技術特征：

技術總結
本發明公開了一種兩相復合納米涂層，所述兩相分別為金屬相和陶瓷相，陶瓷相為納米結構，金屬相包圍在陶瓷相納米周圍，形成網絡結構。其中陶瓷相為納米TiC或TiN；所述金屬相為Ti、Cu、或Ni。本發明還公開了制備上述兩相復合納米涂層的方法,采用多靶位、靶材基座能旋轉選擇工作靶材的濺射設備；在濺射設備中采用脈沖交替濺射純金屬靶及合金靶，形成所述金屬相和陶瓷相復合形成的兩相納米涂層。本發明提供的兩相復合納米涂層，其金屬相為軟相，包圍硬相陶瓷相納米結構形成網絡的微觀結構的設計使得本涂層綜合涂層致密、具有良好的韌性和硬度的優點，從而達到高硬度、高韌性、高耐磨的涂層優點。

技術研發人員：劉和勇
受保護的技術使用者：安徽智聯投資集團有限公司
技術研發日：2017.03.04
技術公布日：2017.10.03