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立方氮化硼燒結體制備工藝及制備裝置的制作方法

文檔序號:41375290發布日期:2025-03-21 15:30閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種立方氮化硼燒結體制備工藝,其特征在于,包括以下步驟:

2.一種立方氮化硼燒結體制備裝置,用于權利要求1中所述的一種立方氮化硼燒結體制備工藝,其特征在于:包括所述熱壓燒結爐本體(1),所述熱壓燒結爐本體(1)內設置有爐膛(2),所述爐膛(2)內側固定設有內襯(201),內襯(201)一側有開口,還包括:

3.根據權利要求2所述的立方氮化硼燒結體制備裝置,其特征在于:所述熱壓組件(3)還包括設置在所述熱壓燒結爐本體(1)內的液壓系統(305),兩個所述液壓柱(301)均通過液壓管(306)與所述液壓系統(305)連接。

4.根據權利要求3所述的立方氮化硼燒結體制備裝置,其特征在于:所述水冷組件(5)還包括開設在每個所述液壓柱(301)上的兩個讓位槽(502),每個所述絕緣件(302)上均開設有兩個通槽(503),每個所述通槽(503)均與相對應的所述讓位槽(502)連通,所述熱壓頭(303)上開設有冷卻槽(504),每個所述冷卻槽(504)均與相對應的兩個所述通槽(503)連通,所述循環水冷卻器(501)上設置有兩個排液管(505),每個所述排液管(505)均插入相對應的所述讓位槽(502)、通槽(503)和冷卻槽(504)內,排液管(505)插入相對應的所述冷卻槽(504)內的一端與所述冷卻槽(504)連通,所述循環水冷卻器(501)上設置有兩個回液管(506),每個所述回液管(506)均插入相對應的所述讓位槽(502)、通槽(503)和冷卻槽(504)內,所述回液管(506)插入相對應的所述冷卻槽(504)的一端與所述冷卻槽(504)連通。

5.根據權利要求4所述的立方氮化硼燒結體制備裝置,其特征在于:所述循環水冷卻器(501)上設置有排水管(507),所述排水管(507)插入所述爐膛(2)和內襯(201)之間夾層的下側,所述循環水冷卻器(501)上設置有插入所述爐膛(2)和內襯(201)之間夾層的上側的回水管(508),所述回水管(508)和所述回液管(506)上均設置有溫度傳感器(509),用于檢測所述回水管(508)和所述回液管(506)的溫度。

6.根據權利要求2所述的立方氮化硼燒結體制備裝置,其特征在于:所述充氣組件(6)包括設置在熱壓燒結爐本體(1)內的高壓氣泵(601),所述高壓氣泵(601)的一端插入所述內襯(201)內部且與所述內襯(201)內部連通,所述內襯(201)上設置有進氣端插入內襯(201)內的排氣管(602)且與所述內襯(201)內部連通,所述排氣管(602)的中部位于內襯(201)與所述爐膛(2)之間,所述排氣管(602)的排氣端伸出所述爐膛(2)和熱壓燒結爐本體(1),所述排氣管(602)的排氣端設置有第一電磁閥(603),用于控制內襯(201)內氣體的排放。

7.根據權利要求6所述的立方氮化硼燒結體制備裝置,其特征在于:所述烘干組件(7)包括固定設置在爐膛(2)上遠離所述第一電磁閥(603)一側的儲氣件(701),所述儲氣件(701)外側設置有保溫件(702),所述儲氣件(701)內部通過第二電磁閥(703)和連通管(704)與所述內襯(201)內部連通,所述第二電磁閥(703)用于控制內襯(201)內氣體的排入儲氣件(701)內,所述儲氣件(701)內部滑動設置有移動件(705),所述移動件(705)遠離所述第二電磁閥(703)的一側與所述儲氣件(701)之間設置有彈性件(706)。

8.根據權利要求7所述的立方氮化硼燒結體制備裝置,其特征在于:所述儲氣件(701)上設置有兩個第三電磁閥(707),用于控制所述儲氣件(701)內氣體的排放,每個所述第三電磁閥(707)遠離所述儲氣件(701)的一端均設置有出氣管(708),所述出氣管(708)的自由端與相對應的所述排液管(505)連通。

9.根據權利要求8所述的立方氮化硼燒結體制備裝置,其特征在于:所述熱壓燒結爐本體(1)內部設置有真空系統(8),所述真空系統(8)與所述內襯(201)內部連通,用于使內襯(201)內部保持真空狀態,所述熱壓燒結爐本體(1)外側設置有控制系統(9),所述第一電磁閥(603)、第二電磁閥(703)、第三電磁閥(707)、循環水冷卻器(501)、液壓系統(305)和真空系統(8)均與所述控制系統(9)電性連接,所述控制系統(9)控制銅母線(304)與外接電源的連接或斷開,所述溫度傳感器(509)與所述控制系統(9)電性連接。

10.根據權利要求2所述的立方氮化硼燒結體制備裝置,其特征在于:所述熱壓燒結爐本體(1)上鉸接有密封件(101),所述密封件(101)能夠遮擋爐膛(2)和內襯(201)的開口。


技術總結
本發明公開了一種立方氮化硼燒結體制備工藝及制備裝置,具體涉及燒結體制備技術領域,包括所述熱壓燒結爐本體,所述熱壓燒結爐本體內設置有爐膛,所述爐膛內側固定設有內襯,還包括熱壓組件、水冷組件、充氣組件和烘干組件,所述熱壓組件包括兩個液壓柱,兩個所述液壓柱的相對端均設置有絕緣件,兩個所述絕緣件的相對端分別設置有熱壓頭,每個所述熱壓頭內均設置有銅母線,所述水冷組件包括循環水冷卻器,本發明通過盤旋設置的排氣管設置在內襯和爐膛的夾層內,提升了內襯內的散熱效率,通過烘干組件對熱壓頭和冷卻槽內部進行烘干操作,防止了熱壓頭效率下降,減少潮濕對熱壓頭的損害,延長熱壓頭的使用壽命。

技術研發人員:袁帥,張高瑋,張艷慧,艾瑞杰,徐超,陳傳凈,呂威威,岳勝軍
受保護的技術使用者:河南氮硼新材料科技有限公司
技術研發日:
技術公布日:2025/3/20
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