本技術涉及圓晶打磨，尤其涉及一種單片晶圓的邊緣打磨裝置。

背景技術：

1、晶圓邊緣打磨是半導體制造過程中的一個重要步驟，目的是去除晶圓邊緣的缺陷，提高晶圓的強度和穩定性。從而去除切割產生的微裂紋和缺陷。提高晶圓強度，減少后續加工中的破損風險。改善晶圓邊緣形狀，便于后續處理。

2、在現有的對晶圓進行打磨的過程中，普遍都是通過機械化統一的切割打磨。而通過機械化統一的切割打磨，打磨完成后因為流程化的生產，可能會產生打磨未完全的晶圓個體，從而導致對晶圓浪費。

3、上述方案中出現可能會產生打磨未完全晶圓個體的問題，通過在裝置側面貼合位置安裝打磨砂輪，再通過打磨砂輪自轉以及圍繞晶圓進行旋轉，從而可以解決單片晶圓未進行打磨的問題。

4、但是在對單片晶圓進行打磨的過程中，由于砂輪始終處于固定狀態，而對其進行更換極為不便，從而使砂輪無法一直保持有效的切削性能和形狀精度，從而導致無法有效去除晶圓側面的多余材質，導致加工表面粗糙、尺寸不準確，影響工件的質量和精度。而且失去切削性能的砂輪可能會導致工件過熱，造成熱損傷，從而降低工件的機械性能和壽命。

技術實現思路

1、本實用新型的目的是解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，其解決的技術問題是現有砂輪無法始終保持有效切削性能和形狀精度的問題。

2、為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

3、一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，包括底座和晶圓本體，所述底座的頂端設置有l型桿一和l型桿二，所述l型桿一的底端固定連接有連接桿，所述連接桿遠離打磨修整器的一端頂部固定連接有打磨修整器，所述打磨修整器的頂端設置有砂輪，所述打磨修整器用于對砂輪進行打磨。從而可以保持砂輪的切削性能和形狀精度。

4、作為本實用新型的進一步改進，所述砂輪靠近l型桿一一側轉動連接有轉動桿，所述轉動桿遠離砂輪一端固定連接在l型桿一的表面，所述砂輪遠離轉動桿的一側固定連接有嚙合固定管。從而可以對晶圓本體進行打磨，并防止打磨機構與晶圓本體產生位置偏移。

5、作為本實用新型的進一步改進，所述嚙合固定管遠離砂輪一側的內部嚙合有嚙合桿，所述嚙合桿遠離嚙合固定管一側設置有電機二，所述電機二遠離嚙合桿的一側固定連接在l型桿二的側面。從而可以使得在對晶圓本體固定完成后啟動打磨機構。

6、作為本實用新型的進一步改進，所述底座的頂端固定連接有電機一，所述電機一的輸出端固定連接有連接柱，所述l型桿一固定連接在連接柱的側面，所述連接柱遠離電機一的一側轉動連接有擠壓件一。從而可以帶動晶圓本體圍繞電機一的中心軸進行旋轉。

7、作為本實用新型的進一步改進，所述l型桿二靠近擠壓件一的一側轉動連接有擠壓件二，所述l型桿二遠離擠壓件二的一段固定連接有插接滑動桿，所述插接滑動桿的頂端內部固定連接有彈簧一，所述彈簧一的頂端固定連接有三角塊。從而可以使得擠壓件一和擠壓件二貼緊晶圓本體后進行卡固。

8、作為本實用新型的進一步改進，所述l型桿一的內部插接有手動按壓桿，所述手動按壓桿的底端頂面四角均固定連接有彈簧二，四個所述彈簧二的頂端均固定連接在l型桿一的內壁上。從而可以在打磨完成后將擠壓件一和擠壓件二進行分離。

9、作為本實用新型的進一步改進，所述擠壓件一和擠壓件二相互靠近一側均為軟墊設計。從而可以防止對晶圓本體產生損壞。

10、作為本實用新型的進一步改進，所述打磨修整器所采用的材質為金剛石材質。從而可以更好的使砂輪具有打磨性能。

11、本實用新型與現有技術相比，其有益效果為：

12、1、通過砂輪和打磨修整器，通過電機二帶動砂輪進行旋轉，由于打磨修整器始終處于砂輪的底端，從而可以達到對砂輪進行持續修整的效果，從而維持砂輪表面的銳利度，確保持續的高效切削能力。通過持續的修整還能保持砂輪的幾何形狀準確性，確保工件尺寸和形狀精度。也減少了工件表面粗糙度，降低加工缺陷的產生。還防止砂輪的過度磨損，從而減少更換頻率，降低成本，以及減少因砂輪性能下降需要更換時，導致的停機時間，從而保持穩定的加工效率。也提高了加工的精度，降低不合格品的產生率，從而提高整體生產質量。

