1.實現乙硅烷精餾中氨氣二次精餾的裝置，包括第一精餾塔和第二精餾塔，其特征在于，所述第一精餾塔從上向下依次設有第一精餾段、第一反應段和第一提餾段，所述第一精餾段頂部設有排氣口，所述第一提餾段下方與第一再沸器連接，所述第一精餾段內部設有多個第一冷凝器；所述第二精餾塔從上向下依次設有第二精餾段、第二反應段和第二提餾段，所述第二提餾段下方與第二再沸器連接，所述第二精餾段內部設有一個第二冷凝器，所述第二精餾塔的出料口與乙硅烷存儲罐連接；所述第一精餾塔的出料口與第二反應段連接；多個所述第一冷凝器的溫度從下向上依次升高，下方的第一冷凝器溫度設為-36±2℃，最上方的第一冷凝器的溫度為-30℃~-20℃。
2.根據權利要求1所述的實現乙硅烷精餾中氨氣二次精餾的裝置，其特征在于，所述第二冷凝器的溫度大于或等于最上方的所述第一冷凝器的溫度。
3.根據權利要求2所述的實現乙硅烷精餾中氨氣二次精餾的裝置，其特征在于，所述第二冷凝器的溫度為-20℃~-14℃。