本技術涉及真空蒸鍍機，特別涉及一種鍍鍋放置底座及真空蒸鍍裝置。

背景技術：

1、鍍鍋放置底座主要用于支撐和固定鍍鍋，它可以幫助操作員更方便地拆裝鍍鍋和進行上下片操作，例如在將鍍鍋從真空蒸鍍裝置上拆卸下來時，通過將鍍鍋放置在放置底座上，可以確保鍍鍋不傾倒或晃動，同時也方便操作人員將鍍鍋上的晶圓取下。

2、目前，鍍鍋的下端與放置底座通常采用插接的方式進行連接，并且為了防止鍍鍋移動，在底座內塞有木塞。但是，木塞在使用過程中容易損壞，而且由于木塞的存在，導致鍍鍋無法進行旋轉，不方便鍍鍋的上下片操作。

技術實現思路

1、基于此，本實用新型的目的是提供一種鍍鍋放置底座及真空蒸鍍裝置，旨在解決現有技術中存在的技術問題。

2、一方面，本實用新型提供了一種鍍鍋放置底座，用于連接鍍鍋，所述鍍鍋放置底座包括座體、支撐桿組件，所述支撐桿組件包括套桿、套管，所述套桿的一端設置于所述座體上，所述套桿的另一端可拆卸設有所述套管，所述套管上設有插接槽，所述插接槽內設有套接轉動件。

3、本實用新型的有益效果至少包括：本申請通過在套桿上設置可拆卸的套管，并在套管上設置插接槽以及在插接槽內設置套接轉動件，裝配時可以直接將鍍鍋插接在插接槽內，相比現有技術，無需使用木塞，就可以將鍍鍋穩固地放置在座體上，而且通過使用套接轉動件，鍍鍋還可以相對座體旋轉，方便了鍍鍋的上下片操作和拆裝；此外，由于套管與套桿之間可拆卸連接，因此可以根據使用需求更換不同長度的套管，從而提高作業效率。

4、另外，根據本實用新型上述的鍍鍋放置底座，還可以具有如下附加的技術特征：

5、進一步地，所述套桿靠近所述套管的一端設有螺紋槽，所述套管與所述螺紋槽螺紋連接。

6、進一步地，所述插接槽貫穿所述套管，且在所述插接槽的兩端均設有軸承。

7、進一步地，遠離所述套桿的所述插接槽的端口處周緣設有至少一個限位槽。

8、進一步地，其中一個所述軸承與所述螺紋槽的底壁間隔設置。

9、進一步地，所述套桿的一端轉動設置于所述座體上

10、進一步地，所述套桿靠近所述座體的一端設有轉軸，所述座體上設有軸座，所述轉軸轉動設置于所述軸座上，所述轉軸與所述軸座之間設有鎖緊件。

11、進一步地，所述鎖緊件為一螺釘。

12、另一方面，基于同一發明構思，本實用新型還提供了一種真空蒸鍍裝置，其應用了前述的鍍鍋放置底座。

技術特征：

1.一種鍍鍋放置底座，用于連接鍍鍋，其特征在于，所述鍍鍋放置底座包括：

2.根據權利要求1所述的鍍鍋放置底座，其特征在于，所述套桿靠近所述套管的一端設有螺紋槽，所述套管與所述螺紋槽螺紋連接。

3.根據權利要求2所述的鍍鍋放置底座，其特征在于，所述插接槽貫穿所述套管，且在所述插接槽的兩端均設有軸承。

4.根據權利要求3所述的鍍鍋放置底座，其特征在于，遠離所述套桿的所述插接槽的端口處周緣設有至少一個限位槽。

5.根據權利要求3所述的鍍鍋放置底座，其特征在于，其中一個所述軸承與所述螺紋槽的底壁間隔設置。

6.根據權利要求1至5任一項所述的鍍鍋放置底座，其特征在于，所述套桿的一端轉動設置于所述座體上。

7.根據權利要求6所述的鍍鍋放置底座，其特征在于，所述套桿靠近所述座體的一端設有轉軸，所述座體上設有軸座，所述轉軸轉動設置于所述軸座上，所述轉軸與所述軸座之間設有鎖緊件。

8.根據權利要求7所述的鍍鍋放置底座，其特征在于，所述鎖緊件為一螺釘。

9.一種真空蒸鍍裝置，其特征在于，應用了如權利要求1至8任一項所述的鍍鍋放置底座。

技術總結
本技術提供了一種鍍鍋放置底座及真空蒸鍍裝置，屬于真空蒸鍍機技術領域，所述鍍鍋放置底座包括座體、支撐桿組件，所述支撐桿組件包括套桿、套管，所述套桿的一端設置于所述座體上，所述套桿的另一端可拆卸設有所述套管，所述套管上設有插接槽，所述插接槽內設有至少一個套接轉動件。本技術可使鍍鍋方便放置在鍍鍋放置底座，使得鍍鍋上下片更加穩定高效，同時鍍鍋可以進行旋轉，以及能夠根據使用需求進行角度的調節，提高作業效率。

技術研發人員：符紅銳,章程,董國慶,文國昇,金從龍
受保護的技術使用者：江西兆馳半導體有限公司
技術研發日：20240724
技術公布日：2025/4/28