本申請涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備，具體涉及一種工藝腔室及半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體制造對產(chǎn)能和成本的要求越來越高，4工位腔室的應(yīng)用也越來越廣泛。為了減小設(shè)備占地面積，部分4工位設(shè)備(如cvd、ald)的腔室設(shè)計(jì)成垂直升降式開腔結(jié)構(gòu)，在維護(hù)時(shí)，腔室的半部分(包括上蓋及安裝在上蓋上部的管路和設(shè)備)垂直升起，只需預(yù)留高度空間就可對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)操作。

2、現(xiàn)有一種工藝腔室采用絲杠升降機(jī)構(gòu)對腔室上半部分進(jìn)行升降控制，腔室上半部分的重量始終作用于升降機(jī)構(gòu)的螺紋連接結(jié)構(gòu)上，由于腔室上半部分的重量及行程均較大，重量可以超過500kg，行程可以超過0.5m，這會大大降低升降機(jī)構(gòu)的使用壽命。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對上述技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┮环N工藝腔室及半導(dǎo)體工藝設(shè)備，可以改善現(xiàn)有的工藝腔室中升降機(jī)構(gòu)使用壽命短的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題，第一方面，本申請實(shí)施例提供一種工藝腔室，包括腔室本體、封蓋在所述腔室本體的頂部的上蓋、在所述上蓋的頂部與所述上蓋固定連接的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，以及升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括：

3、絲杠，一端與所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)連接；

4、螺母，與所述腔室本體連接，并且所述螺母沿軸向相對于所述腔室本體具有第一預(yù)設(shè)距離的可自由活動行程；所述螺母與所述絲杠配合連接；

5、所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動所述絲杠轉(zhuǎn)動，以使所述上蓋相對于所述腔室本體進(jìn)行升降運(yùn)動，并在所述上蓋封蓋所述腔室本體時(shí)，繼續(xù)驅(qū)動所述絲杠轉(zhuǎn)動，以使所述螺母向上運(yùn)動第二預(yù)設(shè)距離，所述第二預(yù)設(shè)距離小于或等于所述第一預(yù)設(shè)距離。

6、可選的，所述工藝腔室還包括立柱，所述立柱貫穿所述上蓋，并與所述腔室本體連接，所述上蓋相對所述立柱可上下活動。

7、所述立柱的頂面設(shè)有第一避讓孔，所述第一避讓孔用于在所述絲杠進(jìn)行升降運(yùn)動時(shí)進(jìn)行避讓所述絲杠。

8、可選的，所述升降機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于所述絲杠的底部的導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件與所述第一避讓孔可上下活動連接。

9、可選的，所述立柱的頂面還設(shè)有固定孔；

10、所述螺母上設(shè)置有與所述絲杠配合的第一螺紋孔和設(shè)置在所述螺母上并沿軸向延伸的第一通孔；

11、所述升降機(jī)構(gòu)還包括第一連接釘，所述第一連接釘穿過所述第一通孔與所述固定孔連接，所述螺母通過所述第一通孔在所述第一連接釘上可上下活動，并且活動的行程為所述第一預(yù)設(shè)距離。

12、可選的，所述第一連接釘與所述固定孔之間為螺紋連接。

13、可選的，所述立柱的頂端設(shè)有安裝座，所述固定孔設(shè)置于所述安裝座上。

14、可選的，所述螺母的底端設(shè)有基準(zhǔn)軸，所述第一螺紋孔貫穿所述基準(zhǔn)軸；

15、所述安裝座上設(shè)有與所述基準(zhǔn)軸間隙配合的第二避讓孔，所述第二避讓孔與所述第一避讓孔同軸，并且直徑大于所述第一避讓孔。

16、所述基準(zhǔn)軸的外側(cè)設(shè)有沿軸向延伸的第一限位槽；

17、所述第二避讓孔的孔壁上設(shè)有第二限位槽；

18、所述升降機(jī)構(gòu)還包括定位銷，所述定位銷配合在所述第一限位槽和所述第二限位槽中。

19、可選的，所述工藝腔室還包括設(shè)置于所述上蓋的頂面的固定架，所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述固定架上，以通過所述固定架連接于所述上蓋的頂部；

20、所述升降機(jī)構(gòu)還包括：

21、限位塊，設(shè)置于所述螺母上；

22、行程開關(guān)，設(shè)置于固定架上，并位于所述限位塊的下方，用于當(dāng)所述行程開關(guān)向上運(yùn)動至與所述限位塊接觸時(shí)，向所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)發(fā)送第一停止驅(qū)動信號。

