本申請基于2022年9月16日申請的日本申請即日本特愿2022-147868，并且主張基于該申請的優先權。該申請的全部內容通過參照而援引于本申請。本發明涉及取得有機溶劑中的金屬雜質的雜質取得方法以及雜質取得裝置。

背景技術：

1、在半導體等電子部件制造工序中使用高純度的流體。作為在電子部件制造工序中使用的流體之一的有機溶劑也要求高純度(高清潔度)。

2、有機溶劑與超純水相比含有更多的雜質，但由于電子部件的微細化，有機溶劑中的雜質也要求進一步降低。而且，隨著所要求的雜質水平變得嚴格，對分析評價技術的要求也變得嚴格。

3、在日本特開2001-141721號公報和日本特開2002-005799號公報中，作為公有機溶劑的分析方法，公開了用微波進行蒸發濃縮(干固)來分析試樣的方法。日本特開2009-288021號公報中公開了使含有能夠與分析對象的金屬形成絡合物的螯合劑的溶液通過，用能夠捕獲絡合物的填充劑將溶液濃縮、分析的方法。

技術實現思路

1、然而，日本特開2001-141721號公報和日本特開2002-005799號公報中記載的方法是為了進行低濃度的分析而進行蒸發濃縮等前處理。但是，雜質的濃度越低，越需要將大量的有機溶劑回收至采樣瓶，作為整體的分析成本越高。進而，根據有機溶劑的種類，還存在蒸發操作、瓶輸送中的安全方面、由排液的發生導致的環境負荷這樣的課題。

2、另外，在進行有機溶劑中的金屬雜質的分析的情況下，有機溶劑中的金屬的狀態不穩定，或者成為微粒那樣的形態，因此還存在金屬附著于采樣瓶而導致分析值產生偏差，無法進行正確的分析的課題。

3、在日本特開2009-288021號公報所記載的方法中，分析對象的金屬限于能夠形成絡合物的種類。進而，為了分析有機溶劑中所含的低濃度的金屬雜質，需要進一步的改良。

4、因此，本發明的課題在于提供一種能夠穩定且安全地取得有機溶劑中的低濃度的金屬雜質的雜質取得方法以及雜質取得裝置。

5、本發明提供了一種取得有機溶劑中的金屬雜質的雜質取得方法，其特征在于，包括：

6、吸附·捕捉工序，其中，使所述有機溶劑通過吸附體，使該吸附體吸附或捕捉該有機溶劑中的金屬雜質；

7、置換工序，其中，使超純水或高純度氣體流過所述吸附體，用該超純水或高純度氣體置換殘留在該吸附體內的有機溶劑；以及

8、洗脫·回收工序，其中，使洗脫液通過該吸附體，洗脫·回收吸附于該吸附體的金屬雜質。

9、另外，本發明提供一種有機溶劑中的金屬雜質的分析方法，其對通過上述雜質取得分析前處理方法得到的洗脫·回收液中的金屬元素進行分析。

10、本發明還提供一種取得有機溶劑中的金屬雜質的雜質取得裝置，其具有：

11、吸附體，其被所述有機溶劑通過，吸附或捕捉該有機溶劑中的金屬雜質；

12、流體供給管線，其向該吸附體供給超純水或高純度氣體以置換殘留在所述吸附體內的有機溶劑；以及

13、洗脫液供給管線，其使洗脫液通過該吸附體以洗脫·回收吸附于所述吸附體的金屬雜質。

14、根據本發明，能夠提供一種能夠穩定且安全地取得有機溶劑中的低濃度的金屬雜質的雜質取得方法以及雜質取得裝置。

15、上述以及其他的本申請的目的、特征以及優點通過參照例示了本申請的附圖的以下描述的詳細的說明而明確。

技術特征：

1.一種取得有機溶劑中的金屬雜質的雜質取得方法，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的雜質取得方法，其中，

3.根據權利要求1或2所述的雜質取得方法，其中，通過所述吸附體的有機溶劑是分取了在用于從有機溶劑供給源向有機溶劑供給目的地供給有機溶劑的有機溶劑供給管線中流動的有機溶劑的至少一部分而得到的。

4.根據權利要求3所述的雜質取得方法，其中，使通過了所述吸附體的有機溶劑通過對所述有機溶劑進行精制的精制部件進行精制，使由所述精制部件精制后的有機溶劑返回至所述有機溶劑供給管線。

5.根據權利要求1或2所述的雜質取得方法，其中，所述有機溶劑為選自異丙醇、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丁酸丁酯、丙二醇單丙醚、環己酮、甲氧基丙酸甲酯、乙酸丁酯、γ-丁內酯、4-甲基-2-戊醇、丙二醇單乙醚、乳酸乙酯、環戊酮、二異戊基醚、乙酸異戊酯、二甲基亞砜、n-甲基吡咯烷酮、二乙二醇、乙二醇、二丙二醇、丙二醇、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、環丁砜、環庚酮、2-庚酮、異丁酸異丁酯、十一烷、丙酸戊酯、丙酸異戊酯、乙基環己烷、均三甲苯、癸烷、3,7-二甲基-3-辛醇、2-乙基-1-己醇、1-辛醇、2-辛醇、乙酰乙酸乙酯、丙二酸二甲酯、丙酮酸甲酯和草酸二甲酯中的至少一種。

6.根據權利要求5所述的有機溶劑中的金屬雜質分析方法，其中，所述有機溶劑中的金屬雜質的至少任一種金屬元素的濃度為10ng/l以下。

7.根據權利要求1或2所述的雜質取得方法，其中，所述吸附體為整體狀有機多孔離子交換體。

8.一種取得有機溶劑中的金屬雜質的雜質取得裝置，其特征在于，具有：

9.根據權利要求8所述的雜質取得裝置，其中，所述雜質取得裝置與從有機溶劑供給管線分支的分支管線連接，所述有機溶劑供給管線用于從有機溶劑供給源向供給目的地供給有機溶劑。

10.根據權利要求9所述的雜質取得裝置，其中，

技術總結
根據本發明，提供一種雜質取得方法，其特征在于，具有：吸附·捕捉工序，其中，使有機溶劑通過吸附體，使該吸附體吸附或捕捉該有機溶劑中的金屬雜質；置換工序，其中，使超純水或高純度氣體流過所述吸附體，用該超純水或高純度氣體置換殘留在該吸附體內的有機溶劑；以及洗脫·回收工序，其中，使洗脫液通過該吸附體，洗脫·回收吸附于該吸附體的金屬雜質。

技術研發人員：蔦野恭平,森野翔太
受保護的技術使用者：奧加諾株式會社
技術研發日：
技術公布日：2025/4/24