本發明涉及一種激光加工裝置及激光加工方法。

背景技術：

1、已知有一種激光加工裝置，其具備：支撐部，其支撐對象物；光源，其出射激光；空間光調制器，其對自光源出射的激光進行調制；聚光部，其將被空間光調制器調制的激光聚光于對象物；及轉像部，其將空間光調制器中的激光的像轉像于聚光部的入射瞳面(例如參照專利文獻1)。

2、現有技術文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1；日本特開2011-51011號公報

技術實現思路

1、發明所要解決的問題

2、上述那樣的激光加工裝置可將改質區域及龜裂形成于對象物。這樣的改質區域及龜裂的形成可應用于將對象物分割為多個芯片的切割加工、從加工對象物去除不要部分的修整加工等各種加工。

3、本發明的目的在于提供可根據加工而將適當的改質區域及龜裂形成于對象物的激光加工裝置及激光加工方法。

4、解決問題的技術手段

5、本發明的一方面的激光加工裝置為，[1]“一種激光加工裝置，其具備：支撐部，其支撐對象物；光源，其出射激光；空間光調制器，其通過顯示調制圖案而對自上述光源出射的上述激光進行調制；聚光部，其將被上述空間光調制器調制的上述激光聚光于上述對象物；驅動部，其驅動上述支撐部及上述聚光部中的至少一方；及控制部，其至少控制上述空間光調制器及上述驅動部，上述控制部以上述激光的聚光光點處的上述激光的光束形狀成為包含中心部以及從上述中心部呈放射狀延伸的第1延伸部、第2延伸部及第3延伸部且在中心部具有最高的強度的光束形狀的方式，使包含三葉形像差圖案的調制圖案顯示于空間光調制器，在使包含上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器的狀態下，以沿著設定于上述對象物的線使上述聚光光點相對地移動的方式，使上述驅動部驅動上述支撐部及上述聚光部中的至少一方”。

6、在上述[1]所述的激光加工裝置中，在聚光光點處的激光的光束形狀包含中心部以及從中心部呈放射狀延伸的第1延伸部、第2延伸部及第3延伸部且在中心部具有最高的強度的狀態下，該聚光光點沿著設定于對象物的線相對地移動。此時，通過調整光束形狀相對于線的朝向等，能夠調整形成于對象物的改質區域及龜裂中的至少一方的狀態。因此，根據上述[1]所述的激光加工裝置，可根據加工而將適當的改質區域及龜裂形成于對象物。

7、本發明的一方面的激光加工裝置也可以為，[2]“如上述[1]所述的激光加工裝置，其中，在沿著上述線在上述對象物形成改質區域，并且從上述改質區域沿著與上述激光的入射方向及上述線的延伸方向的兩個方向平行的第1面在上述對象物形成龜裂的情況下，上述控制部以上述第1延伸部位于上述線上且相對于上述線，上述第2延伸部位于一側，且相對于上述線，上述第3延伸部位于另一側的方式，使包含上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器”。根據該[2]所述的激光加工裝置，相較于例如調制圖案不包含三葉形像差圖案的情況，可縮小激光的入射方向上的龜裂的寬度。

8、本發明的一方面的激光加工裝置也可以為，[3]“如上述[2]所述的激光加工裝置，其中，上述控制部以上述第1延伸部位于上述聚光光點沿著上述線相對地移動的朝向的前側且上述第2延伸部及上述第3延伸部位于上述朝向的后側的方式，使包含上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器”。根據該[3]所述的激光加工裝置，不僅可縮小激光的入射方向上的龜裂的寬度，也可縮小激光的入射方向上的改質區域的寬度。另外，可可靠地抑制龜裂相對于線蜿蜒。

9、本發明的一方面的激光加工裝置也可以為，[4]“如上述[3]所述的激光加工裝置，其中，在沿著作為上述線而設定于上述對象物的第1線及第2線的各個使上述聚光光點相對地移動的情況下，當沿著上述第1線使上述聚光光點相對地移動的朝向與沿著上述第2線使上述聚光光點的相對地移動的朝向不同時，上述控制部以上述第1延伸部位于上述聚光光點沿著上述第1線及上述第2線的各個相對地移動的朝向的前側且上述第2延伸部及上述第3延伸部位于上述朝向的后側的方式，切換包含上述三葉形像差圖案的上述調制圖案的方向”。根據該[4]所述的激光加工裝置，即使在沿著第1線使聚光光點相對地移動的朝向與沿著第2線使聚光光點相對地移動的朝向不同的情況下，也能夠容易且可靠地實現第1延伸部位于聚光光點沿著第1線及第2線的各個相對地移動的朝向的前側且第2延伸部及第3延伸部位于該朝向的后側的狀態。

