專利名稱：一種可伸縮的電池片吸取裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及太陽能電池生產的PECVD工藝，尤其涉及PECVD工藝中用的吸片裝置。
背景技術：
PECVD是太陽能電池片等離子體化學沉積鍍膜工藝的簡稱，在太陽能電池的生產過程中，對硅片鍍膜是提高太陽能電池吸收效率的關鍵技術，根據硅片的光電轉換發電原理，光線照射到硅片上會產生反射，硅片的光學損失會使太陽能電池的輸出低于理想值，硅片鍍膜技術是提高太陽能電池吸收效率的成熟技術，已在太陽能電池工業化生產中得到廣泛應用，通過PECVD能在硅片表面形成一層減反射膜。太陽能電池鍍膜設備的化學沉積鍍膜原理是在密閉的真空沉積源中裝有多根真空石英管，在每根真空石英管中放有一根銅管，向沉積源中通入硅烷和氨氣，再通過電控部分使真空石英管中的銅管發射出微波，在高溫條件下，沉積源中的硅烷、氨氣和硅片進行反應生成氮化硅，氮化硅會慢慢沉積在電池片表面上，從而實現硅片鍍膜。PECVD完成后，由于擴散爐內的溫度較高，且爐內深度較大，電池片溫度也較高，如果其中出現破裂電池片，或者需要將某片電池片取出時必須使用真空吸片工具，現有的真空吸片工具是真空吸片器， 真空吸片器由真空吸嘴、真空軟管、真空開關組成，真空軟管一端與真空吸嘴密封連接，另一端與真空開關密封連接，吸取電池片時打開真空開關，由于真空負壓，真空吸嘴能夠將電池片吸住，需要放下時關閉真空開關，此時負壓斷開，電池片落下。由于真空吸管由彈性塑料軟管做成，無法支撐吸取距離較遠的電池片。這種真空吸片裝置使用起來很不方便，不僅不易吸取遠處的電池片，而且真空軟管暴露在擴散爐內，在較高溫度環境下使用，其使用壽命不長。因此有必要設計一種能克服現有技術不足的真空吸片裝置。

發明內容
為了在PECVD中能對不同位置的電池片進行吸取操作，本發明提供了一種可伸縮的電池片吸取裝置，用它來進行吸取電池片既便捷又可靠。本發明所采用的技術方案是一種可伸縮的電池片吸取裝置，包括吸嘴、伸縮桿、真空軟管和真空開關，其中，伸縮桿包括手持套桿、過渡套桿和內芯套管，在內芯套管的右端設有連接吸嘴的連接孔，在內芯套管的左端設有限位軸階，吸嘴固定安裝在內芯套管的連接孔中，真空軟管一端密封地套裝在吸嘴的進氣管上，另一端經真空開關與真空氣源相連，在過渡套桿的右端設有過渡內限位軸肩，所述過渡內軸肩的內徑與內芯套管的外徑相對應，在過渡套桿的左端設有過渡外限位軸肩，所述過渡外限位軸肩的外徑與手持套桿的內徑相對應，在手持套桿的右端設有外套內限位軸肩，所述外套內限位軸肩的內徑與過渡套桿的外徑相對應，過渡套桿套裝在手持套桿內，內芯套管套裝在過渡套桿內。進一步，在連接孔內側設有螺紋，在吸嘴待安裝于內芯套管一端固定安裝有一螺母，該螺母的螺紋處于外側，其將吸嘴與內芯套管形成螺旋式固定連接。
進一步，在內芯套管的左端內孔中設有固定真空軟管的彈性固定圈。由于本發明采用了伸縮桿，并將真空軟管套裝在伸縮管內，真空吸嘴固定安裝在內芯套管的前端，真空軟管套在手持套桿、過渡套桿和內芯套管的內孔中，防止真空軟管直接暴露在溫度較高的擴散爐內，影響其使用壽命。伸縮桿結構使得真空吸嘴能進能退，操作者只要調節伸縮桿的長度，操作者本人不需走動就能輕便地對電池片進行吸取，既輕松又方便。


圖1為本發明的伸展狀的結構示意圖；圖2為本發明的縱向剖視結構示意圖；圖3為伸縮桿的結構示意圖；圖中1-吸嘴；2-伸縮桿；3-真空軟管；4-真空開關；5-彈性固定圈；11_螺母； 21-手持套桿；22-過渡套桿；23-內芯套管；231-連接孔；232-限位軸階。
