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一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置和方法

文檔序號:41768078發布日期:2025-04-29 18:38閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,包括:

2.根據權利要求1所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述兩個絕緣支架(1)之間設置有等高板(4)。

3.根據權利要求2所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述兩個絕緣支架(1)之間設置有兩個等高板(4),分別設置在兩個絕緣支架(1)的上端之間和下端之間。

4.根據權利要求1所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述模擬屏柵(2)包括從外向內設置的第一連接外圈(21)、第一連接弧面(22)和屏柵區(23);所述屏柵區(23)與第一連接外圈(21)分別在兩個相互平行的平面,所述第一連接弧面(22)的徑向截面垂直于第一連接外圈(21)的平面。

5.根據權利要求4所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述模擬加速柵(3)包括從外向內設置的第二連接外圈(31)、第二連接弧面(32)和加速柵區(33);所述加速柵區(33)與第二連接外圈(31)分別在兩個相互平行的平面,所述第二連接弧面(32)的徑向截面垂直于第二連接外圈(31)的平面。

6.根據權利要求5所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述屏柵區(23)和加速柵區(33)之間的距離小于第一連接外圈(21)和第二連接外圈(31)之間的距離。

7.根據權利要求5所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述絕緣支架(1)上開設有固定槽(11),固定槽(11)的中心開設有同軸線的通孔(12);

8.根據權利要求7所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述固定槽(11)沿通孔(12)的外圍周向等分設置有若干個第三螺栓孔(13);

9.一種基于權利要求1所述的離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估方法,其特征在于,包括以下步驟:

10.根據權利要求9所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估方法,其特征在于,在步驟3前,包括以下步驟:


技術總結
本發明公開了一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置和方法,屬于離子推力器技術領域。該裝置設置有兩個絕緣支架,兩個絕緣支架分別用于安裝模擬屏柵和模擬加速柵,模擬屏柵和模擬加速柵上設置有對應的孔洞,能夠真實的模擬屏柵和加速柵。將該裝置置于濺射腔室內,通過離子源對模擬屏柵和模擬加速柵進行轟擊,進行濺射試驗;對濺射后的模擬屏柵和模擬加速柵進行場致發射測試和擊穿測試,進一步的能夠研究模擬屏柵的絕緣性能,同時能夠通過掃描電子顯微鏡和激光掃描共聚焦顯微鏡對模擬屏柵和模擬加速柵進行形貌特征分析。

技術研發人員:張冠軍,劉昊琰,劉玥琳,劉文瑄,周晟,齊昌春,李文睿,孫安邦
受保護的技術使用者:西安交通大學
技術研發日:
技術公布日:2025/4/28
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