專利名稱：用于顯示裝置的基板及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于顯示裝置的基板，更具體地，涉及一種用于識別在用于顯示裝置的基板上形成的精細圖案的移位程度(shift level)的方法。
背景技術：
作為用于代替作為早期的顯示裝置的陰極射線管的顯示裝置，液晶顯示裝置、等離子顯示面板和有機發(fā)光顯示裝置已被開發(fā)。 通過在基板上形成諸如薄膜晶體管之類的各種精細圖案來制造顯示裝置，并且各種測試工藝被執(zhí)行，以確定在顯示裝置的制造過程期間或者在完成了制造過程之后在顯示裝置中是否存在缺陷。作為顯示裝置的測試工藝之一，提供了一種用于識別基板上形成的精細圖案的移位程度的處理。以下，將參照附圖描述根據相關技術的用于識別在用于顯示裝置的基板上形成的精細圖案的移位程度的方法。圖1A和圖1B是示出根據相關技術的用于識別精細圖案的移位程度的方法的平面圖。在描述詳細的工藝之前，將參照圖1A和圖1B簡要描述整個基板的布局。可在基板I上形成多個有源區(qū)域10 (例如，兩個有源區(qū)域10)。各個有源區(qū)域通過劃線工藝被切害I]，然后構成顯示裝置的面板。構成顯示裝置的面板的多個有源區(qū)域10中的每一個均設置有各種圖案11和12，并且在所述多個有源區(qū)域10的外面形成交疊圖案21和22，以識別圖案11和12的移位程度。以下，將更詳細地描述每一工藝。首先，如圖1A所示，第一圖案11形成在基板I的有源區(qū)域10上，同時，第一交疊圖案21形成在有源區(qū)域10之外。第一圖案11的示例可包括以程度方向設置的選通線，第一交疊圖案21可形成為例如正方形結構。可通過諸如光刻之類的圖案形成工藝形成第一圖案11和第一交疊圖案21。在這種情況下，可通過使用與第一圖案11和第一交疊圖案21相應的第一掩膜圖案同時形成第一圖案11和第一交疊圖案21。接著，如圖1B所示，在基板I的有源區(qū)域10上形成第二圖案12，并同時在有源區(qū)域10的外部形成第二交疊圖案22。第二圖案12的示例可包括沿垂直方向設置的數據線，第二交疊圖案22可形成為例如在第一交疊圖案21內設置的正方形結構。可通過諸如光刻之類的圖案形成工藝形成第二圖案12和第二交疊圖案22。在這種情況下，可通過使用與第二圖案12和第二交疊圖案22相應的第二掩膜圖案同時形成第二圖案12和第二交疊圖案22。根據前面提到的相關技術方法，通過利用形成在有源區(qū)域10的外部的第一交疊圖案21和第二交疊圖案22來識別第一圖案11和第二圖案12的移位程度。換句話講，由于同時通過使用第一掩膜圖案形成第一圖案11和第一交疊圖案21，所以如果發(fā)生了諸如第一掩膜圖案的未對準之類的工藝誤差，則第一圖案11和第一交疊圖案21可以以相同程度移位。另外，由于同時通過使用第二掩膜圖案形成第二圖案12和第二交疊圖案22，所以如果發(fā)生了諸如第二掩膜圖案的未對準的工藝誤差，則第二圖案12和第二交疊圖案22可以以相同程度移位。由于第一圖案11和第二圖案12精細地形成在有源區(qū)域10內，所以不容易識別第一圖案11和第二圖案12的移位程度。因此，通過第一交疊圖案21的移位程度來識別第一圖案11的移位程度，并通過第二交疊圖案22的移位程度來識別第二圖案12的移位程度。然而，上面提到的相關技術方法具有如下問題。根據相關技術方法，如果發(fā)生了工藝誤差，則認為第一圖案11的移位程度與第一交疊圖案21的移位程度相同，以及第二圖案12的移位程度與第二交疊圖案22的移位程度相同。然而，第一圖案11的移位程度實際上與第一交疊圖案21的移位程度不相同，第二圖案12的移位程度實際上與第二 交疊圖案22的移位程度不相同。換句話講，即使因為第一交疊圖案21和第二交疊圖案22之間沒有發(fā)生移位而確定第一圖案11和第二圖案12被正確地形成，但可能通過后面的精確的測試工藝確定第一圖案11和第二圖案12沒有被正確地形成。為此，如果使用第一交疊圖案21和第二交疊圖案22的移位程度來確定第一圖案11和第二圖案12的移位程度，則在確定所述移位程度中可能出現誤差。