技術總結
本實用新型公開一種緊湊型柔性基材磁控濺射鍍膜設備，是在真空室內設有分區隔板，真空室內的空間分隔成卷繞區和鍍膜區，分區隔板上設有供柔性基材通過用的通孔，柔性基材貫穿于整個真空室中，加熱器和離子源設于卷繞區內，磁控濺射裝置設于鍍膜區內；鍍膜區內設有多個單元隔板，將鍍膜區內的空間分隔成一個柔性基材輸送單元和多個鍍膜單元。其方法是分別對真空室內的卷繞區和鍍膜區進行抽真空，放卷輥放出的柔性基材先經過卷繞區，在卷繞區內進行離子處理和預加熱，再送入鍍膜區，由多個鍍膜單元依次進行濺射鍍膜，最后送至卷繞區，由收卷輥進行收卷。本實用新型結構緊湊，節約設備成本，同時可有效防止不同工藝階段的工作氣氛相互影響。

技術研發人員：朱建明;李金清
受保護的技術使用者：肇慶市科潤真空設備有限公司
文檔號碼：201620689314
技術研發日：2016.06.30
技術公布日：2017.01.04