本技術涉及射頻，尤其涉及一種射頻驅動裝置以及射頻電源系統。

背景技術：

1、目前，隨著射頻(radio?frequency，rf)技術的高速發展，射頻電源系統也越發常見地應用于高功率的場景中，以向負載提供所需功率的射頻電能，其中，往往采用射頻發生裝置來產生射頻電能并傳輸至負載，但是射頻發生裝置很容易受到反射功率的影響，較大的反射功率可以在短時間內擊毀射頻發生裝置。因此，如何對射頻發生裝置進行保護，成為了需要考慮的問題。

技術實現思路

1、本技術提供一種射頻驅動裝置以及射頻電源系統，可對射頻發生裝置進行快速、有效地保護，避免射頻發生裝置被擊毀。

2、第一方面，提供一種射頻驅動裝置，所述射頻驅動裝置包括輸入端、輸出端、n個射頻驅動單元以及選通單元，所述n個射頻驅動單元并聯連接于所述輸入端和所述選通單元之間，所述選通單元連接于所述n個所述射頻驅動單元以及所述輸出端之間，所述輸入端用于與直流電源連接，所述輸出端用于與射頻發生裝置連接；其中，在所述射頻驅動裝置的輸入端和輸出端分別與所述直流電源以及所述射頻發生裝置連接時，每一射頻驅動單元用于通過所述輸入端接收所述直流電源輸出的直流電能，并將所述直流電能轉換為目標電能。所述選通單元用于選擇性地導通其中一個目標射頻驅動單元與所述輸出端之間的連接，使得所述目標射頻驅動單元產生的目標電能通過所述輸出端輸出至所述射頻發生裝置。其中，所述n個射頻驅動單元產生的目標電能的電壓值互不相同，且在所述目標射頻驅動單元的目標電能輸出至所述射頻發生裝置時，其他n-1個射頻驅動單元的目標電能均停止輸出至所述射頻發生裝置，其中，n≥2。

3、在一種可能的實施方式中，所述每一射頻驅動單元均包括電壓調節模塊和儲能模塊，所述電壓調節模塊以及所述儲能模塊依次連接于所述輸入端與所述選通單元之間。其中，所述電壓調節模塊用于接收并調節所述直流電能的電壓值，以得到所述目標電能，所述儲能模塊用于根據所述目標電能進行充電，以儲存電能。

4、在一種可能的實施方式中，所述射頻驅動裝置還包括至少一個泄放電路。所述至少一個泄放電路包括n個第一泄放電路，所述n個第一泄放電路與所述n個射頻驅動單元一一對應，且每一第一泄放電路均連接于對應的射頻驅動單元的電壓調節模塊和儲能模塊之間，并與地連接；和/或，所述至少一個泄放電路包括一個第二泄放電路，所述第二泄放電路連接于所述選通單元和所述輸出端之間，并與地連接。其中，每一泄放電路均具有第一連接狀態和第二連接狀態，所述每一泄放電路用于在處于所述第一連接狀態時使得所述目標電能持續傳輸至所述儲能模塊或所述射頻發生裝置，以及在處于所述第二連接狀態時使得所述目標電能停止傳輸至所述儲能模塊或所述射頻發生裝置，并相應泄放所述儲能模塊或所述射頻發生裝置的電能到地。

5、在一種可能的實施方式中，所述射頻驅動裝置還包括控制單元，所述控制單元至少與所述每一泄放電路以及所述選通單元分別連接，所述控制單元用于控制所述每一泄放電路處于所述第一連接狀態或所述第二連接狀態，以及控制所述選通單元選擇性地導通所述目標射頻驅動單元與所述輸出端之間的連接。

6、在一種可能的實施方式中，所述射頻驅動裝置還包括參數獲取單元，所述參數獲取單元用于與所述射頻發生裝置連接，以獲取所述射頻發生裝置的第一參數。所述控制單元還與所述參數獲取單元連接，所述控制單元還用于接收所述第一參數，在所述第一參數不滿足第一預設條件時，根據所述第一參數控制所述選通單元導通所述目標射頻驅動單元與所述輸出端之間的連接，以使得所述目標射頻驅動單元產生的目標電能輸出至所述射頻發生裝置，以及在所述第一參數滿足所述第一預設條件時，控制所述選通單元斷開任一射頻驅動單元與所述輸出端之間的連接，以使得所述任一射頻驅動單元產生的目標電能均停止輸出至所述射頻發生裝置。

7、在一種可能的實施方式中，所述控制單元還用于在所述第一參數不滿足所述第一預設條件時，控制所述每一泄放電路均處于所述第一連接狀態，以使得所述目標電能持續傳輸至所述儲能模塊或所述射頻發生裝置，以及在所述第一參數滿足所述第一預設條件時，控制所述每一泄放電路均處于所述第二連接狀態，以使得所述目標電能停止傳輸至所述儲能模塊或所述射頻發生裝置，并相應泄放每一儲能模塊和/或所述射頻發生裝置的電能到地。

