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一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法與流程

文檔序號(hào):41771702發(fā)布日期:2025-04-29 18:42閱讀:4來源:國(guó)知局
一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法與流程

本發(fā)明涉及顆粒計(jì)數(shù),特別涉及一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法。


背景技術(shù):

1、在現(xiàn)有技術(shù)中,光阻法只能測(cè)量顆粒的光衰減(消光)等效粒徑,無法測(cè)量顆粒的真實(shí)幾何粒徑。此外,當(dāng)測(cè)量相同大小的顆粒時(shí),如果顆粒的光學(xué)性質(zhì)不同,儀器就會(huì)給出不同的粒徑結(jié)果。

2、根據(jù)上述缺陷,目前的光阻法顆粒計(jì)數(shù)器(見參考文獻(xiàn))進(jìn)行了創(chuàng)新,其工作原理基于以下物理理論:在粒徑遠(yuǎn)大于光波長(zhǎng)的前提下,顆粒對(duì)光的散射可近似看作光的衍射和幾何散射兩種現(xiàn)象的疊加。對(duì)于光的衍射,其角分布只與顆粒大小有關(guān),與顆粒的光學(xué)性質(zhì)無關(guān)。對(duì)于光的幾何散射,其遠(yuǎn)場(chǎng)散射光的角分布只與顆粒的光學(xué)性質(zhì)有關(guān),與顆粒大小無關(guān)。據(jù)此,目前的光阻法顆粒計(jì)數(shù)器的光學(xué)結(jié)構(gòu)是:?jiǎn)紊c(diǎn)光源發(fā)出發(fā)散光束,經(jīng)透鏡后變成平行光,經(jīng)過限束光闌成為入射光束。被測(cè)流體通過的區(qū)域(流道)由限束光闌、會(huì)聚透鏡和支撐框架圍成,入射光束占據(jù)的流道空間就是儀器的測(cè)量區(qū),位于流道中央。小孔光闌位于會(huì)聚透鏡的后焦面上,探測(cè)器處于小孔光闌后方。

3、當(dāng)沒有顆粒進(jìn)入測(cè)量區(qū)時(shí),入射光被聚焦在小孔光闌中心,全部穿過小孔光闌到達(dá)探測(cè)器。當(dāng)顆粒進(jìn)入測(cè)量區(qū)時(shí),會(huì)產(chǎn)生光的散射或吸收,其中散射光只有角度小于截止角的部分能被探測(cè)器接收。由于幾何散射光的分布角范圍遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于衍射光分布的角范圍,所以在截止角取值比較合適的情況下,衍射光基本上全部能穿過小孔光闌,而幾何散射光基本上完全被小孔光闌所阻擋,因此顆粒的有效消光系數(shù)近似為1,并且與顆粒的光學(xué)性質(zhì)基本無關(guān)。顆粒造成的光衰減等于投射到顆粒上的入射光。所以儀器能夠根據(jù)光衰減和入射光束的橫截面積計(jì)算出顆粒的大小,并且結(jié)果不受顆粒的光學(xué)性質(zhì)和位置的影響。

4、但是,目前的光阻法顆粒計(jì)數(shù)器仍然存在部分問題。在實(shí)際儀器設(shè)計(jì)中,截止角的取值是一個(gè)折中的結(jié)果:如果截止角過大,雖然更多衍射光通過小孔光闌,但也會(huì)有更多幾何散射光透過小孔光闌,導(dǎo)致消光系數(shù)顯著小于1;如果截止角過小,幾何散射的消光系數(shù)接近1,但更多的衍射光被遮擋,造成粒徑的計(jì)算誤差(可稱為“衍射誤差”)。隨著被測(cè)顆粒變小,折中的效果將變差,儀器的測(cè)量準(zhǔn)確性也會(huì)降低。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此,本發(fā)明披露了一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法,利用數(shù)值算法修正測(cè)量結(jié)果,實(shí)現(xiàn)提高測(cè)量準(zhǔn)確性。本發(fā)明的技術(shù)方案如下:

2、本發(fā)明公開了一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法,包括步驟如下:

3、s1、根據(jù)儀器的目標(biāo)準(zhǔn)確度,計(jì)算光阻法顆粒計(jì)數(shù)器的截止角θf的數(shù)值;

