1.一種晶圓表面清洗設備，其特征在于：包括平臺（1），所述平臺（1）頂面設置有圓形的保護殼，所述平臺（1）上轉動設置有擺臂轉軸（2），所述擺臂轉軸（2）的上端固定連接有保護罩（3），且保護罩（3）的上端設置有密封蓋（31）；
2.根據權利要求1所述的一種晶圓表面清洗設備，其特征在于：所述驅動機構（4）包括擺臂電機（401）和毛刷電機（403），所述擺臂電機（401）和毛刷電機（403）均安裝于平臺（1）的底面，所述擺臂電機（401）的輸出軸上端固定安裝有第一驅動齒輪（402），所述毛刷電機（403）的輸出軸下端固定安裝有第二驅動齒輪（404），所述擺臂轉軸（2）的內部轉動連接有驅動桿（405），且驅動桿（405）的上端延伸至保護罩（3）內，并與保護罩（3）轉動連接，所述擺臂轉軸（2）的下端外壁固定安裝有第一從動齒輪（406），所述驅動桿（405）的下端固定安裝有第二從動齒輪（407）。
3.根據權利要求2所述的一種晶圓表面清洗設備，其特征在于：所述冷卻傳動部（82）包括聯動軸（821），兩個所述聯動軸（821）分別連接在旋轉桿（6）與驅動桿（405）的上端，所述聯動軸（821）的上端插接有限位板（822），所述限位板（822）的底面轉動連接有轉動環（823），所述聯動軸（821）的上端螺紋連接有緊固栓（824），所述聯動軸（821）的中端安裝有第一傳動齒輪（825），所述聯動軸（821）的下端轉動連接有限位座（826），且限位座（826）的底面利用支桿與保護罩（3）的內腔底面固定連接，所述限位座（826）內轉動連接有冷卻殼（827），所述限位座（826）上連接設置有進水管（828）和出水管（829）。
4.根據權利要求3所述的一種晶圓表面清洗設備，其特征在于：所述輸液部（83）包括水泵（831），所述水泵（831）安裝于制冷箱（81）的正面，且水泵（831）的抽水端與制冷箱（81）連通，所述水泵（831）的排水端連接有輸水管（832），所述輸水管（832）的一端延伸至保護罩（3）中，并連接有兩組分流管（833），且兩組所述分流管（833）另一端分別與兩個進水管（828）相連，所述制冷箱（81）的背面連接有兩個回流管（834），且回流管（834）的另一端與出水管（829）相連。
5.根據權利要求1所述的一種晶圓表面清洗設備，其特征在于：所述風冷部（84）包括驅動電機（841），所述驅動電機（841）安裝于保護罩（3）的底面，所述驅動電機（841）的輸出軸上固定安裝有第二傳動齒輪（842），所述保護罩（3）的底面開設有通風槽（843），所述通風槽（843）的內壁固定連接有支架，并在支架的中心處轉動連接有圓桿（844），所述圓桿（844）的上端固定安裝有扇葉（845），所述通風槽（843）的下端固定連接有濾板（846），且濾板（846）與圓桿（844）轉動連接，所述圓桿（844）的下端固定安裝有第三傳動齒輪（847），所述圓桿（844）的下端還安裝有刷板（848）。
6.根據權利要求1所述的一種晶圓表面清洗設備，其特征在于：所述張緊機構（9）包括支撐座（901），所述支撐座（901）連接在保護罩（3）的內腔底面，所述支撐座（901）的頂面固定連接有豎板（902），所述豎板（902）的側面固定連接有彈簧（903），所述彈簧（903）的另一端固定連接有u型座（904），所述u型座（904）上轉動連接有張緊輪（907），所述豎板（902）的側面還連接有導向桿（905），所述導向桿（905）上滑動連接有導向塊（906），且導向塊（906）與u型座（904）固定連接，所述支撐座（901）的頂面還安裝有觸點開關（908），所述u型座（904）的底面固定連接有抵觸塊（909）。
7.根據權利要求1所述的一種晶圓表面清洗設備，其特征在于：所述擺臂轉軸（2）采用sus304的材料，并在擺臂轉軸（2）的外部噴涂特氟龍涂層。
8.根據權利要求1所述的一種晶圓表面清洗設備，其特征在于：所述保護罩（3）的正面安裝有警示燈（10），且警示燈（10）與觸點開關（908）電連。
9.一種晶圓表面清洗用驅動毛刷清洗晶圓的方法，其特征在于：應用于權利要求1至8中任意一項所述的一種晶圓表面清洗設備，包括以下步驟：