本發明實施例涉及一種涂布設備、利用其回收涂布液的方法及其清潔方法。

背景技術：

在顯示面板的生產過程中，采用涂布設備涂布形成顯示面板中的一些薄膜(如光刻膠膜層、柵絕緣層、鈍化層、平坦層等)是常見的薄膜制備方法。

以利用狹縫式涂布設備為例，涂布設備的基本使用過程包括：對涂布設備進行清潔，然后向涂布設備的涂布頭供給涂布液，之后利用該涂布設備的涂布頭制備薄膜。在制備薄膜的過程中，使涂布設備的涂布頭以設定的速度沿待涂布基板表面從基板的一側邊緣移動到相對的另一側邊緣，同時涂布頭的涂布口處以設定的速度吐出薄膜材料，隨著涂布頭的移動，薄膜材料涂布到基板的表面形成相應的薄膜。

技術實現要素：

本發明實施例提供一種涂布設備、利用其回收涂布液的方法及其清潔方法，本發明實施例可以減少涂布液的浪費。

本發明的至少一個實施例提供一種涂布設備，其包括供給裝置、涂布裝置以及回收裝置。所述供給裝置包括進液口、出液口、以及相互連接的涂布液供給單元和供給泵，所述涂布液供給單元連接所述進液口，所述供給泵連接所述出液口。所述涂布裝置包括涂布頭，所述涂布頭包括接收口、涂布口和排氣口，所述涂布頭的接收口與所述供給裝置的出液口連接。所述回收裝置包括至少一個回收入口和回收液出口，所述至少一個回收入口包括供給過程回收入口，所述供給過程回收入口與所述涂布頭的排氣口連接，所述回收液出口與所述供給裝置的進液口連接。

本發明的至少一個實施例還提供一種利用以上所述的涂布設備回收涂布液的方法，該方法包括：利用所述回收裝置回收從所述涂布頭的排氣口流出的涂布液；以及將所述回收裝置回收的涂布液提供至所述供給裝置。

本發明的至少一個實施例還提供一種根據以上所述的涂布設備的清潔方法，該方法包括：利用所述回收裝置回收從所述供給裝置和所述涂布裝置中的至少一個流出的涂布液；然后，向所述供給裝置和所述涂布裝置中的所述至少一個通入液體清潔劑。

本發明的至少一個實施例還提供一種涂布設備，其包括供給裝置、涂布裝置和回收裝置。所述供給裝置包括進液口、出液口、以及依次連接的涂布液供給單元、過濾器和供給泵，所述涂布液供給單元連接所述進液口；所述供給泵連接所述出液口；所述過濾器包括輸入口、第一輸出口和第二輸出口，所述輸入口與所述涂布液供給單元連接，所述第一輸出口與所述供給泵連接。所述涂布裝置包括涂布頭，所述涂布頭包括接收口、涂布口和排氣口，所述涂布頭的接收口與所述供給裝置的出液口連接。所述回收裝置包括供給過程回收入口和回收液出口，所述供給過程回收入口與所述過濾器的第二輸出口連接，所述回收液出口與所述供給裝置的進液口連接。

本發明實施例通過對涂布液進行回收并且將回收的涂布液重新提供至涂布液供給裝置以用于后續涂布操作，可以有效減少涂布液的浪費。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例的技術方案，下面將對實施例的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅涉及本發明的一些實施例，而非對本發明的限制。

圖1為本發明實施例提供的涂布設備的結構示意圖一；

圖2為本發明實施例提供的涂布設備的結構示意圖二；

圖3為本發明實施例提供的涂布設備的結構示意圖三；

圖4a為本發明實施例提供的涂布設備中供給位置清潔裝置的結構示意圖；

圖4b為本發明實施例提供的涂布設備中涂布位置清潔裝置的結構示意圖；

圖5為本發明實施例提供的涂布設備的回收路徑和清潔路徑的示意圖；

圖6為本發明實施例提供的另一種涂布設備的結構示意圖。

具體實施方式

為使本發明實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本發明實施例的附圖，對本發明實施例的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本發明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于所描述的本發明的實施例，本領域普通技術人員在無需創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

除非另外定義，本公開使用的技術術語或者科學術語應當為本發明所屬領域內具有一般技能的人士所理解的通常意義。本公開中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數量或者重要性，而只是用來區分不同的組成部分。“包括”或者“包含”等類似的詞語意指出現該詞前面的元件或者物件涵蓋出現在該詞后面列舉的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“連接”或者“相連”等類似的詞語并非限定于物理的或者機械的連接，而是可以包括電性的連接，不管是直接的還是間接的。“上”、“下”、“左”、“右”等僅用于表示相對位置關系，當被描述對象的絕對位置改變后，則該相對位置關系也可能相應地改變。