4、具體地,只考慮幾何散射誤差的條件下,截止角θf的計(jì)算過程如公式(1)所示(見參考文獻(xiàn)):

5、

6、式(1)中,σ為目標(biāo)測(cè)量誤差,n為顆粒折射率。

7、具體地,σ為人為設(shè)置的數(shù)值,n為可能被儀器測(cè)到的折射率最小的顆粒的折射率數(shù)值。

8、s2、根據(jù)儀器的粒徑測(cè)量范圍d0~dm,按照一定規(guī)律將其分為m個(gè)粒徑段,每個(gè)粒徑段的分界粒徑數(shù)值分別記為d0,d1,d2,...,dm;

9、可選地,s2步驟中,所述規(guī)律包括等比級(jí)數(shù)、等差級(jí)數(shù)、不規(guī)則分級(jí)等。

10、s3、計(jì)算粒徑為d0,d1,d2,...,dm的顆粒物產(chǎn)生的衍射角大于θf的衍射光能占衍射總光能的比例,分別記為b0,b1,b2,...,bm;

11、具體地,所述b0,b1,b2,...,bm的計(jì)算過程如公式(2)所示(見參考文獻(xiàn)):

12、

13、式(2)中,j0和j1分別為0階和1階bessel函數(shù),d為顆粒物粒徑。

14、s4、分別計(jì)算粒徑為d0,d1,d2,...,dm的待測(cè)顆粒物的表觀分段粒徑,分別記為

15、s5、測(cè)量過程中,根據(jù)光衰計(jì)算顆粒物的粒徑d,若d滿足則該顆粒計(jì)入第i粒徑段,i=1,2,...,m;持續(xù)進(jìn)行s5步驟,直至測(cè)量結(jié)束。

16、s6、按照原始的粒徑分段d0,d1,d2,...,dm,生成儀器的測(cè)量報(bào)告。

17、基于該發(fā)明,本方法通過數(shù)值計(jì)算,可彌補(bǔ)因截止角過小造成的部分衍射光被小孔光闌阻擋而產(chǎn)生的測(cè)量誤差。儀器只需根據(jù)目標(biāo)準(zhǔn)確性的要求,將截止角取到足夠低的值,確保幾何散射的透過誤差保持在足夠小的范圍內(nèi),而由小孔光闌遮擋所導(dǎo)致的衍射誤差,則可以通過上述方法來補(bǔ)償,最終實(shí)現(xiàn)提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量精度的目標(biāo)。



技術(shù)特征:

1.一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法,其特征在于,包括步驟如下:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法,其特征在于,s1步驟中,截止角θf的計(jì)算過程如公式(1)所示:

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法,其特征在于,s3步驟中,所述規(guī)律包括等比分段、等差分段和不規(guī)則分段。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法,其特征在于,s3步驟中,所述b0,b1,b2,...,bm的計(jì)算如公式(2)所示:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種可提高光阻法顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量準(zhǔn)確性的衍射修正方法,首先,根據(jù)儀器的目標(biāo)準(zhǔn)確度,計(jì)算只考慮幾何散射光消光誤差情況下的截止角的數(shù)值;再根據(jù)儀器的粒徑測(cè)量范圍,按規(guī)律劃分粒徑段,得到各段的分界粒徑數(shù)值;計(jì)算上述分段粒徑的顆粒物產(chǎn)生的衍射光角度大于截止角的光能占衍射總光能的比例,由此計(jì)算表觀粒徑分段;最后,測(cè)量時(shí)若測(cè)得的顆粒物的粒徑處在某個(gè)表觀粒徑段,則把該顆粒計(jì)入該徑段,其中,反復(fù)進(jìn)行最后一步,直至測(cè)量結(jié)束。再依據(jù)原始粒徑分段生成測(cè)量報(bào)告,以彌補(bǔ)衍射誤差。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本方法通過調(diào)低截止角,減少幾何消光系數(shù)誤差,由此增加的衍射誤差則通過數(shù)值計(jì)算進(jìn)行補(bǔ)償,顯著提高測(cè)量精度。

技術(shù)研發(fā)人員:龔心瑀,駱君靜,張福根
受保護(hù)的技術(shù)使用者:珠海真幻科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/4/28
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