麻豆精品无码国产在线播放,国产亚洲精品成人AA片新蒲金,国模无码大尺度一区二区三区,神马免费午夜福利剧场

遮擋裝置及真空濺射機的制作方法

文檔序號:12179687閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種遮擋裝置,用于在真空鍍膜過程中遮擋一基板的邊緣,其特征在于,包括:

框體,所述框體的中間呈鏤空結構;以及

用于在真空環境下控制所述框體相對于所述基板移動的至少一個第一驅動單元;以及

連接于所述框體的至少一個第二驅動單元。

2.如權利要求1所述的遮擋裝置,其特征在于,所述框體呈長方體或正方體,具有四條邊以及四條邊依次相交形成的四個邊角。

3.如權利要求2所述的遮擋裝置,其特征在于,所述遮擋裝置包括八個所述第一驅動單元,每個所述邊角對應的兩條邊各連接一個所述第一驅動單元。

4.如權利要求2所述的遮擋裝置,其特征在于,所述第一驅動單元包括一螺絲和一馬達,所述螺絲連接至所述邊角,所述馬達帶動所述螺絲旋動,并帶動所述遮擋裝置移動。

5.如權利要求2所述的遮擋裝置,其特征在于,所述第二驅動單元連接于所述四條邊的其中一條邊的中心。

6.如權利要求5所述的遮擋裝置,其特征在于,所述四條邊的中心均連接一所述第二驅動單元。

7.如權利要求1所述的遮擋裝置,其特征在于,所述框體與所述基板平行設置,所述框體的鏤空結構投影在所述基板的中心。

8.如權利要求7所述的遮擋裝置,其特征在于,所述框體的中間具有長方形鏤空結構或正方形鏤空結構。

9.一種真空濺射機,其特征在于,包括:

腔體;

用于放置基板的載臺,所述載臺位于所述腔體中;以及

如權利要求1~8中任意一項所述的遮擋裝置,所述遮擋裝置位于所述載臺的上方。

10.如權利要求9所述的真空濺射機,其特征在于,所述第一驅動單元控制所述遮擋裝置在垂直方向和水平方向上相對于所述載臺移動。

當前第2頁1 2 3 
網友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1
主站蜘蛛池模板: 宜州市| 彭水| 云龙县| 蒙阴县| 犍为县| 保定市| 顺平县| 水城县| 莱州市| 咸宁市| 车致| 夏邑县| 怀安县| 广德县| 盈江县| 澎湖县| 定远县| 册亨县| 乐东| 顺义区| 福鼎市| 宁德市| 靖安县| 封开县| 武功县| 收藏| 饶河县| 闽侯县| 龙泉市| 峡江县| 监利县| 长武县| 新津县| 左贡县| 延安市| 达州市| 县级市| 长岛县| 无锡市| 牟定县| 丹巴县|