本申請的發明人注意到，為保證涂布品質，在向涂布設備的涂布頭供給涂布液(例如光刻膠或其它的薄膜材料)的過程中，需要對進入涂布頭的涂布液進行排泡處理；然而，在排泡過程中，在涂布頭的排氣口處，大量的涂布液隨著氣泡的排出而流出，造成涂布液的浪費。

本發明實施例提供一種涂布設備、利用其回收涂布液的方法及其清潔方法，該涂布設備對涂布液進行回收并將回收的涂布液重新提供至涂布液供給裝置以用于后續的涂布操作，從而可以減少涂布液的浪費。

本發明實施例可以用于諸如顯示基板(例如陣列基板或彩膜基板等)等任意需要進行薄膜涂覆的基板。

以下將結合附圖對本發明實施例進行詳細說明，以下實施例僅為示例，并不引以為限。需要說明的是，附圖中的粗實線表示管道，和表示閥門。

本發明的至少一個實施例提供一種涂布設備，如圖1所示，該涂布設備包括供給裝置10、涂布裝置20和回收裝置30。供給裝置10用于向涂布裝置20供給涂布液(即用于在基板上涂布薄膜的液體)，其包括進液口10a、出液口10b、以及相互連接的涂布液供給單元11和供給泵12，涂布液供給單元11用于盛放涂布液且連接進液口10a，供給泵12(例如注射泵)連接出液口10b以將來自涂布液供給單元11的涂布液提供至涂布裝置20。涂布裝置20用于對基板進行涂布以制備需要的薄膜，其包括涂布頭21，涂布頭21包括與供給裝置10的出液口10b連接以接收涂布液的接收口21a、用于向基板排出涂布液的涂布口21b和以及用于將氣泡排出的排氣口21c；例如，接收口21a位于涂布頭21的頂面、涂布口21b位于涂布頭21的底端、排氣口21c位于涂布頭21的側面；例如，涂布頭21可以包括多個排氣口21c以提高排泡效果。回收裝置30包括至少一個回收入口30a(圖1以一個回收入口為例)和回收液出口30b，該至少一個回收入口30a包括供給過程回收入口3a，供給過程回收入口3a與涂布頭21的排氣口21c連接以接收從該排氣口21c流出的涂布液，回收液出口30b與供給裝置10的進液口10a連接以向供給裝置10提供回收的涂布液，從而重新利用該回收的涂布液進行后續的涂布操作。

在涂布頭中的涂布液的排泡過程中，通過對隨著氣泡從涂布頭21的排氣口21c排出的涂布液進行回收后再利用，可以有效減少涂布液的浪費；在涂布設備的清潔過程中，也可以對來自涂布頭21的排氣口21c的涂布液進行回收，以進一步減少涂布液的浪費；另一方面，從涂布頭21的排氣口21c沿回收裝置30到供給裝置10的進液口10a的管道之間可以密封連接，以避免回收的涂布液與空氣接觸，從而可以保證涂布液的清潔度。

例如，如圖1所示，供給裝置10的涂布液供給單元11可以包括依次連接的第一供給容器111、集氣容器113和第二供給容器112。第一供給容器111用于盛放涂布液，例如，可以利用干凈干燥的氣體(clear dry air，以下簡稱為CDA)加壓，使第一供給容器111中的涂布液進入集氣容器113中。例如，集氣容器113包括位于其下端的進液口a和出液口c、以及位于其上端的排氣口b；第一供給容器111中的涂布液從進液口a進入集氣容器113后，涂布液中的氣體逐漸聚集到集氣容器113的上方并從排氣口b排出。第二供給容器112包括第一輸入口112a、第二輸入口112b和輸出口112c，第一輸入口112a連接集氣容器113以接收從集氣容器113的出液口c流出的涂布液，第二輸入口112b連接供給裝置10的進液口10a以接收回收裝置30回收的涂布液，輸出口112c連接供給泵12。例如，可以對第二供給容器112進行CDA加壓，以向供給泵12提供涂布液。

