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基于半凝固體的半導體產品除塵方法及除塵系統與流程

文檔序號:41774655發布日期:2025-04-29 18:48閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根據權利要求1所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,所述對所述表面圖像進行差異區域化處理,得到灰塵凝聚圖像,包括:

3.根據權利要求2所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,所述兩級篩選流程被設計為:

4.根據權利要求2所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,所述融合更新處理被設計為:

5.根據權利要求3所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,所述根據所述表面圖像中每個所述待識別區域的輪廓特征獲取各個灰塵區域,包括:

6.根據權利要求5所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,所述基于半凝固體除塵棒的使用時長、每個所述灰塵區域的尺寸特征和對應的灰度漸變特征動態確定每個所述灰塵區域的除塵策略,包括:

7.根據權利要求6所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,

8.根據權利要求6所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,所述基于每個所述灰塵區域的所有所述灰塵積聚線上像素點的灰度值的漸變程度計算每個所述灰塵區域的灰塵積聚指數,包括:

9.根據權利要求6所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法,其特征在于,所述模式切換控制表達式為:

10.基于半凝固體的半導體產品除塵系統,其特征在于,所述系統包括控制臺、機械手和半凝固體除塵棒,所述機械手固定設置在所述控制臺上的控制區,所述除塵棒放置在所述控制臺上的存儲區,所述控制臺的柜臺內部設置有計算機設備,所述計算機設備包括處理器、存儲器以及存儲在所述存儲器中且被配置為由所述處理器執行的計算機程序,所述處理器與機械手通信連接,所述處理器執行所述計算機程序時控制所述機械手抓取半凝固體除塵棒,以實現如權利要求1至9中任意一項所述的基于半凝固體的半導體產品除塵方法。


技術總結
本發明公開了基于半凝固體的半導體產品除塵方法及除塵系統,其中方法包括對實時采集待除塵的半導體產品的表面圖像進行差異區域化處理,得到灰塵凝聚圖像;差異區域化處理被設計為將表面圖像中的離群像素點的差異進行擴散,以將離散分布的點狀灰塵合并為區域;對灰塵凝聚圖像進行圖像分割,得到待識別區域;根據表面圖像中每個待識別區域的灰度分布特征和輪廓特征獲取灰塵區域;基于除塵棒的使用時長、每個灰塵區域的尺寸特征和對應的灰度漸變特征動態確定每個灰塵區域的除塵策略;控制和除塵棒相匹配的功能部件對每個灰塵區域執行對應的除塵策略,提高了對半導體器件的除塵效果。

技術研發人員:嚴敏聰,李敬敏,殷俊
受保護的技術使用者:深圳市微光睿智科技有限公司
技術研發日:
技術公布日:2025/4/28
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