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一種單晶硅柱面拋光磨具的制作方法

文檔序號:12419433閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了一種單晶硅柱面拋光磨具,解決了現有技術中的拋光模具使用效果不理想的問題,本實用新型包括板狀載體(1),安裝在板狀載體(1)上且具有拋光面的拋光體(2);所述拋光體(2)上拋光面的長度為35~55mm。本實用新型具有有效使單晶硅柱面的表面粗糙度等達到設計的技術指標,甚至能超過普通磨床的加工效果的優點。

技術研發人員:陳興建;江宗宇
受保護的技術使用者:成都貝瑞光電科技股份有限公司
文檔號碼:201620774586
技術研發日:2016.07.22
技術公布日:2016.12.14

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