23、可選的，所述升降機(jī)構(gòu)還包括：

24、距離傳感器，設(shè)置于所述立柱上，并位于所述限位塊的下方，用于測量所述距離傳感器與所述螺母之間的間距，并在所述間距增大所述第二預(yù)設(shè)距離時(shí)，向所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)發(fā)送第二停止驅(qū)動信號。

25、可選的，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)，分別設(shè)置在所述上蓋的兩個(gè)對角位置；

26、所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括：

27、驅(qū)動電機(jī)；

28、換向器，與所述驅(qū)動電機(jī)的輸出軸連接，兩個(gè)所述升降機(jī)構(gòu)分別連接所述換向器的兩個(gè)輸出軸。

29、第二方面，本申請實(shí)施例還提供了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括如上各實(shí)施例所述的工藝腔室。

30、如上所述本申請的工藝腔室，螺母連接于腔室本體上，并相對于腔室本體沿軸向具有可活動的距離為d1(第一預(yù)設(shè)距離)。當(dāng)上蓋處于上升打開狀態(tài)時(shí)，上蓋、驅(qū)動結(jié)構(gòu)以及升降機(jī)構(gòu)的整體重量，是通過絲杠傳遞至螺母并最終支撐于腔室本體的上方，絲杠與螺母之間的螺紋配合結(jié)構(gòu)承受上述整體重量。當(dāng)控制下降時(shí)，驅(qū)動結(jié)構(gòu)驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，由于螺母是設(shè)置于腔室本體上的，螺母保持靜止，因而上半部分會隨著絲杠一起進(jìn)行下降，直到上蓋封蓋腔室本體而無法進(jìn)一步下降；此時(shí)，驅(qū)動結(jié)構(gòu)繼續(xù)驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，絲杠保持不動，螺母則會相對絲杠上升，可以控制螺母上升第二預(yù)設(shè)距離d2(d2≤d1)，從而解除了絲杠與螺母之間所承受的上半部分的整體重量，使得上半部分的整體重量直接支撐于腔室本體上，不僅可以提高升降機(jī)構(gòu)的使用壽命，而且升降機(jī)構(gòu)的運(yùn)行也更平穩(wěn)安全。

技術(shù)特征：

1.一種工藝腔室，包括腔室本體、封蓋在所述腔室本體的頂部的上蓋、在所述上蓋的頂部與所述上蓋固定連接的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，以及升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室還包括立柱，所述立柱貫穿所述上蓋，并與所述腔室本體連接，所述上蓋相對所述立柱可上下活動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工藝腔室，其特征在于，所述立柱的頂面設(shè)有第一避讓孔，所述第一避讓孔用于在所述絲杠進(jìn)行升降運(yùn)動時(shí)進(jìn)行避讓所述絲杠。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工藝腔室，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于所述絲杠的底部的導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件與所述第一避讓孔可上下活動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工藝腔室，其特征在于，所述立柱的頂面還設(shè)有固定孔；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的工藝腔室，其特征在于，所述第一連接釘與所述固定孔之間為螺紋連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工藝腔室，其特征在于，所述立柱的頂端設(shè)有安裝座，所述固定孔設(shè)置于所述安裝座上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工藝腔室，其特征在于，所述螺母的底端設(shè)有基準(zhǔn)軸，所述第一螺紋孔貫穿所述基準(zhǔn)軸；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工藝腔室，其特征在于，所述基準(zhǔn)軸的外側(cè)設(shè)有沿軸向延伸的第一限位槽；

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室還包括設(shè)置于所述上蓋的頂面的固定架，所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述固定架上，以通過所述固定架連接于所述上蓋的頂部；

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的工藝腔室，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)還包括：

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝腔室，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)，分別設(shè)置在所述上蓋的兩個(gè)對角位置；

13.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1-12任一項(xiàng)所述的工藝腔室。

技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種工藝腔室及半導(dǎo)體工藝設(shè)備，工藝腔室包括腔室本體、封蓋在腔室本體的頂部的上蓋、在上蓋的頂部與上蓋固定連接的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，以及升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)包括：絲杠，一端與驅(qū)動結(jié)構(gòu)連接；螺母，與腔室本體連接，并且螺母沿軸向相對于腔室本體具有第一預(yù)設(shè)距離的可自由活動行程；螺母與絲杠配合連接；驅(qū)動結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，以使上蓋相對于腔室本體進(jìn)行升降運(yùn)動，并在上蓋封蓋腔室本體時(shí)，繼續(xù)驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，以使螺母向上運(yùn)動第二預(yù)設(shè)距離，第二預(yù)設(shè)距離小于或等于第一預(yù)設(shè)距離。本申請工藝腔室上半部分的整體重量直接支撐于腔室本體上，可以提高升降機(jī)構(gòu)的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：劉東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/28