具體實施例方式根據附圖詳細說明本發明的
具體實施例方式一種可伸縮的電池片吸取裝置，如圖1和圖2所示，它由吸嘴1、伸縮桿2、真空軟管3、真空開關4和彈性固定圈5組成，其中，伸縮桿2如圖3所示，它由手持套桿21、過渡套桿22和內芯套管23組成，在內芯套管23的右端設有連接吸嘴1的連接孔231，在內芯套管23的左端設有限位軸階232，連接孔231內側設有螺紋，在吸嘴1待安裝于內芯套管 23 一端固定安裝有一螺母11，該螺母11的螺紋處于外側，其將吸嘴1與內芯套管23形成螺旋式固定連接，真空軟管3設置在手持套桿21、過渡套桿22和內芯套管23的內孔中，一端密封地套裝吸嘴1的進氣管上，另一端經真空開關4與真空氣源相連，在內芯套管23的左端內孔中設有固定真空軟管3的彈性固定圈5，在過渡套桿22的右端設有過渡內限位軸肩，所述過渡內軸肩的內徑與內芯套管23的外徑相對應，在過渡套桿22的左端設有過渡外限位軸肩，所述過渡外限位軸肩的外徑與手持套桿21的內徑相對應，在手持套桿21的右端設有外套內限位軸肩，所述外套內限位軸肩的內徑與過渡套桿22的外徑相對應，過渡套桿 22套裝在手持套桿21內，內芯套管23套裝在過渡套桿22內。
權利要求
1.一種可伸縮的電池片吸取裝置，其特征是包括吸嘴(1)、伸縮桿O)、真空軟管(3) 和真空開關(4)，其中，伸縮桿(2)包括手持套桿(21)、過渡套桿(22)和內芯套管(23)，在內芯套管03)的右端設有連接吸嘴(1)的連接孔031)，在內芯套管03)的左端設有限位軸階032)，吸嘴(1)固定安裝在內芯套管03)的連接孔031)中，真空軟管(3) —端密封地套裝在吸嘴(1)的進氣管上，另一端經真空開關(4)與真空氣源相連，在過渡套桿02) 的右端設有過渡內限位軸肩，所述過渡內軸肩的內徑與內芯套管的外徑相對應，在過渡套桿0 的左端設有過渡外限位軸肩，所述過渡外限位軸肩的外徑與手持套桿的內徑相對應，在手持套桿的右端設有外套內限位軸肩，所述外套內限位軸肩的內徑與過渡套桿0 的外徑相對應，過渡套桿0 套裝在手持套桿內，內芯套管0 套裝在過渡套桿0 內。
2.根據權利要求1所述可伸縮的電池片吸取裝置，其特征是在連接孔031)內側設有螺紋，在吸嘴(1)待安裝于內芯套管03) —端固定安裝有一螺母(11)，該螺母(11)的螺紋處于外側，其將吸嘴(1)與內芯套管03)形成螺旋式固定連接。
3.根據權利要求1所述可伸縮的電池片吸取裝置，其特征是在內芯套管03)的左端內孔中設有固定真空軟管(3)的彈性固定圈(5)。
全文摘要
一種可伸縮的電池片吸取裝置，包括吸嘴、伸縮桿、真空軟管和真空開關，伸縮桿由手持套桿、過渡套桿和內芯套管套裝而成，吸嘴固定安裝在內芯套管的伸出端，真空軟管一端密封地套裝在吸嘴的進氣管上，另一端經真空開關與真空氣源相連。由于采用了伸縮桿，并將真空軟管套裝在伸縮管內，真空吸嘴固定安裝在內芯套管的前端，真空軟管套在手持桿、過渡套桿和內芯套管的內孔中，防止真空軟管直接暴露在溫度較高的擴散爐內，影響其使用壽命。伸縮桿結構使得真空吸嘴能進能退，操作者只要調節伸縮桿的長度，操作者本人不需走動就能輕便地對電池片進行吸取，既輕松又方便。
文檔編號C23C16/44GK102560420SQ20111039048
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月30日 優先權日2011年11月30日
發明者徐新星, 房江明 申請人:常州億晶光電科技有限公司