在本發明實施例中，通過采用CDA加壓的方式，可以使第一、二供給容器中的涂布液連續穩定地流出。例如，第二供給容器112起到緩沖作用以使從第一供給容器111和第二供給容器112流出的涂布液具有不同的流速，例如，從第二供給容器112的輸出口112c流出的涂布液的速度可以大于從第一供給容器111流出的涂布液的速度。

例如，涂布液供給單元11可以包括多個第一供給容器111(例如兩個第一供給容器)和與該多個第一供給容器111分別對應連接的集氣容器113。通過設置多個第一供給容器111，可以避免因涂布液供給不足造成的生產中斷。

例如，如圖1所示，涂布裝置20還可以包括排泡容器22，其與涂布頭21的排氣口21c和回收裝置30的供給過程回收入口3a連接，用于盛放從排氣口21c隨氣泡流出的涂布液。例如，在涂布頭21包括多個排氣口21c的情況下，涂布裝置20可以包括分別與這些排氣口21c連接的多個排泡容器22。

例如，如圖1所示，回收裝置30可以包括相互連接的第一回收泵341和第一回收容器31。第一回收泵341與回收裝置30的供給過程回收入口3a連接，用于將來自涂布頭21的排氣口21c的涂布液吸入第一回收容器31中。第一回收容器31設置于供給過程回收入口30a與回收液出口30b之間，用于盛放來自涂布頭21的排氣口21c的涂布液。例如，對于第一回收容器31中的涂布液，可以采用CDA對第一回收容器31進行加壓，使其連續穩定地進入供給裝置10中。

例如，如圖1所示，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備還可以包括廢料裝置70，該廢料裝置70與回收裝置30的回收液出口30b連接。在不需對回收裝置30回收的涂布液進行重新利用的情況下，可以將回收裝置30中的材料排放至廢料裝置70。

例如，廢料裝置70還可以連接集氣容器113的排氣口b，以用于集氣容器113中聚集的氣體的排放。

例如，廢料裝置70可以包括廢料容器71和分別連接該廢料容器71的入口和出口的廢料泵72，廢料容器71的入口處的廢料泵72用于將其連接的裝置(例如回收裝置30)中的材料吸入廢料容器71中，廢料容器71的出口處的廢料泵72用于將廢料容器71中的廢料吸出后進行排放。廢料裝置70排放的廢料可以根據生產需要進行處理。

例如，如圖1所示，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備還可以包括供給管道轉換件42(例如三通閥)，該供給管道轉換件42與供給裝置10、回收裝置30和廢料裝置70連接，并且該供給管道轉換件42被配置為在第一狀態下使回收裝置30的回收液出口30b與供給裝置10的進液口10a彼此連通以使回收裝置30回收的涂布液進入供給裝置10中被重新利用，并且在第二狀態下使回收裝置30的回收液出口30b與廢料裝置70彼此連通以使回收裝置30中的材料被排放至廢料裝置70。

例如，如圖2所示，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備還可以包括供給液位傳感器14、回收液位傳感器35以及供給控制裝置62。供給液位傳感器14被配置為檢測涂布液供給單元11的第二供給容器112中的涂布液的液面位置；回收液位傳感器35被配置為檢測回收裝置30回收的涂布液(例如第一回收容器31中的涂布液)的液面位置；供給控制裝置62被配置為根據供給液位傳感器14和回收液位傳感器35的檢測結果控制回收裝置30的回收液出口30b與供給裝置10的進液口10a之間的連通狀態。

在本發明實施例中，通過供給液位傳感器14和回收液位傳感器35可以分別獲知第二供給容器112和回收裝置30中是否有足夠的涂布液，在第二供給容器112需要補給涂布液且回收裝置30中有足夠的涂布液的情況下，供給控制裝置62控制供給管道轉換件42將回收裝置30的回收液出口30b與供給裝置10的進液口10a連通，從而回收裝置30回收的涂布液被提供至第二供給容器112。在本發明實施例中，在第二供給容器112需要補給的情況下，優先使用回收裝置30回收的涂布液，在回收裝置30回收的涂布液不足的情況下才使用涂布液供給單元11的第一供給容器111中的涂布液，有利于避免回收裝置30回收的涂布液因滯留時間過長而變質。

例如，如圖2所示，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備還可以包括設置于供給過程回收入口3a處的第一電子閥門331、設置于回收液出口30b處的第二電子閥門332以及與第一、二電子閥門連接的滯留控制裝置61，滯留控制裝置61被配置為根據第一電子閥門331和第二電子閥門332的工作時長控制回收裝置30的回收液出口30b與廢料裝置70之間的連通狀態。