另外，根據相關技術方法，第一交疊圖案21和第二交疊圖案22形成在構成顯示面板的面板的有源區(qū)域10的外部。因此，由于在劃線工藝之后在面板上不存在第一交疊圖案21和第二交疊圖案22，所以出現了在面板的狀態(tài)下不能使用第一交疊圖案21和第二交疊圖案22的問題。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明意圖提供一種基本消除了由于相關技術的局限性和缺點導致的一個或多個問題的用于顯示裝置的基板和制造該基板的方法。本發(fā)明的優(yōu)點在于提供了一種用于顯示裝置的基板和制造所述基板的方法，其中，基板上形成的精細圖案的移位程度被更準確地測試，并且即使在面板的狀態(tài)下也能被識別。本發(fā)明的其它優(yōu)點和特征部分將在下面說明書中被闡述，部分對于本領域技術人員當審查下面內容時將變得明顯，或者從實施本發(fā)明被獲知。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點可通過在撰寫的說明書、權利要求書以及附圖中所特別指出的結構被實現和獲得。為了實現這些目的和優(yōu)點以及根據本發(fā)明的目的，如本文所實施和廣泛描述的，制造用于顯示裝置的基板的方法包括以下步驟在所述基板的有源區(qū)域內形成第一圖案，并同時在所述有源區(qū)域的角區(qū)域形成第一交疊圖案；以及在所述基板的所述有源區(qū)域內形成第二圖案，并同時在所述有源區(qū)域的角區(qū)域形成第二交疊圖案，其中，所述第一交疊圖案包括沿預定方向設置的標度，并且所述第二交疊圖案包括沿所述預定方向設置的標度以面對所述第一交疊圖案的標度。在本發(fā)明的另一方面，一種用于顯示裝置的基板包括第一圖案和第二圖案，它們形成在所述基板的有源區(qū)域內；第一交疊圖案，其形成在所述有源區(qū)域的角區(qū)域，并由與所述第一圖案的材料相同的材料制成；以及第二交疊圖案，其形成在所述有源區(qū)域的角區(qū)域，并由與所述第二圖案的材料相同的材料制成，其中，所述第一交疊圖案包括沿預定方向設置的標度，并且所述第二交疊圖案包括沿所述預定方向設置的標度以面對所述第一交疊圖案的標度。應該理解，本發(fā)明的以上概括描述和下面的詳細描述是示例性和說明性的，意在提供對所要求保護的本發(fā)明的進一步解釋。


附圖示出了本發(fā)明的實施方式，并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理，所述附圖被包括以提供本發(fā)明的進一步理解，被合并到該申請中，并構成本申請的一部分。其中圖1A和圖1B是示出根據相關技術的用于識別精細圖案的移位程度的方法的平面圖；圖2A和圖2B是示出根據本發(fā)明的一個實施方式的制造用于顯示裝置的基板的方法的平面圖；圖3A和圖3B示出形成在 用于顯示裝置的基板的第一圖案和第二圖案被移位；圖4A至圖4E是示出根據本發(fā)明另一實施方式的制造用于顯示裝置的基板的方法的平面圖；圖5A至圖5E是示出根據本發(fā)明另一實施方式的制造用于顯示裝置的基板的方法的平面圖。
具體實施例方式現在將詳細闡述本發(fā)明的示例性實施方式，本發(fā)明的示例在附圖中示出。只要可能，在全部附圖中，使用相同的標號表示相同或類似的部件。圖2A和圖2B是示出根據本發(fā)明的一個實施方式的制造用于顯示裝置的基板的方法的平面圖。首先，如圖2A所示，在基板I的有源區(qū)域100內形成第一圖案101，同時在有源區(qū)域100的每個角區(qū)域形成第一交疊圖案201。之后，通過劃線工藝切割有源區(qū)域100，以構成顯示裝置的面板。可在基板I上形成多個有源區(qū)域。盡管在附圖中在基板I上形成了兩個有源區(qū)域100，但可考慮有源區(qū)域100的數量和設置來進行各種修改。表示有源區(qū)域100的線實際上是虛擬的線，并且在針對有源區(qū)域執(zhí)行劃線工藝之后構成面板的角。在有源區(qū)域100內以預定形狀形成第一圖案101。例如，如果用于顯示裝置的基板是薄膜晶體管基板，則第一圖案101可以是沿水平方向設置的選通線。
