技術特征：

1.一種表面發射激光器，其特征在于，包括：第一反射波導、第二反射波導、發光層以及高階光柵；

2.如權利要求1所述的表面發射激光器，其特征在于，所述第一反射波導和所述第二反射波導中的至少之一為布拉格反射波導。

3.如權利要求1或2所述的表面發射激光器，其特征在于，所述第一反射波導包括：交替層疊設置的多個第一介質層和多個第二介質層，所述第一介質層的折射率與所述第二介質層的折射率不同；

4.如權利要求3所述的表面發射激光器，其特征在于，還包括：襯底；

5.如權利要求1或2所述的表面發射激光器，其特征在于，還包括：襯底；

6.如權利要求5所述的表面發射激光器，其特征在于，所述第二反射波導位于所述第一反射波導與所述襯底之間；

7.如權利要求6所述的表面發射激光器，其特征在于，每一個所述凹槽從所述表面發射激光器的表面貫穿至所述第一反射波導中距離所述襯底最近的所述第一介質層；

8.如權利要求1或2所述的表面發射激光器，其特征在于，還包括：第一電極和第二電極；

9.如權利要求1所述的表面發射激光器，其特征在于，所述高階光柵位于所述第二反射波導與所述發光層之間；或者，所述高階光柵位于所述第一反射波導與所述發光層之間。

10.如權利要求1～9任一項所述的表面發射激光器，其特征在于，所述高階光柵的厚度在10nm-4000nm的范圍內，所述高階光柵的光柵周期在100nm～1000nm的范圍內。

11.一種激光發射模組，其特征在于，包括：如權利要求1～10任一項所述的表面發射激光器、光學組件和掃描器；

12.一種激光雷達，其特征在于，包括：如權利要求11所述的激光發射模組以及光探測器；

技術總結
本申請提供一種表面發射激光器、激光發射模組及激光雷達，表面發射激光器包括：第一反射波導、第二反射波導、發光層以及高階光柵。第一反射波導、第二反射波導和發光層為層疊設置，發光層位于第一反射波導與第二反射波導之間。高階光柵位于發光層沿第一方向上的至少一側，第一方向為垂直于發光層表面的方向。發光層包括：層疊設置的多個有源層和至少一個隧穿層，相鄰兩個有源層通過隧穿層連接。高階光柵用于耦合發光層中各有源層出射的光，以使發光層出射的光沿第二方向諧振且沿第一方向出射，第二方向為平行于發光層表面的方向。本申請實現了水平腔諧振且面發射出光，使表面發射激光器的溫漂系數較低、斜效率較高、光束質量較高且出光功率較高。

技術研發人員：沈紅明,汪麗杰,佟存柱
受保護的技術使用者：華為技術有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28