在本發明實施例中，通過監控第一、二電子閥門的工作時長，可以得出回收裝置30回收的涂布液滯留的時間。如果涂布液滯留的時間超過預設時長(根據需要進行設置)，則認為涂布液變質而不能被重新利用，在這種情況下，通過將回收裝置30的回收液出口30b與廢料裝置70連通，可以將回收裝置30回收的涂布液排出至廢料裝置70中；如果涂布液滯留的時間不超過預設時長，則在涂布液供給單元11的第二供給容器112需要補給涂布液時將回收液出口30b與供給裝置10的進液口10a連通，以重新利用回收裝置30回收的涂布液。

例如，供給控制裝置62和滯留控制裝置61的具體結構都可以對應于處理器，例如，該處理器可以為中央處理器(CPU，Central Processing Unit)、微處理器(MCU，Micro Controller Unit)、數字信號處理器(DSP，Digital Signal Processing)或可編程邏輯器件(PLC，Programmable Logic Controller)等具有處理功能的電子元器件或電子元器件的集合。

例如，如圖3所示，在本發明的至少一個實施例提供的涂布設備中，供給裝置10還可以包括用于對來自涂布液供給單元11的涂布液進行過濾的過濾器13，其包括輸入口13c、第一輸出口13a和第二輸出口13b，輸入口13c與涂布液供給單元11連接且用于使來自涂布液供給單元11的涂布液進入過濾器13，第一輸出口13a與供給泵12連接且用于使過濾后的涂布液進入供給泵12，第二輸出口13b與回收裝置30連接，從而涂布液中的顆粒物或纖維等雜質被分離出來后從第二輸出口13b進入回收裝置30。在本發明實施例中，通過對來自過濾器13的第二輸出口13b的涂布液進行回收，可以進一步減少涂布液的浪費。

例如，從過濾器13的第二輸出口13b經回收裝置30到供給裝置10的進液口10a的管道之間可以密封連接，以避免回收的涂布液與空氣接觸，從而保證涂布液的清潔度。

例如，如圖2所示，過濾器13的第二輸出口13b與涂布頭21的排氣口21c可以分別與不同的供給過程回收入口30a和不同的回收泵連接。例如，涂布頭21的排氣口21c連接供給過程回收入口3a后連接第一回收泵341，過濾器13的第二輸出口13b連接供給過程回收入口3b后連接第二回收泵342(用于將來自第二輸出口13b的涂布液吸入回收裝置30中)。這樣可以在不同的階段分別對來自涂布頭21和過濾器13的涂布液進行回收，以簡化管道設計。

例如，在過濾器13的第二輸出口13b與涂布頭21的排氣口21c分別與不同的供給過程回收入口30a連接的情況下，每個供給過程回收入口30a處都可以設置第一電子閥門331，如圖3所示。

例如，來自過濾器13和涂布頭21的涂布液可以被回收到同一回收容器31中，如圖2所示，從而第一回收容器31用于盛放來自涂布頭21的排氣口21c和來自過濾器13的第二輸出口13b的涂布液；或者，來自過濾器13和涂布頭21的涂布液也可以分別被回收到不同的回收容器中，以便于管道設計并且保證各回收容器中的涂布液的來源一致。

例如，如圖3所示，供給裝置10還可以包括與脫氣裝置15，其入口與過濾器13的第一輸出口13a連接并且其出口與供給泵12連接。脫氣裝置15用于使從過濾器13流入供給泵12的涂布液中的氣泡排出。

例如，如圖3所示，在本發明的至少一個實施例中，回收裝置30的至少一個回收入口30a還可以包括清潔過程回收入口3c，該清潔過程回收入口3c與供給裝置10的出液口10b連接。在本發明實施例中，在對涂布頭中的涂布液進行排泡處理之前，還可以對涂布設備進行清潔處理，通過設置清潔過程回收入口3c，可以在清潔過程中對來自供給裝置10的出液口10b的涂布液進行回收，以進一步減少涂布液的浪費。

例如，如圖3所示，回收裝置30可以包括第一回收容器31和第二回收容器32，第一回收容器31設置于供給過程回收入口30a與回收液出口30b之間，第二回收容器32不同于第一回收容器31并且與清潔過程回收入口3c連接以用于回收涂布設備的清潔過程中的涂布液。由于清潔過程和向涂布頭供給涂布液的過程不是同時進行的，通過將清潔過程中的涂布液和向涂布頭供給涂布液的過程中的涂布液分別回收到不同的容器中，有利于使各容器中回收的涂布液的來源一致并且保證各容器中回收的涂布液的質量。