8、在一種可能的實施方式中，所述第一參數包括反射功率值，所述第一預設條件為所述反射功率值大于等于第一預設值。

9、在一種可能的實施方式中，所述每一泄放電路均包括開關模塊、第一泄放模塊以及第二泄放模塊。所述開關模塊連接于所述電壓調節模塊與所述儲能模塊之間或所述選通單元與所述輸出端之間，所述開關模塊用于處于第一導通狀態或第一斷開狀態，以分別導通或斷開所述電壓調節模塊與所述儲能模塊之間的連接路徑，從而對應使得所述目標電能持續傳輸或停止傳輸至所述儲能模塊；或者，分別導通或斷開所述選通單元與所述輸出端之間的連接路徑，從而對應使得所述目標電能持續傳輸或停止傳輸至所述射頻發生裝置。所述第一泄放模塊與所述開關模塊并聯連接于所述電壓調節模塊與所述儲能模塊之間或所述選通單元與所述輸出端之間，并與地連接，所述第一泄放模塊用于處于第二導通狀態或第二斷開狀態，以對應泄放或停止泄放所述儲能模塊的電能；或者，對應泄放或停止泄放所述射頻發生裝置的電能。所述第二泄放模塊連接于所述開關模塊和所述儲能模塊之間的連接點與地之間或所述開關模塊和所述輸出端之間的連接點與地之間，所述第二泄放模塊用于處于第三導通狀態或第三斷開狀態，以對應泄放或停止泄放所述儲能模塊的電能；或者，對應泄放或停止泄放所述射頻發生裝置的電能。其中，在所述開關模塊處于所述第一導通狀態，所述第一泄放模塊處于第二斷開狀態，以及所述第二泄放模塊處于第三斷開狀態時，對應的泄放電路處于所述第一連接狀態；在所述開關模塊處于所述第一斷開狀態，所述第一泄放模塊處于第二導通狀態和/或所述第二泄放模塊處于第三導通狀態時，對應的泄放電路處于所述第二連接狀態。

10、在一種可能的實施方式中，所述第二連接狀態包括第一泄放連接狀態、第二泄放連接狀態以及第三泄放連接狀態；在所述第一泄放模塊處于第二導通狀態以及所述第二泄放模塊處于第三導通狀態時，對應的泄放電路處于所述第一泄放連接狀態；在所述第一泄放模塊處于第二導通狀態以及所述第二泄放模塊處于第三斷開狀態時，對應的泄放電路處于所述第二泄放連接狀態；在所述第一泄放模塊處于第二斷開狀態以及所述第二泄放模塊處于第三導通狀態時，對應的泄放電路處于所述第三泄放連接狀態。其中，任一泄放電路在分別處于所述第一泄放連接狀態、所述第二泄放連接狀態以及所述第三泄放連接狀態時對所述儲能模塊或所述射頻發生裝置的電能的泄放速度均依次降低。

11、第二方面，還提供一種射頻電源系統，所述射頻電源系統包括直流電源、射頻發生裝置以及射頻驅動裝置。所述射頻驅動裝置包括輸入端、輸出端、n個射頻驅動單元以及選通單元，所述n個射頻驅動單元并聯連接于所述輸入端和所述選通單元之間，所述選通單元連接于所述n個所述射頻驅動單元以及所述輸出端之間，所述輸入端用于與直流電源連接，所述輸出端用于與射頻發生裝置連接；其中，在所述射頻驅動裝置的輸入端和輸出端分別與所述直流電源以及所述射頻發生裝置連接時，每一射頻驅動單元用于通過所述輸入端接收所述直流電源輸出的直流電能，并將所述直流電能轉換為目標電能。所述選通單元用于選擇性地導通其中一個目標射頻驅動單元與所述輸出端之間的連接，使得所述目標射頻驅動單元產生的目標電能通過所述輸出端輸出至所述射頻發生裝置。其中，所述n個射頻驅動單元產生的目標電能的電壓值互不相同，且在所述目標射頻驅動單元的目標電能輸出至所述射頻發生裝置時，其他n-1個射頻驅動單元的目標電能均停止輸出至所述射頻發生裝置，其中，n≥2。

12、本技術的射頻驅動裝置以及射頻電源系統，通過設置并聯連接的n個射頻驅動單元，且n個射頻驅動單元產生的目標電能的電壓值互不相同，能夠向射頻發生裝置輸出電壓值不同的目標電能，并通過設置選通單元選擇性地導通其中一個目標射頻驅動單元與輸出端之間的連接，使得目標射頻驅動單元產生的目標電能通過輸出端輸出至射頻發生裝置，從而能夠在射頻發生裝置不需要保護時選擇電壓值較高的目標電能輸出至射頻發生裝置產生射頻電能，以及在射頻發生裝置需要保護時選擇電壓值較低的目標電能輸出至射頻發生裝置，以快速降低反射功率，對射頻發生裝置進行快速、有效地保護，避免射頻發生裝置被擊毀。