本發明涉及濺射鍍膜，具體涉及一種鍍膜用多方位旋轉工件轉架。

背景技術：

1、濺射鍍膜是用離子轟擊靶材表面，把靶材的原子被擊出并沉積在工件表面形成薄膜的過程。在鍍膜過程中，工件通過相應的治具固定在工件轉架上，傳統的工件轉架通常是將工件垂直固定，然后進行簡單的公轉和自轉，以實現對工件表面的薄膜。

2、而傳統的工件轉架對于形狀較為具有較為復雜鍍膜面的工件難于實現均勻鍍膜，例如具有圓弧形鍍膜面的半圓形工件。在對半圓形工件進行鍍膜時，傳統的工件轉架對半圓形的工件是垂直固定的，濺射鍍膜的靶材設在側邊。濺射鍍膜過程中，傳統的工件轉架將帶動半圓形工件進行公轉和自轉，但半圓形工件的上面中間位置將很難鍍到膜。

3、因此，本發明針對具有較為復雜鍍膜面的工件設計了多方位旋轉的工件轉架，以實現具有復雜鍍膜面的工件的均勻鍍膜。

技術實現思路

1、本發明的目的是提供一種鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其能更好的實現對具有復雜鍍膜面的工件的均勻鍍膜。

2、本發明的目的通過以下的技術方案來實現：

3、一種鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：包括固定齒輪、主動轉盤和多個行星架，固定齒輪固定設置，主動轉盤轉動設置且與固定齒輪的中心重合，行星架安裝在主動轉盤上，并圍繞主動轉盤的中心布置；行星架包括固定軸、回轉外殼、從動齒輪和多層掛桿，固定軸固定安裝在主動轉盤上，回轉外殼轉動安裝在主動轉盤上，回轉外殼的轉動中心與固定軸的軸心重合，從動齒輪固定安裝在回轉外殼上，從動齒輪與固定齒輪相嚙合，行星架上對應每層掛桿分別設有固定錐齒和惰性錐齒，固定錐齒固定連接在固定軸上，惰性錐齒轉動連接在回轉外殼內側，惰性錐齒與固定錐齒相嚙合，掛桿轉動設在回轉外殼上且向外側傾斜，掛桿上設有與惰性錐齒相嚙合的輸出錐齒。

4、本發明進一步的技術方案為：回轉外殼上對應每條掛桿分別設有活動軸承座，活動軸承座能相對回轉外殼進行轉動調節，活動軸承座的轉動調節的中心與惰性錐齒的轉動中心重合，掛桿轉動連接在活動軸承座上，通過轉動調節活動軸承座能調節掛桿的傾斜角度。

5、本發明進一步的技術方案為：活動軸承座的兩側邊設有轉動連接部，回轉外殼上對應轉動連接部設有轉動連接軸，轉動連接部與轉動連接軸轉動連接，在回轉外殼上對應每個活動軸承座分別設有升降調節組件，通過升降調節組件對活動軸承座進行轉動調節。

6、本發明進一步的技術方案為：升降調節組件包括抵頂螺桿和回拉螺桿，回轉外殼上對于每個活動軸承座分別設有向外凸出的安裝部，安裝部上設有螺紋孔和穿孔，抵頂螺桿螺紋連接在螺紋孔中，抵頂螺桿的里端抵頂在活動軸承座上，回拉螺桿從穿孔中穿過，回拉螺桿的里端與活動軸承座鉸接，在回拉螺桿的伸出至回轉外殼外的部分上設有調節螺母。

7、本發明進一步的技術方案為：多方位旋轉工件轉架還包括與主動轉盤相對設置的連接盤，主動轉盤與連接盤之間通過撐桿固定連接在一起，主動轉盤和連接盤上對應行星架分別設有固定軸承座和止轉板，回轉外殼的兩端分別轉動連接在主動轉盤和連接盤的固定軸承座上，固定軸從回轉外殼的中間穿過，固定軸的兩端分別與止轉板連接，通過止轉板對固定軸進行支撐并限制固定軸的轉動。

8、本發明進一步的技術方案為：回轉外殼的兩端分別固定設有旋轉軸套，旋轉軸套與固定軸承座轉動連接，固定軸的端部從旋轉軸套中穿過。

9、本發明進一步的技術方案為：止轉板上設有限位條，固定軸的端面設有限位通槽，限位條鑲嵌在限位通槽中。

10、本發明進一步的技術方案為：上下相鄰的兩層掛桿錯開位于回轉外殼的不同側面。

11、本發明進一步的技術方案為：回轉外殼的每一層分別設有兩條位于相對側面上的掛桿。

12、本發明進一步的技術方案為：工件轉架還包括固定板和電機，固定齒輪固定安裝在固定板上，主動轉盤轉動安裝在固定板上，電機固定安裝在固定板的中部，電機的輸出軸與主動轉盤的中部連接。

13、與現有技術相比，本發明具有以下有益效果：

14、1、本發明在使用時能將固定在掛桿上的工件繞主動轉盤的中心進行轉動，同時繞固定軸的中心進行轉動，同時還繞掛桿的中心進行轉動，實現了多方位的旋轉，且傾斜設置的掛桿使得工件在鍍膜過程中也是傾斜的，通過上述兩方面的結合使得本發明能更好的實現對具有復雜鍍膜面的工件的均勻鍍膜。