例如，第一回收容器31和第二回收容器32都可以采用耐腐蝕的容器，以避免容器被涂布液腐蝕。

例如，如圖3所示，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備還可以包括與供給裝置10的出液口10b連接的清潔管道轉換件41(例如三通閥或者管道轉換接頭)，該清潔管道轉換件41被配置為在第一狀態下使供給裝置10的出液口10b與涂布頭21的接收口21a彼此連通以使來自供給裝置10的涂布液進入涂布頭21中，并且在第二狀態下使第二回收容器32與供給裝置10的出液口10b彼此連通以在涂布設備的清潔過程中對來自供給裝置的出液口10b的涂布液進行回收。需要說明的是，清潔管道轉換件41具有第一狀態和第二狀態是指其具有兩種不同的使用方式，其第一、二狀態不同于供給管道轉換件42的第一、二狀態。

例如，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備還可以包括供給位置清潔裝置和涂布位置清潔裝置。供給位置清潔裝置用于從供給裝置處向涂布設備通入清潔劑(用于清潔的物質，例如氣體或液體)，其例如與供給裝置的集氣容器連接；涂布位置清潔裝置用于從涂布裝置的排泡容器處向涂布設備通入清潔劑。例如，供給位置清潔裝置和涂布位置清潔裝置都可以包括用于通入清潔劑的清潔劑供給管道以及設置于該清潔劑供給管道處的閥門。下面結合圖4a和圖4b分別對供給位置清潔裝置和涂布位置清潔裝置進行說明。

例如，如圖4a所示，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備可以包括供給位置清潔裝置52，其被配置為向集氣容器113提供清潔劑以至少對從集氣容器113到供給裝置的出液口之間的管道進行清潔。例如，供給位置清潔裝置52可以包括管道J1和J2以及位于二者之間的閥門。在需要對涂布設備進行清潔時，斷開第一供給容器111與集氣容器113的進液口a之間的連接，將管道J2可以與該進液口a連接，并且向管道J1中通入清潔劑，該清潔劑從集氣容器113的出液口c流出后進入第二供給容器(圖4a中未示出)中。

圖4a以供給裝置包括兩個第一供給容器111以及兩個集氣容器113為例進行說明，相應地，供給位置清潔裝置52包括兩個管道J1和兩個管道J2；當然，第一供給容器111和集氣容器113的數量也可以都為一個。

例如，供給位置清潔裝置52也可以與集氣容器113的上端的進氣口d連接，以向進氣口d通入清潔劑。

例如，如圖4b所示，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備可以包括涂布位置清潔裝置51，涂布位置清潔裝置51被配置為向涂布裝置包括的排泡容器22提供清潔劑，例如，涂布位置清潔裝置51還被配置為向涂布裝置包括的涂布頭21提供清潔劑。

圖4b以涂布頭21以兩個排泡容器22連接為例。

例如，對于第一排泡容器22a，涂布位置清潔裝置51可以包括相互連接的管道K1和K2以及位于二者之間的電子閥門512，管道K2與第一排泡容器22a連接，在電子閥門512使管道K1和K2連通的情況下，向管道K1通入清潔劑，該清潔劑沿著管道K2進入第一排泡容器22a之后從第一排泡容器22a下端的出口排出，以實現對第一排泡容器22a的清潔。

例如，對于第二排泡容器22b和涂布頭21，涂布位置清潔裝置51可以包括管道K3、以及與管道K3連接的管道M1和L1，例如管道K3、M1和L1可以都與三通閥511連接，管道M1與涂布頭21連接，管道L1與第二排泡容器22b連接。在三通閥511將K3與M1連通的情況下，進入管道K3的清潔劑從涂布頭21的涂布口21b流出，以用于對涂布頭21進行清洗；在三通閥511將K3與L1連通的情況下，進入管道K3的清潔劑從與第二排泡容器22b下端的出口流出，以用于清洗第二排泡容器22b。

需要說明的是，管道M1、L1和K3之間也可以不采用三通閥，而是將管道M1和L1分別與不同的管道K3連接；另外，在本發明的至少一個實施例中，涂布裝置也可以只包括第一排泡容器22a或第二排泡容器22b。

