1.一種研磨配置信息的校正方法，應用于晶圓研磨系統，每個所述晶圓研磨系統包括一組研磨頭，一組所述研磨頭中所述研磨頭的數量為多個，其特征在于，所述晶圓研磨系統還包括多個存儲單元，每個所述研磨頭的所述研磨配置信息存儲在對應的所述存儲單元中；所述校正方法包括：
步驟S1，根據每個所述存儲單元中的所述研磨配置信息控制對應的所述研磨頭的工作；
步驟S2，按組對每個所述研磨頭的工作情況進行監控；
步驟S3，根據監控情況找到一組所述研磨頭中存在問題的所述研磨頭；
步驟S4，對存在問題的所述研磨頭對應的所述存儲單元中的所述研磨配置信息進行校正。
2.根據權利要求1所述的校正方法，其特征在于，一組所述研磨頭中所述研磨頭的數量為4個。
3.根據權利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述步驟S2具體為：
收集一組所述研磨頭中每個所述研磨頭研磨的晶圓的表面形貌的數據。
4.根據權利要求3所述的校正方法，其特征在于，所述步驟S3具體為：
找到所述數據中反映出的表面形貌存在差異的所述晶圓對應的所述研磨頭。
5.根據權利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述晶圓研磨系統還包括一研磨墊，所述晶圓放置在所述研磨墊上，所述研磨頭位于所述晶圓上方；
所述研磨頭受到朝向所述晶圓表面的應力，以對所述研磨墊上的所述晶圓進行研磨。
6.根據權利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述研磨配置信息包括研磨液配比和研磨液名稱。
7.根據權利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述晶圓研磨系統還包括一操作界面，所述操作界面與所述每個所述存儲單元連接，以供操作人員對所述存儲單元內的所述研磨配置信息進行校正。
8.一種晶圓研磨系統，其特征在于，應用如權利要求1～7任意一項所述的校正方法。