可在有源區(qū)域100內的邊緣區(qū)域(尤其是有源區(qū)域100內的角區(qū)域)形成第一交疊圖案201。盡管在附圖中在有源區(qū)域100內的四個角區(qū)域形成第一交疊圖案201，但可在四個角區(qū)域中的至少一個形成第一交疊圖案201。例如，可在有源區(qū)域100內的兩個相面對的角區(qū)域形成第一交疊圖案。通過一個圖案形成工藝同時形成第一圖案101和第一交疊圖案201。因此,可用相同的材料制造第一圖案101和第一交疊圖案201。
可通過光刻工藝形成第一圖案101和第一交疊圖案201。在這種情況下，可通過與第一圖案101和第一交疊圖案201相應的第一掩膜圖案同時形成第一圖案101和第一交疊圖案201。可通過使用滾筒印刷工藝同時形成第一圖案101和第一交疊圖案201。參照圖2A中用箭頭標出的放大示圖，第一交疊圖案201可包括第一子圖案201a和第二子圖案201b。第一子圖案201a可包括標度(gradation)或標記(以下，“標度”一般稱為“標度或標記”)，尤其是沿第一方向(例如，垂直方向)以預定間隔設置的水平標度。第二子圖案201b可包括標度，尤其是沿與第一方向不同的第二方向(例如，水平方向)按預定間隔設置的垂直標度。另外，第一子圖案201a和第二子圖案201b還可包括標度的編號(numbering)(例如，O、I和2)，并還可包括所述編號的符號(例如，(+ )和(-))。另外，第一子圖案201a和第二子圖案201b還可包括與之一起形成的表不第一圖案101的標題，例如第一圖案101的標題(例如，P1)。接著，如圖2B所示，在基板I的有源區(qū)域100內形成第二圖案102，并同時在有源區(qū)域100的每個角區(qū)域形成第二交疊圖案202。在有源區(qū)域100內以預定形狀形成第二圖案102。例如，如果用于顯示裝置的基板是薄膜晶體管基板，則第二圖案102可以是沿垂直方向設置的數據線。可在有源區(qū)域100內的邊緣區(qū)域(尤其是有源區(qū)域100內的角區(qū)域)形成第二交疊圖案202。可通過圖案形成工藝同時形成第二圖案102和第二交疊圖案202。因此，可用相同的材料制造第二圖案102和第二交疊圖案202。可通過光刻工藝形成第二圖案102和第二交疊圖案202。在這種情況下，可通過與第二圖案102和第二交疊圖案202相應的第二掩膜圖案同時形成第二圖案102和第二交疊圖案202。可通過使用滾筒印刷工藝同時形成第二圖案102和第二交疊圖案202。參照圖2B中用箭頭標出的放大示圖，第二交疊圖案202可包括第三子圖案202a和第四子圖案202b。第三子圖案202a可包括標度，尤其是沿第一方向(例如，垂直方向)以預定間隔設置的水平標度。第三子圖案202a對應于第一子圖案201a，并對稱地面對第一子圖案201a。第四子圖案202b可包括標度，尤其是沿與第一方向不同的第二方向(例如，水平方向)按預定間隔設置的垂直標度。第四子圖案202b對應于第二子圖案201b，并對稱地面對第二子圖案201b。
另外，第三子圖案202a和第四子圖案202b中的每一個還可包括標度的編號(例如，O、I和2)，并還可包括所述編號的符號(例如，(+ )和(_))。另外，第三子圖案202a和第四子圖案202b還可包括與之一起形成的表示第二圖案102的標題，例如第二圖案102的名稱(例如，P2)。在上面提到的根據本發(fā)明的制造方法中，用于識別第一圖案101和第二圖案102的移位程度的方法將在下面描述。第一交疊圖案201表示第一圖案101的移位程度，第二交疊圖案202表示第二圖案102的移位程度。換句話講，通過第一交疊圖案201的移位程度來識別第一圖案101的移位程度，通過第二交疊圖案202的移位程度來識別第二圖案102的移位程度。在這種情況下，第一交疊圖案201可以是參考圖案。