本實用新型涉及一種刀具生長裝置，具體地說本實用新型涉及一種金剛石涂層刀具生長裝置。

背景技術：

金剛石薄膜是采用物理、化學等方法沉積在襯底材料表面的一層金剛石晶體，金剛石薄膜分為單晶金剛石膜、聚晶金剛石膜和類金剛石膜，它們除了硬度高、導熱系數大、化學穩定性好、摩擦系數小等特性外，還具有合成工藝簡單、質量容易控制、可在形狀復雜的基體表面大面積沉積高質量膜等優點，是一種發展前景廣闊的新型刀具材料，但是現有金剛石涂層刀具生長設備主要采用圓形基片臺和臥式結構，現有結構導致沉積面積較小，鉭絲容易下垂，且沉積不能均勻與持續的問題。

技術實現要素：

為了克服背景技術中的不足，本實用新型公開了一種金剛石涂層刀具生長裝置，通過設置立式結構，實現了沉積面積大、鉭絲不下垂，能長時間均勻沉積的目的。

為實現上述發明目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種金剛石涂層刀具生長裝置，包括真空室、升降基片臺和熱絲裝置，在真空室內設有立式放置的升降基片臺，在升降基片臺的一側設有與升降基片臺并排設置的熱絲裝置，在熱絲裝置的兩端分別設有水冷電極，在升降基片臺的另一側中部設有磁流體，在真空室內分別設有進氣系統和抽氣系統。

所述的金剛石涂層刀具生長裝置，所述抽氣系統的外端與真空泵連接。

所述的金剛石涂層刀具生長裝置，在真空室的一側設有前開門。

由于采用了上述技術方案，本實用新型具有如下優越性：

本實用新型通過設置立式放置的升降基片臺與熱絲裝置，并通過升降基片臺安裝基片及調節基片與熱絲裝置之間的距離，達到了鉭絲不下垂、沉積面積大、長時間均勻沉積的目的。

【附圖說明】

圖1是本實用新型的結構示意圖；

在圖中：1、前開門；2、升降基片臺；3、水冷電極；4、進氣系統；5、抽氣系統；6、熱絲裝置；7、磁流體；8、真空室。

【具體實施方式】

通過下面的實施例可以更詳細的解釋本實用新型，本實用新型并不局限于下面的實施例；

結合附圖1所述的金剛石涂層刀具生長裝置，包括真空室8、升降基片臺2和熱絲裝置6，在真空室8內設有立式放置的升降基片臺2，在升降基片臺2的一側設有與升降基片臺2并排設置的熱絲裝置6，在熱絲裝置6的兩端分別設有水冷電極3，在升降基片臺2的另一側中部設有磁流體7，在真空室8內分別設有進氣系統4和抽氣系統5。

所述的金剛石涂層刀具生長裝置，所述抽氣系統5為真空泵。

所述的金剛石涂層刀具生長裝置，在真空室8的一側設有前開門1。

實施本實用新型所述的金剛石涂層刀具生長裝置，在使用時通過打開前開門1安裝升降基片臺2，在升降基片臺2上放好基片，通過真空泵抽出真空室8內的真空，并通過進氣系統4充入工作氣體，并通過立式結構的熱絲裝置6將工作氣體離化，調整好升降基片臺2上基片與熱絲裝置6中熱絲的距離，在升降基片臺2上就能達到大面積均勻的金剛石涂層刀具。

本實用新型未詳述部分為現有技術。

為了公開本實用新型的發明目的而在本文中選用的實施例，當前認為是適宜的，但是，應了解的是，本實用新型旨在包括一切屬于本構思和實用新型范圍內的實施例的所有變化和改進。