1.一種明暗場檢測裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，所述照明調制組件包括前中繼鏡組、空間濾波組以及后中繼鏡組；其中，所述空間濾波組位于所述前中繼鏡組和所述后中繼鏡組之間的傅里葉平面處；所述空間濾波組的出光孔徑與所述物鏡的出瞳直徑相匹配，且所述空間濾波組與所述物鏡的出瞳面共軛。
3.根據權利要求2所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，所述空間濾波組包括空間濾波器，以及設置在所述空間濾波器上的電動轉盤，在所述電動轉盤上設有多個出光孔徑不同的出光孔，所述出光孔能夠被切換以使得出光孔徑匹配所述物鏡的出瞳直徑。
4.根據權利要求2所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，所述空間濾波組包括空間濾波器，以及設置在所述空間濾波器上的電動光闌，所述電動光闌能夠被調節以使得出光孔徑匹配所述物鏡的出瞳直徑。
5.根據權利要求2所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，所述照明調制組件還包括多個不同顏色的濾光片，所述濾光片的顏色與所述待測樣品的背景顏色不同。
6.根據權利要求1所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，所述物鏡包括多個出瞳直徑不同的子物鏡；所述第一照明光經所述子物鏡入射至所述待測樣品的表面，所述明場信號光和所述暗場信號光經所述子物鏡的光軸兩側分別入射至所述成像組件中；所述明場信號光和所述暗場信號光在參與光路傳輸的子物鏡和所述成像組件之間共光路傳輸，且空間上相互分離；參與光路傳輸的子物鏡可切換，且所述照明調制組件適配于參與光路傳輸的子物鏡的出瞳直徑。
7.根據權利要求1所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，在所述照明調制組件和所述物鏡之間還設有分光元件；所述第一照明光經過所述分光元件后進入所述物鏡中；所述明場信號光和所述暗場信號光均依次經過所述物鏡和所述分光元件入射至所述成像組件中；所述明場信號光和所述暗場信號光在所述物鏡和所述分光元件之間、所述分光元件和所述成像組件之間共光路傳輸。
8.根據權利要求2所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，在所述照明調制組件和所述物鏡之間還設有照明鏡組，所述照明調制組件發出的所述第一照明光依次經所述照明鏡組和所述物鏡后照射到所述待測樣品的表面；
9.根據權利要求7所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，在所述分光元件和所述成像組件之間還設有成像鏡組；自所述分光元件射出的所述明場信號光和所述暗場信號光經過所述成像鏡組入射至所述成像組件中，且所述明場信號光和所述暗場信號在所述分光元件和所述成像鏡組之間共光路傳輸。
10.根據權利要求7所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，在所述分光元件和所述物鏡之間還設有檢焦組件；所述檢焦組件包括：
11.根據權利要求1所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，所述成像組件包括光學分離元件、明場相機和暗場相機；其中，所述光學分離元件收集所述明場信號光和所述暗場信號光并進行光路分離，使所述暗場信號光和所述明場信號光分別對應進入所述暗場相機和所述明場相機中，用以執行暗場成像和明場成像。
12.根據權利要求11所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，所述光學分離元件包括第一反射面和第二反射面；
13.一種明暗場檢測方法，應用于權利要求1至12中任一項所述的明暗場檢測裝置，其特征在于，所述明暗場檢測方法包括：
14.根據權利要求13所述的明暗場檢測方法，其特征在于，在所述照明調制組件和所述物鏡之間還設有照明鏡組；所述照明調制組件包括前中繼鏡組和后中繼鏡組，以及位于所述前中繼鏡組和所述后中繼鏡組之間的傅里葉平面處的空間濾波組；
15.根據權利要求14所述的明暗場檢測方法，其特征在于，所述空間濾波組包括空間濾波器，以及設置在所述空間濾波器上的電動轉盤，在所述電動轉盤上設有多個出光孔徑不同的出光孔；
16.根據權利要求14所述的明暗場檢測方法，其特征在于，所述空間濾波組包括空間濾波器，以及設置在所述空間濾波器上的電動光闌；