本實用新型涉及機械領域,尤其涉及一種硅片翻轉沖洗裝置。
背景技術:
硅棒切片后,硅片需要沖洗脫膠,掛立沖洗時硅片在下部,硅片粘膠面在上部,兩側的噴淋水很難進入膠層和硅片連接處,造成此位置砂漿殘存,砂漿配比正常、輔材質量達標,最終通過清洗工序會洗掉臟污,如果季節變化、輔材質量變化,會造成粘膠面位置臟污無法清洗,其主要原因是沖洗水無法進入粘膠面位置,殘留砂漿無法清洗。
技術實現要素:
實用新型的目的:為了提供一種效果更好的硅片翻轉沖洗裝置,具體目的見具體實施部分的多個實質技術效果。
為了達到如上目的,本實用新型采取如下技術方案:
一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,包含機架,所述機架上包含豎直的板狀結構,該板狀結構上可轉安裝有定位卡盤,所述定位卡盤中部一邊包含把手,定位卡盤一邊穿過板狀結構為燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一個夾持槽,還包含能套裝在燕尾固定座的夾持槽中的燕尾座,所述燕尾座為上方的凸起,凸起和下方固定底盤之間能夾持在燕尾固定座中,固定底盤能放置硅片。
本實用新型進一步技術方案在于,所述固定底盤上包含多個夾子,夾子能夾持硅片。
本實用新型進一步技術方案在于,所述定位卡盤上包含多個孔,所述板狀結構上也包含孔,還包含能穿過定位卡盤上的孔和板狀結構上的孔的螺栓,該螺栓能將定位卡盤相對固定。
本實用新型進一步技術方案在于,所述機架上包含盛水槽,盛水槽位于燕尾固定座的下方。
本實用新型進一步技術方案在于,所述機架下方包含輪子。
本實用新型進一步技術方案在于,所述多個孔圍繞卡盤圓周分布。
本實用新型進一步技術方案在于,所述板狀結構能夠升降,其能夠帶動定位卡盤以及把手和燕尾固定座升降。
采用如上技術方案的本實用新型,相對于現有技術有如下有益效果:通過燕尾機構和轉軸共同驅動硅棒旋轉,使切割后的硅棒旋轉90度,粘膠面將處于一側,通過噴淋水自上而下進行沖洗,硅片間的砂漿尤其是粘膠面位置之前很難清洗的砂漿,將被徹底沖洗干凈,降低硅片之間的砂漿殘存,解決硅片清洗的臟污問題。
附圖說明
為了進一步說明本實用新型,下面結合附圖進一步進行說明:
圖1為實用新型第一位態結構示意圖;
圖2為實用新型第二位態結構示意圖;
其中:1.機架;2.燕尾固定座;3.燕尾座;4.固定底盤;5.把手;6.定位卡盤;7.固定孔。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型的實施例進行說明,實施例不構成對本實用新型的限制:
一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,包含機架,所述機架上包含豎直的板狀結構,該板狀結構上可轉安裝有定位卡盤,所述定位卡盤中部一邊包含把手,定位卡盤一邊穿過板狀結構為燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一個夾持槽,還包含能套裝在燕尾固定座的夾持槽中的燕尾座,所述燕尾座為上方的凸起,凸起和下方固定底盤之間能夾持在燕尾固定座中,固定底盤能放置硅片。本處的技術方案所起到的實質的技術效果及其實現過程為如下:通過燕尾機構和轉軸共同驅動硅棒旋轉,使切割后的硅棒旋轉90度,粘膠面將處于一側,通過噴淋水自上而下進行沖洗,硅片間的砂漿尤其是粘膠面位置之前很難清洗的砂漿,將被徹底沖洗干凈,降低硅片之間的砂漿殘存,解決硅片清洗的臟污問題。承載臺旋轉速度等信息還需送入顯示屏,這樣共同構成硅片邊緣硅落磨削裝置,燕尾單元位于整個機構的前端,并與轉軸單元連接,轉軸單元與升降單元連接,通過轉軸單元旋轉,驅動燕尾單元旋轉,帶動硅棒轉動。
工作步驟如下:
⑴料被固定在燕尾坐上;
⑵通過轉軸的旋轉,帶動棒料順時針旋轉90度位置,通過轉軸卡盤上的銷孔鎖定旋轉位置;本處的銷孔即固定孔;
⑶通過升降機構使硅棒處于合適的沖洗高度;
⑷打開沖洗噴頭,手持移動沖洗硅片間的砂漿;
⑸去掉卡盤上的定位銷,通過轉軸的旋轉,帶動硅棒順時針再旋轉90度,使硅片朝上,等待進行脫膠。
所述固定底盤上包含多個夾子,夾子能夾持硅片。本處的技術方案所起到的實質的技術效果及其實現過程為如下:本處提供了一種具體的固定結構,類似的實現方式均在本專利的保護范圍內。
所述定位卡盤上包含多個孔,所述板狀結構上也包含孔,還包含能穿過定位卡盤上的孔和板狀結構上的孔的螺栓,該螺栓能將定位卡盤相對固定。其即定位銷。通過定位銷進行位置鎖定。
所述機架上包含盛水槽,盛水槽位于燕尾固定座的下方。沖洗的空間為盛水槽。
所述機架下方包含輪子。輪子方便其移動。所述多個孔圍繞卡盤圓周分布。調整更方便。
所述板狀結構能夠升降,其能夠帶動定位卡盤以及把手和燕尾固定座升降。升降的方式和結構很多,可以是一個鋼絲能拉動板狀結構升降。升降機構降低硅棒至合適的位置,通過旋轉轉軸,帶動硅棒旋轉至所需位置,實用定位銷進行位置鎖定,通過沖洗切割的硅片縫隙,使殘留砂漿全部沖洗干凈,完成對切割后硅棒參與砂漿的沖洗。
開創性地,以上各個效果獨立存在,還能用一套結構完成上述結果的結合。
以上結構實現的技術效果實現清晰,如果不考慮附加的技術方案,本專利名稱還可以是一種清洗旋轉結構。圖中未示出部分細節。
需要說明的是,本專利提供的多個方案包含本身的基本方案,相互獨立,并不相互制約,但是其也可以在不沖突的情況下相互組合,達到多個效果共同實現。
以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優點。本領域的技術人員應該了解本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的范圍內。