13、2、通過電機一、l型桿一、l型桿二和電機二，由電機一帶動l型桿一和l型桿二進行旋轉，以及電機二帶動砂輪進行旋轉，從而使得在對晶圓本體進行打磨時，砂輪可以自轉打磨的同時圍繞晶圓本體進行公轉打磨，通過砂輪自轉和圍繞晶圓本體進行公轉的組合運動，可以使磨削過程更加均勻，確保整個晶圓本體側面都能得到充分的磨削，避免局部過度磨損或磨削不足的情況。而且同時進行自轉和公轉打磨可以增加磨削面積，提高磨削效率，縮短加工時間，提高生產效率。這種組合運動可以減小磨削面的不平整度，降低表面粗糙度，提高加工質量，使晶圓本體表面更加光滑均勻。而且均勻的磨削有利于減少砂輪的磨損，延長工具的使用壽命，降低生產成本。

技術特征：

1.一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，包括底座（101）和晶圓本體（300），其特征在于，所述底座（101）的頂端設置有l型桿一（104）和l型桿二（107），所述l型桿一（104）的底端固定連接有連接桿（203），所述連接桿（203）遠離打磨修整器（204）的一端頂部固定連接有打磨修整器（204），所述打磨修整器（204）的頂端設置有砂輪（202），所述打磨修整器（204）用于對砂輪（202）進行打磨。

2.根據權利要求1所述的一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，其特征在于，所述砂輪（202）靠近l型桿一（104）一側轉動連接有轉動桿（201），所述轉動桿（201）遠離砂輪（202）一端固定連接在l型桿一（104）的表面，所述砂輪（202）遠離轉動桿（201）的一側固定連接有嚙合固定管（205）。

3.根據權利要求2所述的一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，其特征在于，所述嚙合固定管（205）遠離砂輪（202）一側的內部嚙合有嚙合桿（206），所述嚙合桿（206）遠離嚙合固定管（205）一側設置有電機二（207），所述電機二（207）遠離嚙合桿（206）的一側固定連接在l型桿二（107）的側面。

4.根據權利要求1所述的一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，其特征在于，所述底座（101）的頂端固定連接有電機一（102），所述電機一（102）的輸出端固定連接有連接柱（103），所述l型桿一（104）固定連接在連接柱（103）的側面，所述連接柱（103）遠離電機一（102）的一側轉動連接有擠壓件一（105）。

5.根據權利要求4所述的一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，其特征在于，所述l型桿二（107）靠近擠壓件一（105）的一側轉動連接有擠壓件二（106），所述l型桿二（107）遠離擠壓件二（106）的一段固定連接有插接滑動桿（108），所述插接滑動桿（108）的頂端內部固定連接有彈簧一（109），所述彈簧一（109）的頂端固定連接有三角塊（110）。

6.根據權利要求5所述的一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，其特征在于，所述l型桿一（104）的內部插接有手動按壓桿（111），所述手動按壓桿（111）的底端頂面四角均固定連接有彈簧二（112），四個所述彈簧二（112）的頂端均固定連接在l型桿一（104）的內壁上。

7.根據權利要求5所述的一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，其特征在于，所述擠壓件一（105）和擠壓件二（106）相互靠近一側均為軟墊設計。

8.根據權利要求1所述的一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，其特征在于，所述打磨修整器（204）所采用的材質為金剛石材質。

技術總結
本技術公開了一種單片晶圓的邊緣打磨裝置，涉及圓晶打磨技術領域，包括底座和晶圓本體，所述底座的頂端設置有L型桿一和L型桿二，所述L型桿一的底端固定連接有連接桿，所述連接桿遠離打磨修整器的一端頂部固定連接有打磨修整器，所述打磨修整器的頂端設置有砂輪，所述打磨修整器用于對砂輪進行打磨。本技術的主要優點在于通過砂輪和打磨修整器，可以達到對砂輪進行持續修整，從而維持砂輪表面的銳利度，確保持續的高效切削能力。通過持續的修整還能保持砂輪的幾何形狀準確性，確保工件尺寸和形狀精度。也減少了工件表面粗糙度，降低加工缺陷的產生。

技術研發人員：甘志金,俞榮貴,張德海
受保護的技術使用者：安徽富樂德長江半導體材料股份有限公司
技術研發日：20240628
技術公布日：2025/4/28