10、本發明的一方面的激光加工裝置也可以為，[5]“如上述[2]～[4]中任一個所述的激光加工裝置，其中，上述控制部在將上述激光的上述入射方向上的上述改質區域及上述龜裂中的至少一方的寬度設為第1寬度的情況下，使包含第1三葉形像差強度的上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器，在將上述至少一方的寬度設為較上述第1寬度小的第2寬度的情況下，使包含較上述第1三葉形像差強度強的第2三葉形像差強度的上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器”。根據該[5]所述的激光加工裝置，可根據加工而將激光的入射方向上的改質區域及龜裂中的至少一方的寬度設為適當的寬度。

11、本發明的一方面的激光加工裝置也可以為，[6]“如上述[1]所述的激光加工裝置，其中，在沿著上述線在上述對象物形成改質區域，并且從上述改質區域沿著相對于與上述激光的入射方向及上述線的延伸方向的兩個方向平行的第1面傾斜的第2面在上述對象物形成龜裂的情況下，當上述第2面以上述激光的入射側的相反側的區域位于與上述第1面垂直的方向上的一側的方式傾斜時，上述控制部以相對于上述線，上述第1延伸部位于上述一側，且相對于上述線，上述第2延伸部及上述第3延伸部位于另一側的方式，使包含上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器”。根據該[6]所述的激光加工裝置，能夠使從改質區域延伸的龜裂朝所期望的一側傾斜。

12、本發明的一方面的激光加工裝置也可以為，[7]“如上述[6]所述的激光加工裝置，其中，在沿著作為上述線而設定于上述對象物的第1線及第2線的各個使上述聚光光點相對地移動的情況下，當沿著上述第1線使上述聚光光點相對地移動的朝向與沿著上述第2線使上述聚光光點相對地移動的朝向不同時，上述控制部以相對于上述第1線及第2線的各個，上述第1延伸部位于上述一側，且相對于上述第1線及第2線的各個，上述第2延伸部及上述第3延伸部位于另一側的方式，切換包含上述三葉形像差圖案的上述調制圖案的方向”。根據該[7]所述的激光加工裝置，即使在沿著第1線使聚光光點相對地移動的朝向與沿著第2線使聚光光點相對地移動的朝向不同的情況下，也能夠容易且可靠地實現相對于第1線及第2線的各個，第1延伸部位于一側，且相對于第1線及第2線的各個，第2延伸部及第3延伸部位于另一側的狀態。

13、本發明的一方面的激光加工裝置也可以為，[8]“如上述[6]或[7]所述的激光加工裝置，其中，上述控制部，在將上述第1面與上述第2面之間的角度設為第1角度的情況下，使包含第1三葉形像差強度的上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器，在將上述角度設為較上述第1角度大的第2角度的情況下，使包含較上述第1三葉形像差強度強的第2三葉形像差強度的上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器”。根據該[8]所述的激光加工裝置，能夠根據加工而將從改質區域延伸的龜裂傾斜的角度設為適當的角度。

14、本發明的一方面的激光加工方法為，[9]“一種激光加工方法，是在激光加工裝置中實施的激光加工方法，上述激光加工裝置具備：支撐部，其支撐對象物；光源，其出射激光；空間光調制器，其通過顯示調制圖案而對自上述光源出射的上述激光進行調制；聚光部，其將被上述空間光調制器調制的上述激光聚光于上述對象物；及驅動部，其使上述支撐部及上述聚光部中的至少一方，上述激光加工方法具備：以上述激光的聚光光點處的激光的光束形狀成為包含中心部以及從中心部呈放射狀延伸的第1延伸部、第2延伸部及第3延伸部且在中心部具有最高的強度的光束形狀的方式，使包含三葉形像差圖案的調制圖案顯示于空間光調制器的工序；及在使包含上述三葉形像差圖案的上述調制圖案顯示于上述空間光調制器的狀態下，以沿著設定于上述對象物的線使上述聚光光點相對地移動的方式，使上述驅動部驅動上述支撐部及上述聚光部中的至少一方的工序”。

15、在上述[9]所述的激光加工方法中，在聚光光點處的激光的光束形狀包含中心部以及從中心部呈放射狀延伸的第1延伸部、第2延伸部及第3延伸部且在中心部具有最高的強度的狀態下，該聚光光點沿著設定于對象物的線相對地移動。此時，通過調整光束形狀相對于線的朝向等，能夠調整形成于對象物的改質區域及龜裂中的至少一方的狀態。因此，根據上述[9]所述的激光加工方法，可根據加工而將適當的改質區域及龜裂形成于對象物。

16、發明的效果

17、根據本發明，能夠提供可根據加工而將適當的改質區域及龜裂形成于對象物的激光加工裝置及激光加工方法。