本技術涉及芯片加工，尤其涉及一種適用于mems芯片的磨邊裝置。

背景技術：

1、半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，硅是各種半導體材料應用中最具有影響力的一種，硅片生產過程中需要對其外壁邊緣進行倒角加工，其過程需要使用到倒角磨邊機進行操作，以滿足半導體硅片的使用要求。

2、經檢索，專利：一種芯片生產加工用邊緣打磨裝置(cn202122816664.3)，所述打磨組件包括有組件外殼、限位組件、轉動軸、打磨塊、套接外筒與限制對接槽，其中限位組件固定在組件外殼的內端兩側，所述轉動軸固定在組件外殼上端中側，所述套接外筒套在轉動軸的下端上側，其中限制對接槽開設在轉動軸的下端中側。但是上述裝置在使用時還存在一些缺陷，不能進行調整角度，導致不能高精度的打磨。

3、有鑒于上述的缺陷，本設計人，積極加以研究創新，以期創設一種新型結構的適用于mems芯片的磨邊裝置，使其更具有產業上的利用價值。

技術實現思路

1、為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種適用于mems芯片的磨邊裝置。

2、為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

3、一種適用于mems芯片的磨邊裝置，包括固定底座，所述固定底座的一側開設有滑槽，所述滑槽上滑動連接有滑塊，所述滑塊上連接有固定滑板，所述固定滑板上連接有第一固定支架，所述第一固定支架的頂端外側連接有旋轉電機，所述旋轉電機的驅動軸上連接有旋轉固定板，所述旋轉固定板上連接有吸盤，所述固定底座的另一側連接有第二固定支架，所述第二固定支架上連接有用于產品倒角打磨的打磨組件；

4、所述打磨組件包括打磨電機和打磨盤，所述第二固定支架的頂端上連接有固定橫桿，所述固定橫桿上連接有用于調節打磨電機角度的第一調節固定板和第二調節固定板，所述第一調節固定板和第二調節固定板均呈弧形結構，沿弧形結構的所述第一調節固定板和第二調節固定板的中軸線處均開設有導槽，所述導槽內連接有導向塊，所述導向塊之間連接有導向連接板，所述導向連接板的中心處連接有打磨電機，所述打磨電機的驅動軸上連接有打磨盤，所述導向連接板上連接有角度調節電機，所述角度調節電機的驅動軸上連接有調節齒輪，所述固定橫桿上連接有與調節齒輪相嚙合的調節齒條。

5、優選地，所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，所述固定底座上連接有防塵罩。

6、優選地，所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，所述固定橫桿通過轉軸連接有第二固定支架上。

7、優選地，所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，所述固定橫桿的底部連接有支撐桿。

8、優選地，所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，所述支撐桿為可伸縮結構的支撐桿，伸縮結構的所述支撐桿上開設有調節孔，調節孔內連接有固定螺栓。

9、優選地，所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，所述第一調節固定板和第二調節固定板的弧度在0°至60°。

10、借由上述方案，本實用新型至少具有以下優點：

11、本實用新型可以實現多角度的打磨，確保產品打磨的精確性，同時本實用新型才能調節產品使產品打磨的位置更為準確，提高打磨的準確性，減少返工的問題，從而提高工作效率的目的。

12、上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。

技術特征：

1.一種適用于mems芯片的磨邊裝置，其特征在于：包括固定底座(1)，所述固定底座(1)的一側開設有滑槽(3)，所述滑槽(3)上滑動連接有滑塊，所述滑塊上連接有固定滑板(4)，所述固定滑板(4)上連接有第一固定支架(5)，所述第一固定支架(5)的頂端外側連接有旋轉電機(6)，所述旋轉電機(6)的驅動軸上連接有旋轉固定板(7)，所述旋轉固定板(7)上連接有吸盤(8)，所述固定底座(1)的另一側連接有第二固定支架(9)，所述第二固定支架(9)上連接有用于產品倒角打磨的打磨組件(10)；

2.根據權利要求1所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，其特征在于：所述固定底座(1)上連接有防塵罩(2)。

3.根據權利要求1所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，其特征在于：所述固定橫桿(103)通過轉軸連接有第二固定支架(9)上。

4.根據權利要求1或3所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，其特征在于：所述固定橫桿(103)的底部連接有支撐桿(111)。

5.根據權利要求4所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，其特征在于：所述支撐桿(111)為可伸縮結構的支撐桿，伸縮結構的所述支撐桿上開設有調節孔，調節孔內連接有固定螺栓。

6.根據權利要求1所述的一種適用于mems芯片的磨邊裝置，其特征在于：所述第一調節固定板(104)和第二調節固定板(105)的弧度在0°至60°。

技術總結
本技術涉及一種適用于MEMS芯片的磨邊裝置，包括固定底座，所述固定底座的一側開設有滑槽，所述滑槽上滑動連接有滑塊，所述滑塊上連接有固定滑板，所述固定滑板上連接有第一固定支架，所述第一固定支架的頂端外側連接有旋轉電機，所述旋轉電機的驅動軸上連接有旋轉固定板，所述旋轉固定板上連接有吸盤，所述固定底座的另一側連接有第二固定支架，所述第二固定支架上連接有用于產品倒角打磨的打磨組件。本技術能提高打磨的工作效率。

技術研發人員：王丹丹,劉彤,張海皓
受保護的技術使用者：蘇州恒芯微電子有限公司
技術研發日：20240722
技術公布日：2025/4/28