例如，如圖4b所示，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備還可以包括防混膠控制裝置63，其被配置為根據排泡容器22的清潔劑供給管道處的電子閥門(參見電子閥門512和三通閥511)的開閉狀態控制回收裝置的回收液出口與供給裝置的進液口之間的連通狀態。在本發明實施例中，在排泡容器22被通入液體清潔劑的情況下，通過監控排泡容器22的清潔劑供給管道中的電子閥門的狀態，防混膠控制裝置63控制回收裝置的回收液出口與供給裝置的進液口之間不連通，從而可以防止該液體清潔劑進入供給裝置中而造成混膠現象。

例如，防混膠控制裝置63的具體結構可對應于處理器，例如，該處理器可以為中央處理器、微處理器、數字信號處理器或可編程邏輯器件等具有處理功能的電子元器件或電子元器件的集合。

下面結合圖5，對本發明實施例提供的涂布設備的使用過程進行詳細說明。例如，涂布設備的使用過程包括以下步驟S51至S53。

步驟S51：對涂布設備進行整體清潔。例如，步驟S51可以包括依次進行的排出涂布液過程S511、液體清潔過程S512和氣體清潔過程S513。下面進行詳細說明。

S511：排出涂布液過程，即將涂布設備中的涂布液整體上排出的過程。例如，該過程S511包括以下步驟S511a-S511e。

步驟S511a：通過清潔管道轉換件41將供給裝置10的出液口10b與回收裝置30的清潔過程回收入口3c連通，即將管道B3與管道G1連通。

步驟S511b：沿管道A1-A2-A3-A4-B1-B2-B3-G1將從集氣容器113到供給泵12的路徑中的涂布液回收到回收裝置30的第二回收容器32中。例如，在該步驟中，利用如圖4a所示的供給位置清潔裝置52向集氣容器113中通入氣體(例如CDA)以提供回收動力。

步驟S511c：沿管道C3-C4-C5-D1將排泡容器22中的涂布液回收到第一回收容器31中。例如，利用如圖4b所示的涂布位置清潔裝置51向排泡容器22通入氣體(例如CDA)或者利用第一回收泵341提供回收動力。

步驟S511d：沿管道F1-F2-D1將過濾器13中的涂布液回收到第一回收容器31中。例如，在該步驟中，利用第二回收泵342提供回收動力。

步驟S511e：沿管道D2-E1-A4-B1-B2-B3-G1將第一回收容器31中的涂布液回收至第二回收容器32中。在該步驟中，供給管道轉換件42將回收裝置30的回收液出口30b與供給裝置10的進液口10a連通。例如，在該步驟中，向第一回收容器31中通入氣體(例如CDA)以提供回收動力。

需要說明的是，以上步驟S511b至步驟S511d的順序可以根據需要進行調整。例如，步驟S511c和S511d的順序可以互換，步驟S511b與S511c或S511d的順序可以互換。

S512：液體清潔過程，即向涂布設備中通入液體以對涂布設備整體上進行清潔的過程。在該步驟中，通過清潔管道轉換件41將供給裝置10的出液口10b與涂布頭21連通(即將管道B3與管道C1連通)，并且向供給裝置10和涂布裝置20的排泡容器22通入液體清潔劑。例如，利用如圖4a所示的供給位置清潔裝置52向供給裝置10(例如集氣容器113)通入液體清潔劑；例如，利用如圖4b所示的涂布位置清潔裝置51向涂布裝置20的排泡容器22通入液體清潔劑。

在該步驟S512中，供給管道轉換件42將回收裝置30與廢料裝置70連通并且使回收裝置30與供給裝置10之間不連通，即將管道D2與H1連通并且將管道D2與E1斷開，從而涂布設備中的廢料最終進入廢料裝置70中，例如，從回收裝置30的回收液出口30b沿管道D2-H1-H2-H3進入廢料容器71中。

S513：氣體清潔過程，即向涂布設備中通入氣體以去除涂布設備中的液體清潔劑的過程。例如，在供給裝置10的出液口10b與涂布頭21彼此連通的情況下，向供給裝置10(例如供給裝置10中的集氣容器113)和涂布裝置20的排泡容器22通入氣體(例如CDA)。在該步驟S513中，供給管道轉換件42將回收裝置30與廢料裝置70連通且使回收裝置30與供給裝置10不連通，從而涂布設備中的廢料最終進入廢料裝置70中。

