1.一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述兩個絕緣支架(1)之間設置有等高板(4)。
3.根據權利要求2所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述兩個絕緣支架(1)之間設置有兩個等高板(4),分別設置在兩個絕緣支架(1)的上端之間和下端之間。
4.根據權利要求1所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述模擬屏柵(2)包括從外向內設置的第一連接外圈(21)、第一連接弧面(22)和屏柵區(23);所述屏柵區(23)與第一連接外圈(21)分別在兩個相互平行的平面,所述第一連接弧面(22)的徑向截面垂直于第一連接外圈(21)的平面。
5.根據權利要求4所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述模擬加速柵(3)包括從外向內設置的第二連接外圈(31)、第二連接弧面(32)和加速柵區(33);所述加速柵區(33)與第二連接外圈(31)分別在兩個相互平行的平面,所述第二連接弧面(32)的徑向截面垂直于第二連接外圈(31)的平面。
6.根據權利要求5所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述屏柵區(23)和加速柵區(33)之間的距離小于第一連接外圈(21)和第二連接外圈(31)之間的距離。
7.根據權利要求5所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述絕緣支架(1)上開設有固定槽(11),固定槽(11)的中心開設有同軸線的通孔(12);
8.根據權利要求7所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估裝置,其特征在于,所述固定槽(11)沿通孔(12)的外圍周向等分設置有若干個第三螺栓孔(13);
9.一種基于權利要求1所述的離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估方法,其特征在于,包括以下步驟:
10.根據權利要求9所述的一種離子濺射柵網電極絕緣性能與材料特性的模擬評估方法,其特征在于,在步驟3前,包括以下步驟: