專利名稱：一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置及其工藝的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種旋轉管的制作裝置及其工藝，特別是涉及一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置及其工藝。
背景技術：
自美國鍍膜設備供應商開發出旋轉陰極靶材，靶材的利用率由傳統矩形平面靶的40%提高到80%，大量節約鍍膜成本，從此旋轉靶材在大面積鍍膜行業得到了廣泛應用。然而，制備長達4米的矩形平面靶尚且不易，而制備相同長度、直徑Φ15(Γ 90πιπι的中空圓柱靶，更為不易，現有旋轉SruSiSruZnAl等低熔點的靶材一般都是采用澆鑄和噴涂工藝。在實際的使用過程中，存在著澆鑄工藝制備的管型管不可避免晶粒的過分長大，影響鍍膜的均勻性；噴涂工藝得到的管型管材料0、N含量都較高，且致密度較低，導致膜層品質與靶材壽命相對較低。由此可見，上述現有的低熔點的靶材的制作工藝，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決低熔點的靶材的制作工藝存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般工藝又未能解決上述問題，因此顯然是相關業者急欲解決的問題。有鑒于上述現有的低熔點的靶材的制作工藝存在的缺陷，本發明人基于多年豐富的實務經驗及專業知識，并配合學理的運用，積極加以研究創新，以期創設一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置及其工藝，能夠改進一般現有的低熔點的靶材的制作工藝，使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計，并經反復試驗，終于創設出確具實用價值的本發明。

發明內容
本發明的主要目的在于，克服現有的低熔點靶材制作工藝存在的缺陷，而提供一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，所要解決的技術問題是使其可以制作帶有內襯管的旋轉靶材，使用具有冷卻作用的環形模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細化，進而得到晶粒細致的旋轉靶材，從而更加適于實用，且具有產業上的利用價值。本發明的另一目的在于，提供一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄工藝，所要解決的技術問題是使其制作的帶有內襯管的旋轉靶材，晶粒細致，從而更加適于實用。本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，包括模具，所述模具內設置有胚料管和內襯管，所述內襯管固定在所述胚料管內，它還包括設置在模具底部的電機，所述電機通過傳動絲桿與所述胚料管相連接，所述電機帶動所述胚料管上下運動。前述的低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，其中，所述模具的中部設置有卡槽，所述卡槽與所述胚料管之間液密封，在所述模具的側壁上設置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。
前述的低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，其中，所述胚料管的底部設置有法蘭，通過法蘭固定所述內襯管。本發明的另一目的在于，提供一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄工藝，所要解決的技術問題是使其制作的帶有內襯管的旋轉靶材，晶粒細致，從而更加適于實用。本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄工藝，應用于低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置中，包括如下步驟
A、將坩堝熔湯倒入帶有內襯管的胚料管內，所述胚料管通過所述電機勻速上升，并保持模具內熔湯的在卡槽上部的高度不變；
B、從設置在模具側壁上的入水口注入冷卻水，從模具側壁上的出水口流出。借由上述技術方案，本發明低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置及其方法至少具有下列優點
本發明使用具有冷卻作用的模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細化，并減少內部縮孔的形成，進而得到缺陷較少，晶粒細致的旋轉靶材。綜上所述，本發明特殊結構的低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，其具有上述諸多的優點及實用價值，并在同類產品中未見有類似的結構設計公開發表或使用而確屬創新，其不論在結構上或功能上皆有較大的改進，在技術上有較大的進步，并產生了好用及實用的效果，且較現有的低熔點的靶材的制作工藝具有增進的多項功效，從而更加適于實用，而具有產業的廣泛利用價值，誠為一新穎、進步、實用的新設計。上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本發明的具體實施方式
由以下實施例及其附圖詳細給出。


圖1為本發明所述的一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置的結構示意圖。
具體實施例方式為更進一步闡述本發明為達成預定發明目的所采取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置及其工藝其具體實施方式
、結構、特征及其功效，詳細說明如后。請參閱圖1所示，本發明較佳實施例的一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，包括模具1，模具1內設置有胚料管3和內襯管2，內襯管2固定在胚料管3內，胚料管3的底部設置有法蘭6，通過法蘭6固定內襯管2。它還包括設置在模具1底部的電機5，電機5通過傳動絲桿4與胚料管3相連接，電機5帶動胚料管3上下運動。模具1的中部設置有卡槽10，卡槽10與胚料管3之間液密封，在模具1的側壁上設置有入水口 7和出水口 8，入水口 7和出水口 8位于卡槽10的上部，入水口 7位于出水口 8的下部。本發明的一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄工藝，應用于低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置中，包括如下步驟A、將坩堝9熔湯倒入帶有內襯管2的胚料管3內，胚料管3通過電機5勻速上升，并保持模具1內熔湯的在卡槽10上部的高度不變；
B、從設置在模具1側壁上的入水口7注入冷卻水，從模具1側壁上的出水口 8流出。上述如此結構構成的本發明一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置及其工藝的技術創新，對于現今同行業的技術人員來說均具有許多可取之處，而確實具有技術進步性。以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，并非對本發明作任何形式上的限制，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發明，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本發明技術方案范圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發明技術方案的范圍內。
權利要求
1.一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，包括模具，其特征在于，所述模具內設置有胚料管和內襯管，所述內襯管固定在所述胚料管內，它還包括設置在模具底部的電機，所述電機通過傳動絲桿與所述胚料管相連接，所述電機帶動所述胚料管上下運動。
2.根據權利要求1所述的低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，其特征在于，所述模具的中部設置有卡槽，所述卡槽與所述胚料管之間液密封，在所述模具的側壁上設置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。
3.根據權利要求1所述的低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，其特征在于，所述胚料管的底部設置有法蘭，通過法蘭固定所述內襯管。
4.一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄工藝，其特征在于，應用于如權利要求1所述的低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置中，包括如下步驟A、將坩堝熔湯倒入帶有內襯管的胚料管內，所述胚料管通過所述電機勻速上升，并保持模具內熔湯的在卡槽上部的高度不變；B、從設置在模具側壁上的入水口注入冷卻水，從模具側壁上的出水口流出。
全文摘要
本發明公開了一種低熔點帶有內襯管合金旋轉靶材的連鑄裝置，包括模具，所述模具內設置有胚料管和內襯管，所述內襯管固定在所述胚料管內，它還包括設置在模具底部的電機，所述電機通過傳動絲桿與所述胚料管相連接，所述電機帶動所述胚料管上下運動。本發明使用具有冷卻作用的模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細化，并減少內部縮孔的形成，進而得到缺陷較少，晶粒細致的旋轉靶材。
文檔編號B22D11/00GK102554149SQ20111044178
公開日2012年7月11日 申請日期2011年12月26日 優先權日2011年12月26日
發明者莊世雄, 朱振華 申請人:昆山全亞冠環保科技有限公司