步驟S52：利用供給裝置10向涂布頭21中提供涂布液。在該步驟中，清潔管道轉換件41將供給裝置10與涂布頭21連通，涂布頭21的排氣口21c處的閥門被打開以使氣泡從排氣口21c排出(即排泡過程)，同時，例如沿管道C2-C3-C4-C5-D1，利用回收裝置30回收隨氣泡從排氣口21c排出的涂布液，例如，利用第一回收泵341提供回收動力。

例如，在該步驟S52中，還可以沿管道F1-F2-D1將來自過濾器13的第二輸出口13b的涂布液回收到第一回收容器31中。

步驟S53：涂布頭21的涂布口21b向基板吐出涂布液以形成需要的薄膜。在該步驟中，涂布頭21的排氣口21c處的閥門關閉，使涂布頭21中的涂布液無法從排氣口21c處流出，回收裝置30不進行回收操作。

例如，在步驟S53中，可以對多個基板進行涂布操作，例如對500個基板或其它數量的基板進行涂布操作。

步驟S53之后的步驟可以包括以下情形。

情形一：在利用涂布頭21制備一定數量的薄膜之后，如果涂布頭21或排泡容器22處發生污染，則可以對涂布頭21或排泡容器22進行局部清潔。由于涂布頭21和排泡容器22處的涂布液容易被污染，通過對該位置進行局部清潔，與對涂布設備進行整體清潔的方式相比，可以提高清潔效率。

在情形一中，例如，對涂布頭21進行局部清潔包括：向涂布頭21中通入液體清潔劑，之后向涂布頭21中通入氣體以去除該液體清潔劑。

在情形一中，例如，對排泡容器22進行局部清潔包括：將排泡容器22中的涂布液回收至第一回收容器31中，例如利用第一回收泵341提供回收動力；然后，向排泡容器22中通入液體清潔劑，該液體清潔劑在進入回收裝置30后進入廢料裝置70中；之后，向排泡容器22中通入氣體以去除液體清潔劑，在該過程中，來自排泡容器22的材料進入廢料裝置70中。

情形二：在利用涂布頭21制備一定數量的薄膜之后，如果涂布頭21中的涂布液不足，則利用供給裝置10向涂布頭21供給涂布液，之后繼續利用涂布頭21制備薄膜(參見步驟S53)。

情形三：在利用涂布頭21制備一定數量的薄膜之后，如果需要更換涂布液，則對涂布設備進行整體清潔(參見步驟S51)，然后利用供給裝置10將新的涂布液供給至涂布頭21(參見步驟S52)，之后利用涂布頭21制備薄膜(參見步驟S53)。

本發明的至少一個實施例還提供一種利用以上任一實施例提供的涂布設備回收涂布液的方法，以圖1所示的涂布設備為例，該方法包括：利用回收裝置30回收從涂布頭21的排氣口21c流出的涂布液；以及將回收裝置30回收的涂布液供給至供給裝置10。

本發明實施例提供的方法可以在涂布設備的清潔過程中和/或向涂布頭供給涂布液的過程中對來自涂布頭的排氣口的涂布液進行回收，并且將回收的涂布液重新提供至涂布液供給裝置以用于后續的涂布操作，可以減少涂布液的浪費。另一方面，由于從涂布頭的排氣口到供給裝置的進液口之間可以形成密封管道，因而回收的涂布液不與空氣接觸，具有較高的潔凈度。

例如，如圖3所示，供給裝置10還可以包括過濾器13，其包括輸入口13c、第一輸出口13a和第二輸出口13b，輸入口13c與涂布液供給單元11連接，第一輸出口13a與供給泵12連接，第二輸出口13b與回收裝置30連接；在這種情況下，本發明的至少一個實施例提供的方法還可以包括：利用回收裝置30回收從過濾器13的第二輸出口13b流出的涂布液。在本發明實施例中，可以在涂布設備的清潔過程中和/或向涂布頭供給涂布液的過程中對來自過濾器13的第二輸出口13b的涂布液進行回收，以進一步減少涂布液的浪費。

例如，如圖3所示，回收裝置30的至少一個回收入口30a還可以包括清潔過程回收入口3c，清潔過程回收入口3c與供給裝置10的出液口10b連接；在這種情況下，本發明的至少一個實施例提供的方法還可以包括：利用回收裝置30的清潔過程回收入口3c回收來自供給裝置10的出液口10b的涂布液。例如，在本發明的至少一個實施例提供的方法中，向供給裝置10通入氣體，并且利用回收裝置30的清潔過程回收入口3c回收來自供給裝置10的出液口10b的涂布液(例如參見上述步驟S511b)；之后向供給裝置10通入液體清潔劑(例如參見上述步驟S512)。在本發明實施例中，通過對涂布設備的清潔過程中的涂布液進行回收，可以進一步減少涂布液的浪費。

