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一種單晶硅柱面拋光磨具的制作方法

文檔序號:12419433閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種單晶硅柱面拋光磨具,其特征在于,包括板狀載體(1),安裝在板狀載體(1)上且具有拋光面的拋光體(2);所述拋光體(2)上拋光面的長度為35~55mm。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅柱面拋光磨具,其特征在于,所述拋光體(2)粘接在板狀載體(1)上,且拋光體(2)由金剛石材質構成。

3.根據權利要求1所述的一種單晶硅柱面拋光磨具,其特征在于,所述拋光體(2)由兩個以上截面呈圓形或橢圓形的拋光柱組成。

4.根據權利要求3所述的一種單晶硅柱面拋光磨具,其特征在于,所述拋光柱的中心軸線均與板狀載體(1)垂直,且拋光體(2)中拋光柱呈直線緊密排列在板狀載體(1)上。

5.根據權利要求3所述的一種單晶硅柱面拋光磨具,其特征在于,所述拋光體(2)中拋光柱的數量為四個,且拋光體(2)上拋光面的長度為40~50mm。

6.根據權利要求1所述的一種單晶硅柱面拋光磨具,其特征在于,所述拋光體(2)為兩個,分別固定在板狀載體(1)的相對兩端。

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