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一種PVD法制備二硫化鎢納米薄膜的方法與流程

文檔序號(hào):12415581閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種二硫化鎢納米薄膜的制備方法。其特征在于,采用物理氣相沉積(PVD)方法,以二硫化鎢粉末為反應(yīng)源在低真空(460-470Pa)的條件下經(jīng)900℃-1000℃高溫加熱后冷卻得到。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二硫化鎢納米薄膜的制備方法,其特征在于:二硫化鎢粉末為反應(yīng)源,二氧化硅/硅為襯底。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二硫化鎢納米薄膜的制備方法,其特征在于:反應(yīng)系統(tǒng)為水平放置的石英管爐,二硫化鎢粉末被置于水平石英管爐的熱區(qū)中心,二氧化硅/硅襯底置于順著氣流下方14-17cm遠(yuǎn)的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二硫化鎢納米薄膜的制備方法,其特征在于:反應(yīng)源在40分鐘內(nèi)從室溫加熱到900℃-1000℃并維持30分鐘到1小時(shí),然后自然冷卻至室溫。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二硫化鎢納米薄膜的制備方法,其特征在于:整個(gè)過程中氣壓需要嚴(yán)格控制在460-470Pa,高純氬氣的流量為130-160sccm。

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