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一種硅片翻轉沖洗裝置的制作方法

文檔序號:12170262閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,包含機架,所述機架上包含豎直的板狀結構,該板狀結構上可轉安裝有定位卡盤,所述定位卡盤中部一邊包含把手,定位卡盤一邊穿過板狀結構為燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一個夾持槽,還包含能套裝在燕尾固定座的夾持槽中的燕尾座,所述燕尾座為上方的凸起,凸起和下方固定底盤之間能夾持在燕尾固定座中,固定底盤能放置硅片。

2.如權利要求1所述的一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,所述固定底盤上包含多個夾子,夾子能夾持硅片。

3.如權利要求1所述的一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,所述定位卡盤上包含多個孔,所述板狀結構上也包含孔,還包含能穿過定位卡盤上的孔和板狀結構上的孔的螺栓,該螺栓能將定位卡盤相對固定。

4.如權利要求1所述的一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,所述機架上包含盛水槽,盛水槽位于燕尾固定座的下方。

5.如權利要求1所述的一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,所述機架下方包含輪子。

6.如權利要求3所述的一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,所述多個孔圍繞卡盤圓周分布。

7.如權利要求1所述的一種硅片翻轉沖洗裝置,其特征在于,所述板狀結構能夠升降,其能夠帶動定位卡盤以及把手和燕尾固定座升降。

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