本發(fā)明涉及相變材料,尤其涉及一種紅外寬帶吸收器。
背景技術(shù):
1、隨著光學(xué)材料和納米材料技術(shù)的快速發(fā)展,紅外吸收材料在多個領(lǐng)域,特別是在紅外隱身、熱管理、光熱轉(zhuǎn)換、紅外傳感器和能源吸收等方面的應(yīng)用需求日益增加。傳統(tǒng)的吸收材料主要通過金屬-介質(zhì)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對特定波段光的吸收,但大多數(shù)現(xiàn)有技術(shù)面臨以下問題:吸收帶寬窄,無法覆蓋寬波段:現(xiàn)有的許多紅外吸收材料只能在某一狹窄波段內(nèi)實(shí)現(xiàn)高效吸收,難以覆蓋更廣泛的紅外波段,限制了它們在實(shí)際應(yīng)用中的適用性。吸收效率較低:大多數(shù)傳統(tǒng)吸收材料在特定波段內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)較高的吸收,但整體吸收效率普遍不高,特別是在寬頻段(如1.7μm至12μm)的應(yīng)用中,吸收效率常常難以達(dá)到90%以上。反射率較高,難以實(shí)現(xiàn)低反射率:在實(shí)際應(yīng)用中,尤其是隱身技術(shù)中,低反射率材料至關(guān)重要。然而,許多現(xiàn)有材料在吸收效率與反射率之間的平衡上存在局限,無法有效抑制反射,導(dǎo)致部分光能損失。吸收波段較窄:大部分寬帶吸收主要集中在可見光至2500nm這個區(qū)間,無法進(jìn)一步擴(kuò)展吸收區(qū)間。或者利用光柵、超表面以及其它特殊材料來實(shí)現(xiàn)超寬帶吸收結(jié)構(gòu)為了解決這些問題,這些方法往往無法在整個工作頻段內(nèi)保持電磁阻抗匹配,而且結(jié)構(gòu)復(fù)雜,加工工藝復(fù)雜,且無法實(shí)現(xiàn)超寬帶范圍且高吸收的效果。
2、基于目前的紅外吸收材料存在的缺陷,有必要對此進(jìn)行改進(jìn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、有鑒于此,本發(fā)明提出了一種紅外寬帶吸收器及其制備方法、皮質(zhì)醇濃度檢測方法,以解決或至少部分解決現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷。
2、第一方面,本發(fā)明提供了一種紅外寬帶吸收器,包括:
3、襯底;
4、第一金屬層,位于所述襯底表面;
5、第二金屬層,位于所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底表面;
6、第一介質(zhì)層,位于所述第二金屬層遠(yuǎn)離所述襯底表面;
7、第三金屬層,位于所述第一介質(zhì)層遠(yuǎn)離所述襯底表面;
8、不對稱布拉格結(jié)構(gòu)層,位于所述第三金屬層遠(yuǎn)離所述襯底表面,所述不對稱布拉格結(jié)構(gòu)層包括相互交錯疊加的相變層、介質(zhì)層;所述介質(zhì)層的材料為相變材料或介質(zhì)材料;
9、防反射層,位于所述不對稱布拉格結(jié)構(gòu)層所述襯底表面;
10、其中,所述相變層在紅外波段的虛部折射率小于1;所述相變層的折射率大于1;
11、所述介質(zhì)層在紅外波段的虛部折射率小于1;
12、所述介質(zhì)層的折射率大于2;
13、所述相變層以及介質(zhì)層的厚度均小于1μm。
14、優(yōu)選的,所述相變層的厚度di=n×(λ/4ni)+δd1,其中,n為整數(shù),0﹤δd1≤λ/4ni,λ表示波長,λ≥350nm,ni表示相變層的折射率;
15、所述介質(zhì)層的厚度dj=n×(λ/4nj)+δd2,其中,n為不對稱布拉格結(jié)構(gòu)層中相變層、介質(zhì)層的層數(shù)之和,0﹤δd2≤λ/4nj,λ表示波長,λ≥350nm,nj表示介質(zhì)層的折射率。
16、優(yōu)選的,所述不對稱布拉格結(jié)構(gòu)層的平均反射率rhr,max小于30%。
17、優(yōu)選的,所述防反射層在紅外波段的虛部折射率小于1,所述防反射層的折射率小于相變層以及介質(zhì)層的折射率。
18、優(yōu)選的,所述不對稱布拉格結(jié)構(gòu)層中相變層、介質(zhì)層的層數(shù)之和≥4。