15、2、本發明進一步通過能進行調節的活動軸承座對掛桿進行安裝，使得掛桿的傾斜角度能進行調節，從而能更好的適應不同形狀的工件。

技術特征：

1.一種鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：包括固定齒輪、主動轉盤和多個行星架，所述固定齒輪固定設置，所述主動轉盤轉動設置且與所述固定齒輪的中心重合，所述行星架安裝在所述主動轉盤上，并圍繞所述主動轉盤的中心布置；所述行星架包括固定軸、回轉外殼、從動齒輪和多層掛桿，所述固定軸固定安裝在所述主動轉盤上，所述回轉外殼轉動安裝在所述主動轉盤上，所述回轉外殼的轉動中心與所述固定軸的軸心重合，所述從動齒輪固定安裝在所述回轉外殼上，所述從動齒輪與所述固定齒輪相嚙合，所述行星架上對應每層所述掛桿分別設有固定錐齒和惰性錐齒，所述固定錐齒固定連接在所述固定軸上，所述惰性錐齒轉動連接在所述回轉外殼內側，所述惰性錐齒與所述固定錐齒相嚙合，所述掛桿轉動設在所述回轉外殼上且向外側傾斜，所述掛桿上設有與所述惰性錐齒相嚙合的輸出錐齒。

2.根據權利要求1所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：所述回轉外殼上對應每條所述掛桿分別設有活動軸承座，所述活動軸承座能相對所述回轉外殼進行轉動調節，所述活動軸承座的轉動調節的中心與所述惰性錐齒的轉動中心重合，所述掛桿轉動連接在所述活動軸承座上，通過轉動調節所述活動軸承座能調節所述掛桿的傾斜角度。

3.根據權利要求2所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：所述活動軸承座的兩側邊設有轉動連接部，所述回轉外殼上對應所述轉動連接部設有轉動連接軸，所述轉動連接部與所述轉動連接軸轉動連接，在所述回轉外殼上對應每個所述活動軸承座分別設有升降調節組件，通過所述升降調節組件對所述活動軸承座進行轉動調節。

4.根據權利要求3所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：所述升降調節組件包括抵頂螺桿和回拉螺桿，所述回轉外殼上對于每個所述活動軸承座分別設有向外凸出的安裝部，所述安裝部上設有螺紋孔和穿孔，所述抵頂螺桿螺紋連接在所述螺紋孔中，所述抵頂螺桿的里端抵頂在所述活動軸承座上，所述回拉螺桿從所述穿孔中穿過，所述回拉螺桿的里端與所述活動軸承座鉸接，在所述回拉螺桿的伸出至所述回轉外殼外的部分上設有調節螺母。

5.根據權利要求1所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：所述多方位旋轉工件轉架還包括與所述主動轉盤相對設置的連接盤，所述主動轉盤與所述連接盤之間通過撐桿固定連接在一起，所述主動轉盤和所述連接盤上對應所述行星架分別設有固定軸承座和止轉板，所述回轉外殼的兩端分別轉動連接在所述主動轉盤和所述連接盤的固定軸承座上，所述固定軸從所述回轉外殼的中間穿過，所述固定軸的兩端分別與所述止轉板連接，通過所述止轉板對所述固定軸進行支撐并限制所述固定軸的轉動。

6.根據權利要求5所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：所述回轉外殼的兩端分別固定設有旋轉軸套，所述旋轉軸套與所述固定軸承座轉動連接，所述固定軸的端部從所述旋轉軸套中穿過。

7.根據權利要求5所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：所述止轉板上設有限位條，所述固定軸的端面設有限位通槽，所述限位條鑲嵌在所述限位通槽中。

8.根據權利要求1所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：上下相鄰的兩層所述掛桿錯開位于所述回轉外殼的不同側面。

9.根據權利要求8所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：所述回轉外殼的每一層分別設有兩條位于相對側面上的所述掛桿。

10.根據權利要求1所述的鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其特征在于：所述工件轉架還包括固定板和電機，所述固定齒輪固定安裝在所述固定板上，所述主動轉盤轉動安裝在所述固定板上，所述電機固定安裝在所述固定板的中部，所述電機的輸出軸與所述主動轉盤的中部連接。

技術總結
本發明公開了一種鍍膜用多方位旋轉工件轉架，其包括固定齒輪、主動轉盤和多個行星架，固定齒輪固定設置，主動轉盤轉動設置，行星架安裝在主動轉盤上；行星架包括固定軸、回轉外殼、從動齒輪和多層掛桿，固定軸固定安裝在主動轉盤上，回轉外殼轉動安裝在主動轉盤上，回轉外殼的轉動中心與固定軸的軸心重合，從動齒輪固定安裝在回轉外殼上，從動齒輪與固定齒輪相嚙合，對應每層掛桿分別設有固定錐齒和惰性錐齒，固定錐齒固定連接在固定軸上，惰性錐齒轉動連接在回轉外殼內側，惰性錐齒與固定錐齒相嚙合，掛桿轉動設在回轉外殼上且向外側傾斜，掛桿上設有與惰性錐齒相嚙合的輸出錐齒。本發明能更好的實現對具有復雜鍍膜面的工件的均勻鍍膜。

技術研發人員：李志方,陳思,楊錦泉
受保護的技術使用者：廣東匯成真空科技股份有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28