[]本技術涉及一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極。

背景技術：

0、[背景技術]

1、現有的真空磁控濺射鍍膜設備中，為了提高生產效益，減少更換膜系的時間，一般在同一真空腔體10內設置多個如圖1所示的旋轉陰極，并在每個旋轉陰極上安裝不同靶材，在鍍膜生產時根據客戶需求使用部分旋轉陰極進行濺射鍍膜工作，此時真空腔體內的離子和濺射物脫離磁場約束后向各個方向都有運動，使得濺射物散落到不被使用的旋轉陰極的靶材上，對該靶材造成污染，導致下次使用該被污染的靶材時得到的膜層是非正常膜層，影響正常的生產效果。

技術實現思路

0、[
技術實現要素：
]

1、本實用新型克服了現有技術的不足，提供了一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極。

2、為實現上述目的，本實用新型采用了下列技術方案：

3、一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：包括有兩個設置于真空腔體內的連接座，兩連接座之間設有可轉動的旋轉陰極主體，旋轉陰極主體外側設有可繞旋轉陰極主體轉動的弧形護罩，弧形護罩連接有在旋轉陰極主體不工作時驅動弧形護罩轉動遮擋濺射區域以及在旋轉陰極主體工作時驅動弧形護罩轉動露出濺射區域的轉動驅動組件。

4、如上所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：轉動驅動組件包括有套設在一側連接座上且可轉動的驅動輪，弧形護罩一端與驅動輪連接，真空腔體內設有與驅動輪連接傳動的驅動軸，真空腔體外側設有驅動電機，驅動電機與驅動軸之間設有連接傳動的皮帶，弧形護罩另一端套設在旋轉陰極主體上。

5、如上所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：旋轉陰極主體包括有靶筒，靶筒兩端分別設有封閉靶筒的端蓋，端蓋外側套設有將端蓋鎖定在靶筒上的卡箍，兩側端蓋分別與兩側連接座轉動連接，弧形護罩另一端套設在一卡箍外側。

6、如上所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：真空腔體內設有驅動軸底座，驅動軸設置在驅動軸底座上。

7、如上所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：驅動輪外側側面上設有驅動輪齒輪，驅動軸一端伸出驅動軸底座，驅動軸伸出端外側側面上設有與驅動輪齒輪嚙合的驅動軸齒輪。

8、如上所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：一連接座設置在驅動軸底座上。

9、如上所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：弧形護罩的開口部圓心角角度范圍為180-240度。

10、如上所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：驅動電機為伺服電機。

11、本實用新型的有益效果是：

12、本實用新型在旋轉陰極主體外側設置可繞旋轉陰極主體轉動的弧形護罩，在旋轉陰極主體不工作時驅動弧形護罩轉動到正面位置遮擋濺射區域，以及在旋轉陰極主體工作時驅動弧形護罩轉動背面位置露出濺射區域，從而實現各旋轉陰極主體之間的防污保護功能。

技術特征：

1.一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：包括有兩個設置于真空腔體(10)內的連接座(1)，兩連接座(1)之間設有可轉動的旋轉陰極主體(2)，旋轉陰極主體(2)外側設有可繞旋轉陰極主體(2)轉動的弧形護罩(3)，弧形護罩(3)連接有在旋轉陰極主體(2)不工作時驅動弧形護罩(3)轉動遮擋濺射區域以及在旋轉陰極主體(2)工作時驅動弧形護罩(3)轉動露出濺射區域的轉動驅動組件(4)。

2.根據權利要求1所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：轉動驅動組件(4)包括有套設在一側連接座(1)上且可轉動的驅動輪(41)，弧形護罩(3)一端與驅動輪(41)連接，真空腔體(10)內設有與驅動輪(41)連接傳動的驅動軸(42)，真空腔體(10)外側設有驅動電機，驅動電機與驅動軸(42)之間設有連接傳動的皮帶(43)，弧形護罩(3)另一端套設在旋轉陰極主體(2)上。

3.根據權利要求2所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：旋轉陰極主體(2)包括有靶筒(21)，靶筒(21)兩端分別設有封閉靶筒(21)的端蓋(22)，端蓋(22)外側套設有將端蓋(22)鎖定在靶筒(21)上的卡箍(23)，兩側端蓋(22)分別與兩側連接座(1)轉動連接，弧形護罩(3)另一端套設在一卡箍(23)外側。

4.根據權利要求2所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：真空腔體(10)內設有驅動軸底座(44)，驅動軸(42)設置在驅動軸底座(44)上。

5.根據權利要求4所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：驅動輪(41)外側側面上設有驅動輪齒輪(45)，驅動軸(42)一端伸出驅動軸底座(44)，驅動軸(42)伸出端外側側面上設有與驅動輪齒輪(45)嚙合的驅動軸齒輪(46)。

6.根據權利要求4所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：一連接座(1)設置在驅動軸底座(44)上。

7.根據權利要求1所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：弧形護罩(3)的開口部圓心角角度范圍為180-240度。

8.根據權利要求2所述的一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，其特征在于：驅動電機為伺服電機。

技術總結
本技術公開了一種帶防污旋轉護罩的旋轉陰極，包括有兩個設置于真空腔體內的連接座，兩連接座之間設有可轉動的旋轉陰極主體，旋轉陰極主體外側設有可繞旋轉陰極主體轉動的弧形護罩，弧形護罩連接有在旋轉陰極主體不工作時驅動弧形護罩轉動遮擋濺射區域以及在旋轉陰極主體工作時驅動弧形護罩轉動露出濺射區域的轉動驅動組件，實現各旋轉陰極主體之間的防污保護功能。

技術研發人員：朱世元,柯紹鍇
受保護的技術使用者：金耀真空設備（中山）有限公司
技術研發日：20240715
技術公布日：2025/4/28