因此，可基于第一交疊圖案201來識別第二交疊圖案202的移位程度，從而最終識別第一圖案101和第二圖案102的移位程度，以確定在產品中是否存在缺陷。具體地，可通過彼此對應的第一子圖案201a和第三子圖案202a來識別第一圖案101和第二圖案102在上下方向上的移位程度。另外，可通過彼此對應的第二子圖案201b和第四子圖案202b來識別第一圖案101和第二圖案102在左右方向上的移位程度。將更詳細地描述第一圖案101和第二圖案102的移位程度。第一子圖案201a可以是第三子圖案202a的參考圖案。因此，基于第一子圖案201a來識別第三子圖案202a的移位程度。詳細地，可通過檢查構成第一子圖案201a的標度是否與構成第三子圖案202a的標度相符合(meet)來識別第一圖案101和第二圖案102在上下方向上的移位程度。然而，無法通過檢測構成第一子圖案201a的標度是否與構成第三子圖案202a的標度相符合來識別第一圖案101和第二圖案102在左右方向上的移位程度。

因此，可通過檢查構成第二子圖案201b的標度是否與構成第四子圖案202b的標度相符合來識別第一圖案101和第二圖案102在左右方向上的移位程度。參照圖3A和圖3B可容易地理解通過第一子圖案201a、第二子圖案201b、第三子圖案202a和第四子圖案202b對第一圖案101和第二圖案102在左右方向上或上下方向上的移位程度的識別。圖3A和圖3B示出形成在用于顯示裝置的基板上的第一圖案和第二圖案被移位。圖3A示出第一圖案101和第二圖案102在上下方向上沒有移位但在左右方向上移位，圖3B示出第一圖案101和第二圖案102在左右方向上沒有移位但在上下方向上移位。如圖3A所示，即使構成第一子圖案201a的標度與構成第三子圖案202a的標度相符合，構成第二子圖案201b的標度可能也不與構成第四子圖案202b的標度相符合。因此，如果第一交疊圖案201僅包括第一子圖案201a，第二交疊圖案202僅包括第三子圖案202a，則第一圖案101和第二圖案102的移位程度(尤其是在左右方向上的移位程度)可能無法被準確地識別。然而，由于可能通過檢查第一子圖案201a如何與第三子圖案202a交疊來識別第一圖案101和第二圖案102在左右方向上的移位程度，所以根本不需要第二子圖案201b和第四子圖案202b。如圖3B所示，即使構成第二子圖案201b的標度與構成第四子圖案202b的標度相符合，構成第一子圖案201a的標度也可能不與構成第三子圖案202a的標度相符合。
因此，如果第一交疊圖案201僅包括第二子圖案201b，第二交疊圖案202僅包括第四子圖案202b，則第一圖案101和第二圖案102的移位程度(尤其是在上下方向上的移位程度)可能無法被準確地識別。然而，由于可能通過檢查第二子圖案201b如何與第四子圖案202b交疊來識別第一圖案101和第二圖案102在上下方向上的移位程度，所以根本不需要第一子圖案201a和第三子圖案202a。如上所述，可通過檢查構成第一交疊圖案201的標度是否與構成第二交疊圖案202的標度相符合來識別第一圖案101和第二圖案102的移位程度。為了更容易地檢查構成第一交疊圖案201的標度是否與構成第二交疊圖案202的標度相符合，如上所述，可另外使用標度的編號、所述編號的符號和圖案的標題。根據如上所述的本發(fā)明，由于第一交疊圖案201和第二交疊圖案202形成在基板I的有源區(qū)域100內的角區(qū)域，所以與相關技術相比，可更準確地識別第一圖案101和第二圖案102的移位程度。換句話講，由于與相關技術相比第一交疊圖案201和第一圖案101之間的距離減小，所以即使認為第一圖案101的移位程度與第一交疊圖案201的移位程度相同，與相關技術相比也能減小誤差的可能性。具體地，根據本發(fā)明，由于使用彼此相應的標度來形成第一交疊圖案201和第二交疊圖案202，所以與相關技術相比，可更容易識別移位程度。另外，由于第一交疊圖案201和第二交疊圖案202形成在基板I的有源區(qū)域100內的角區(qū)域，所以即使在劃線工藝之后第一交疊圖案201和第二交疊圖案202也存在于面板中，由此即使在面板的情況下，也可通過使用第一交疊圖案201和第二交疊圖案202來識別第一圖案101和第二圖案102的移位程度。