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一種多點控溫結晶釜的制作方法

文檔序號:12529274閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種多點控溫結晶釜,包括釜體(1),其特征在于:所述釜體(1)的內部按上中下位置分別設有三個溫度傳感器(2),在對應溫度傳感器(2)的釜體(1)的內壁上設有三個分離的石墨烯加熱板(3),所述溫度傳感器(2)和石墨烯加熱板(3)均電連接至控制器(4)。

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