本發明的至少一個實施例還提供一種以上任一項實施例提供的涂布設備的清潔方法，以圖1所示的涂布設備為例，該清潔方法包括：利用回收裝置30從供給裝置10和涂布裝置20中的至少一個回收涂布液；然后，向該供給裝置10和涂布裝置20的所述至少一個中相應地通入液體清潔劑。

本發明實施例提供的清潔方法通過在涂布設備的清潔過程中對涂布液進行回收，可以減少涂布液的浪費。另一方面，由于從供給裝置和/或涂布裝置20到回收裝置30之間可以形成密封管道，因而回收的涂布液不與空氣接觸，具有較高的潔凈度。

例如，在本發明的至少一個實施例提供的清潔方法中，在涂布裝置20包括排泡容器22的情況下，利用回收裝置30從涂布裝置20回收涂布液包括：利用回收裝置30回收來自排泡容器22的涂布液。(參見涂布設備的實施例中的步驟S511c、S52)。

例如，在本發明的至少一個實施例提供的清潔方法中，在涂布設備的供給裝置10包括如圖3所示的過濾器13的情況下，利用回收裝置30從供給裝置10回收涂布液包括：利用回收裝置30回收來自過濾器13的第二輸出口13b的涂布液(參見涂布設備的實施例中的步驟S511d)。

例如，在本發明的至少一個實施例提供的清潔方法中，在涂布設備的供給裝置10的出液口10b連接回收裝置30的清潔過程回收入口3c(如圖3所示)的情況下，利用回收裝置30從供給裝置10回收涂布液包括：利用回收裝置30的清潔過程回收入口回收來自供給裝置10的出液口10b的涂布液(參見涂布設備的實施例中的步驟S511b和S511e)。

本發明實施例提供的清潔方法可參考上述涂布設備的實施例中的整體清潔方式(參見步驟S511至步驟S513)和局部清潔方式，重復之處不再贅述。

本發明的至少一個實施例還提供一種涂布設備，如圖6所示，該涂布設備包括供給裝置100、涂布裝置200、回收裝置300。供給裝置100包括進液口100a、出液口100b、以及依次連接的涂布液供給單元110、過濾器130和供給泵120；涂布液供給單元110連接進液口100a；供給泵120連接出液口100b；過濾器130包括輸入口130c、第一輸出口130a和第二輸出口130b，輸入口130c與涂布液供給單元110連接，第一輸出口130a與供給泵120連接。涂布裝置200包括涂布頭210，涂布頭210包括接收口210a、涂布口210b和排氣口210c，涂布頭210的接收口210a與供給裝置100的出液口100b連接。回收裝置300包括供給過程回收入口300a和回收液出口300b，該供給過程回收入口300a與過濾器130的第二輸出口130b連接，回收液出口300b與供給裝置100的進液口100a連接。

本發明實施例提供的涂布設備可以對來自過濾器130的涂布液進行回收并將回收的涂布液重新提供至涂布液供給裝置以用于后續的涂布操作，可以減少涂布液的浪費。另一方面，由于從過濾器130的第二輸出口130b到回收裝置300的供給過程回收入口300a之間可以形成密封管道，因而回收的涂布液不與空氣接觸，具有較高的潔凈度。

例如，涂布液供給單元110可以包括依次連接的第一供給容器111、集氣容器113和第二供給容器112。例如，涂布裝置200可以包括與涂布頭210的排氣口210c連接的排泡容器22。例如，本發明的至少一個實施例提供的涂布設備還可以包括廢料裝置70，其例如包括兩個廢料泵72和位于二者之間的廢料容器71。例如，回收裝置300可以包括相互連接的回收泵34和回收容器39，回收泵34用于將來自過濾器130的第二輸出口130b的涂布液吸入回收容器39中。

本發明實施例提供的涂布設備可以參照以上如圖1所示的涂布設備的實施例中的相關描述，重復之處不再贅述。

有以下幾點需要說明：(1)本發明實施例附圖中，只涉及到與本發明實施例涉及到的結構，其他結構可參考通常設計；(2)在不沖突的情況下，本發明的實施例及實施例中的特征可以相互組合。

以上所述僅是本發明的示范性實施方式，而非用于限制本發明的保護范圍，本發明的保護范圍由所附的權利要求確定。