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一種無應(yīng)力InN納米線生長方法與流程

文檔序號:12416667閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種制備無應(yīng)力InN納米線的方法,其特征是利用CVD設(shè)備升華法生長InN納米線;襯底采用藍(lán)寶石、硅或石英玻璃、GaN/藍(lán)寶石(硅),襯底清洗后,先覆蓋單層或多層石墨烯薄膜;將覆有石墨烯薄膜的襯底表面沉積Au,放入CVD管式爐生長系統(tǒng)中,開始InN納米線生長;常壓,生長溫度:500–800℃;高純N2作為載氣先吹掃管式爐去除空氣等,然后持續(xù)通氣保護(hù)InN納米線外延,生長期間總N2載氣流量0-5slm;In源采用常規(guī)的高純金屬銦升華銦蒸汽和高純氨氣NH3反應(yīng)生成InN。高純氨氣作為氮源,NH3流量:100–2000sccm;生長時(shí)間30-150分鐘。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用升華法生長InN納米線,其特征是,采用常壓升華法,金屬In作為銦源,銦升華和NH3反應(yīng),超過銦熔點(diǎn)溫度時(shí)升華;Au作為催化劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用升華法生長InN納米線,其特征是,石墨烯轉(zhuǎn)移到襯底上,在100-150℃溫度下烘干以使得石墨烯和襯底之間緊密接觸,時(shí)間10-20分鐘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用升華法生長InN納米線,其特征是,生長溫度是:550-750℃。

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