技術總結
本實用新型公開了一種乙硅烷精餾裝置，包括第一精餾塔和第二精餾塔，其特征在于，第一精餾塔從上向下依次設有第一精餾段、第一反應段和第一提餾段，第一精餾段頂部設有排氣口，第一提餾段下方與第一再沸器連接，第一精餾段內部設有多個第一冷凝器；第二精餾塔從上向下依次設有第二精餾段、第二反應段和第二提餾段，第二提餾段下方與第二再沸器連接，第二精餾段內部設有一個第二冷凝器，第二精餾塔的出料口與乙硅烷存儲罐連接；第一精餾塔的出料口與第二反應段連接。本實用新型的有益之處在于：混合氣體在第一精餾塔中進行精餾后，進入在第二精餾塔中，針對氨氣進行二次精餾，保證乙硅烷的純度。

技術研發人員：徐昕;鄭春寧;何波
受保護的技術使用者：南京亞格泰新能源材料有限公司
文檔號碼：201621036183
技術研發日：2016.08.30
技術公布日：2017.06.06