技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種具有二硼化鈦?金剛石復(fù)合涂層的工件，包括工件基體，以及依次設(shè)置于所述工件基體表面的二硼化鈦涂層和金剛石涂層。本發(fā)明通過在金剛石涂層與工件基體之間設(shè)置二硼化鈦涂層，提高了金剛石涂層與工件基體之間的結(jié)合力，解決了金剛石涂層與基體結(jié)合力不足，金剛石薄膜形核密度低和沉積速度慢的問題。本發(fā)明還提供一種具有二硼化鈦?金剛石復(fù)合涂層的工件的制備方法。

技術(shù)研發(fā)人員：唐永炳;王陶;張松全;蔣春磊;陳光海
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
文檔號碼：201611194326
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.21
技術(shù)公布日：2017.06.13