒為筒狀結構件，則可以通過安裝筒帶著柱面鏡深入到狹小空間內使用；并且由于調節件設置在安裝筒的遠離柱面鏡的一端，可以在距離柱面鏡較遠的距離，通過向調節件施加外力以帶動安裝筒圍繞其中心軸線轉動，從而實現柱面鏡在狹小空間內的安裝筒軸線轉動方向自由度的調節，由此提高了柱面鏡調節過程的便捷性和準確性。

技術研發人員：趙文斌,蔣健君
受保護的技術使用者：北京奧普托科微電子技術有限公司
技術研發日：20240730
技術公布日：2025/4/28