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一種具有疏水性能的透明隔熱薄膜及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12056969閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種具有疏水性能的透明隔熱薄膜,該薄膜制備于襯底上,其特征在于,由下至上依次為氧化鋅薄膜、鎵摻雜氧化鋅薄膜;所述氧化鋅薄膜的厚度為20~120nm;所述鎵摻雜氧化鋅薄膜厚度為1~2μm。

2.如權(quán)利要求1所述具有疏水性能的透明隔熱薄膜,其特征在于,所述氧化鋅薄膜的厚度為20nm。

3.如權(quán)利要求1所述具有疏水性能的透明隔熱薄膜的制備方法,包含以下步驟:

1)利用射頻磁控濺射法在襯底上濺射一層厚度為20~120nm的氧化鋅薄膜,濺射時(shí)通入氬氣和氧氣,通入氬氣流量與氧氣流量比為2~5:1~3,濺射時(shí)襯底溫度為300~450℃;

2)利用射頻磁控濺射法在氧化鋅薄膜上制備一層厚度為1~2μm的鎵摻雜氧化鋅薄膜,濺射時(shí)襯底溫度為25~300℃。

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