19、優(yōu)選的,所述相變層所用的相變材料包括gete、sbte、snsb、aginsbte、insbte、gesb、se2sb3、sb2s3和gst中的至少一種;
20、和/或,所述防反射層的材料包括氟化物、氧化物、氮化物、藍(lán)寶石、硒化鋅、硫化鋅、氧化鈦、氧化鉿、聚四氟乙烯中的至少一種。
21、優(yōu)選的,所述第一介質(zhì)層的材料為介質(zhì)材料;
22、所述介質(zhì)層的材料為介質(zhì)材料,所述介質(zhì)材料包括五氧化二鉭、鈮酸鋰、硅、氮化硅、二氧化硅、氟化鈣、聚四氟乙烯、氧化鋁、石英、硅、二氧化鈦、五氧化二鉭、硫化鋅、氮化鋁和鎂鋁尖晶石中的至少一種;
23、所述第一介質(zhì)層在紅外波段的虛部折射率小于1;第一介質(zhì)層的折射率大于2。
24、優(yōu)選的,所述介質(zhì)層的材料為相變材料,所述相變材料包括gete、sbte、snsb、aginsbte、insbte、gesb、se2sb3、sb2s3和gst中的至少一種。
25、優(yōu)選的,所述第一金屬層、第二金屬層、第三金屬層所用的材料包括金、鋁、銅、銀、鈦、鉬、鎳、鉻、鐵、鍺中的至少一種;
26、所述第一金屬層、第三金屬層在紅外波段的虛部折射率大于2;
27、所述第一金屬層、第二金屬層、第三金屬層的折射率大于2;
28、所述第一金屬層的厚度大于100nm小于1μm;
29、所述第二金屬層的厚度大于50nm小于1μm;
30、所述第三金屬層的厚度小于200nm大于10nm;
31、所述防反射層的厚度小于1μm;
32、所述相變層的厚度小于500nm。
33、優(yōu)選的,所述不對稱布拉格結(jié)構(gòu)層包括包括依次層疊設(shè)置的第一相變層、第二介質(zhì)層、第二相變層、第三介質(zhì)層、第三相變層、第四介質(zhì)層;
34、其中,防反射層的材料為mgf2、厚度為450~1000nm;
35、第四介質(zhì)層的材料為tio2、厚度為200nm~500nm;
36、第三相變層的材料為ag5in4sb76te17、厚度為10nm~200nm;
37、第三介質(zhì)層的材料為tio2、厚度為10nm~400nm;
38、第二相變層的材料為ag5in4sb76te17,厚度為10nm~400nm;
39、第二介質(zhì)層的材料為tio2、厚度為20nm~400nm;
40、第一相變層的材料為ag5in4sb76te17,厚度為20nm-400nm;
41、第三金屬層的材料為cr、厚度為20nm~300nm;
42、第一介質(zhì)層的材料為tio2、厚度為20nm~400nm;
43、第二金屬層的材料為ge、厚度為50nm~200nm;第一金屬層的材料為cr、厚度>300nm。
44、本發(fā)明的紅外寬帶吸收器相對于現(xiàn)有技術(shù)具有以下有益效果:
45、1、本發(fā)明的紅外寬帶吸收器,包括襯底、第一金屬層、第二金屬層、第一介質(zhì)層、第三金屬層、不對稱布拉格結(jié)構(gòu)層、防反射層;本發(fā)明通過引入不反對稱布拉格結(jié)構(gòu)層與吸收率較高的金屬材料薄膜共同組成一個高效的吸收結(jié)構(gòu)。相變材料與介質(zhì)材料構(gòu)成反對稱的布拉格結(jié)構(gòu),進(jìn)一步提升器件的吸收率,并結(jié)合mgf2低折射率層,通過優(yōu)化各層材料與厚度,實(shí)現(xiàn)對不同波長光的有效抑制反射與增強(qiáng)吸收。該結(jié)構(gòu)可采用磁控濺射等常規(guī)薄膜制備工藝制成,具有超寬帶吸收效率高、制備簡單、可大面積制備等優(yōu)點(diǎn)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的紅外寬帶吸收器結(jié)構(gòu)簡單,且在超寬范圍內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)90%以上的吸收效果,吸收相對帶寬超過152.8%,不僅為超寬光譜探測提供了重大契機(jī),也為超寬光譜對抗與隱身提供了可行的技術(shù)途徑,有望實(shí)現(xiàn)對主、被動復(fù)合傳感探測裝備的對抗與隱身,拓展了材料在紅外吸收、紅外隱身、光熱轉(zhuǎn)換以及傳感等領(lǐng)域的應(yīng)用潛力。