1.用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上設(shè)置有托架(2)，所述托架(2)用于放置石墨舟，所述托架(2)上方設(shè)置有用于取放硅片的機(jī)械手(3)，所述支架(1)上通過(guò)可拆卸裝置固定有硅片上料盒(4)與硅片下料盒(5)，所述機(jī)械手(3)將硅片上料盒(4)內(nèi)的硅片取出后放入石墨舟內(nèi)或?qū)⑹蹆?nèi)的硅片取出后放入硅片下料盒(5)內(nèi)；
所述機(jī)械手(3)包括移動(dòng)平臺(tái)、兩個(gè)互相平行設(shè)置的第一滑軌(302)，兩個(gè)第一滑軌(302)固定在支架(1)上，所述移動(dòng)平臺(tái)(301)的下表面設(shè)置有兩個(gè)互相平行的第一滑槽(303)，兩個(gè)第一滑軌(302)分別卡入兩個(gè)第一滑槽(303)內(nèi)，所述移動(dòng)平臺(tái)(301)上連接有用于使移動(dòng)平臺(tái)(301)來(lái)回移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置(304)，所述移動(dòng)平臺(tái)(301)的上表面設(shè)置有第二滑槽(305)，所述第二滑槽(305)與第一滑槽(303)互相垂直，所述第二滑槽(305)內(nèi)設(shè)置有第一滑塊(306)，所述第一滑塊(306)沿第二滑槽(305)來(lái)回滑動(dòng)，所述第二滑槽(305)內(nèi)設(shè)置有用于使第一滑塊(306)來(lái)回移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置(307)，所述第一滑塊(306)上固定有第一支撐板(308)，所述第一支撐板(308)水平設(shè)置，所述第一支撐板(308)的下表面固定有第一U形支撐架(309)，所述第一支撐板(308)與第一U形支撐架(309)圍成第一通孔(310)，所述移動(dòng)平臺(tái)(301)穿過(guò)第一通孔(310)，所述第一U形支撐架(309)的底部固定有第二支撐板(311)，所述第二支撐板(311)豎直設(shè)置，所述第二支撐板(311)的一側(cè)設(shè)置有第一支撐桿(312)，所述第二支撐板(311)上設(shè)置有用于使第一支撐桿(312)上下移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置(313)，所述第一支撐桿(312)上固定有第一支撐架(314)，所述第一支撐架(314)上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(315)，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(315)通過(guò)軸承固定在第一支撐架(314)上，所述第一支撐架(314)上設(shè)置有用于使第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(315)轉(zhuǎn)動(dòng)的第四驅(qū)動(dòng)裝置(316)，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(315)的末端連接有硅片吸取裝置(317)；
所述硅片吸取裝置(317)包括底座(31701)，所述底座(31701)的一側(cè)表面固定在第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(315)的末端，底座(31701)的另一側(cè)表面固定有多個(gè)卡板(31702)，多個(gè)卡板(31702)依次平行設(shè)置，相鄰的兩個(gè)卡板(31702)之間的間距與石墨舟的兩個(gè)相鄰的石墨板的間距相同，且卡板(31702)的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每個(gè)卡板(31702)上設(shè)置有多個(gè)通孔，每個(gè)通孔的邊緣設(shè)置有多個(gè)固定孔(31703)，每個(gè)固定孔(31703)內(nèi)設(shè)置有一個(gè)固定板(31704)，所述固定板(31704)的厚度小于卡板(31702)的厚度，每個(gè)通孔中心設(shè)置有吸盤(pán)(31705)，吸盤(pán)(31705)上連接有多個(gè)彈簧(31706)，多個(gè)彈簧(31706)與多個(gè)固定孔(31703)一一對(duì)應(yīng)，彈簧(31706)的一端固定在吸盤(pán)(31705)上，另一端固定在固定板(31704)上，所述卡板(31702)的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)線槽(31707)，導(dǎo)線槽(31707)的數(shù)量與通孔的數(shù)量相同，每個(gè)導(dǎo)線槽(31707)與一個(gè)通孔連通，導(dǎo)線槽(31707)內(nèi)設(shè)置有壓縮空氣管(31708)，壓縮空氣管(31708)的一端與空氣壓縮機(jī)相連，另一端與吸盤(pán)(31705)相連，所述吸盤(pán)(31705)、多個(gè)彈簧(31706)、每個(gè)固定孔(31703)內(nèi)的固定板(31704)、每個(gè)導(dǎo)線槽(31707)內(nèi)的壓縮空氣管(31708)均位于卡板(31702)的兩個(gè)表面組成的間隙空間內(nèi)；
所述硅片上料盒(4)包括底板(401)，所述底板(401)的上表面設(shè)置有第一擋板(402)與第二擋板(403)，所述第一擋板(402)與第二擋板(403)平行設(shè)置，所述第一擋板(402)朝向第二擋板(403)的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第一卡槽(404)，所述第二擋板(403)朝向第一擋板(402)的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第二卡槽(405)，多個(gè)第一卡槽(404)與多個(gè)第二卡槽(405)一一對(duì)應(yīng)，硅片的一端卡入第一卡槽(404)內(nèi)，硅片的另一端卡入與第一卡槽(404)對(duì)應(yīng)的第二卡槽(405)內(nèi)，所述相鄰的兩個(gè)第一卡槽(404)之間的間距與相鄰的兩個(gè)卡板(31702)之間的間距相同，所述第一卡槽(404)的數(shù)量與卡板(31702)的數(shù)量相同，所述硅片下料盒(5)與硅片上料盒(4)的結(jié)構(gòu)相同。
2.如權(quán)利要求1所述的用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置，其特征在于：所述第一驅(qū)動(dòng)裝置(304)、第二驅(qū)動(dòng)裝置(307)、第三驅(qū)動(dòng)裝置(313)均為電動(dòng)推桿。
3.如權(quán)利要求2所述的用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置，其特征在于：所述第四驅(qū)動(dòng)裝置(316)為旋轉(zhuǎn)電機(jī)。
4.如權(quán)利要求3所述的用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置，其特征在于：每個(gè)卡板(31702)上通孔的數(shù)量為三個(gè)，且三個(gè)通孔的中心組成一個(gè)等腰三角形。
5.如權(quán)利要求4所述的用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置，其特征在于：所述第一擋板(402)的上端與第二擋板(403)的上端通過(guò)U形連接板(406)相連。
6.如權(quán)利要求5所述的用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置，其特征在于：所述可拆卸裝置為卡扣。