圖4A至圖4E 是示出根據本發(fā)明另一實施方式的制造用于顯示裝置的基板的方法的平面圖，圖5A至圖5E是示出根據本發(fā)明另一實施方式的制造用于顯示裝置的基板的方法的截面圖。圖5A至圖5E的工藝步驟中的每一個對應于圖4A至圖4E的工藝步驟中的每一個。根據本發(fā)明的另一實施方式的制造用于顯示裝置的基板的方法涉及制造薄膜晶體管基板的方法，與上面提到的實施方式相同的詳細描述將被省略。首先，如圖4A和圖5A所示，在基板I的有源區(qū)域100內形成選通圖案110，同時在有源區(qū)域100的每個角區(qū)域(尤其在每個邊緣區(qū)域)形成選通交疊圖案210。在圖5A中，在左側沿線A-A獲取的截面示出形成有選通圖案110的區(qū)域，在中心沿線B-B獲取的截面和在右側沿線C-C獲取的截面示出形成有選通交疊圖案210的區(qū)域。具體地，參照圖4A，由于總共形成了兩個選通交疊圖案，所以在中心沿線B-B獲取的截面可以是兩個選通交疊圖案210中的任何一個，在右側沿線C-C獲取的截面示出兩個選通交疊圖案210中的另一個。如圖4A所示，選通圖案110可包括沿預定方向(例如，水平方向)設置的選通線和從所示選通線分叉的柵極。如圖5A所示，選通圖案110形成在基板I上。如圖4A所示，選通交疊圖案可包括第一選通交疊圖案210a和第二選通交疊圖案210b。第一選通交疊圖案210a可以以與上面提到的第一子圖案201a相同的方式包括標度、標度的編號、和所述編號的符號。第二選通交疊圖案210b可以以與上面提到的第二子圖案201b相同的方式包括標度、標度的編號、和所述編號的符號。另外，第一選通交疊圖案210a和第二選通交疊圖案210b可包括選通圖案110的標題G。同時通過一個圖案形成工藝來形成選通圖案110和選通交疊圖案210。因此，可用相同的材料來制造選通圖案110和選通交疊圖案210。例如，可通過光刻工藝形成選通圖案110和選通交疊圖案210。在這種情況下，可通過使用與選通圖案110和選通交疊圖案210相應的選通掩膜圖案同時形成選通圖案110和選通交疊圖案210。盡管如示出的可在有源區(qū)域100內的一個角區(qū)域形成多個選通交疊圖案210 (例如，兩個選通交疊圖案210)，但可根據情況形成三個或更多個選通交疊圖案。換句話講，可根據應該識別移位程度的圖案的數量來對選通交疊圖案210的數量做出各種修改。如圖5A所示，在基板I上形成選通交疊圖案210。接著，如圖4B和圖5B所示，在選通圖案110和選通交疊圖案210上形成選通絕緣膜 120。參照圖5B，在包括選通圖案110和選通交疊圖案210的基板I上形成選通絕緣膜120。具體地，可在基板I的整個有源區(qū)域100上形成選通絕緣膜120。盡管圖4B與圖4A相同，但在圖4B的有源區(qū)域100上實際上形成了選通絕緣膜120。接著，如圖4C和圖5C所示，在基板I的有源區(qū)域100內形成數據圖案140，同時在有源區(qū)域100的每個角區(qū)域( 尤其在每個邊緣區(qū)域)形成數據交疊圖案220。如圖4C所示，數據圖案140可包括沿預定方向(例如，垂直方向)設置的數據線、從所示數據線分叉的源極和面對所述源極的漏極。參照圖5C的沿線A-A獲取的截面，半導體層130形成在選通絕緣膜120上，源極141和漏極142彼此面對地形成在半導體層130上。可通過使用半色調掩膜來使數據圖案140和半導體層130形成圖案。在這種情況下，除了源極141和漏極142之間的空間之外，可以以相同圖案形成數據圖案140和半導體層 130。然而數據圖案140和半導體層130的形成不限于以上示例。換句話講，在通過使用預定掩膜使半導體層130形成圖案之后，可通過使用單獨的掩膜形成數據圖案140。在這種情況下，可另外設置單獨的元件以識別半導體層130的移位程度。如圖4C所示，數據交疊圖案220可包括第一數據交疊圖案220a和第二數據交疊圖案220b。第一數據交疊圖案220a可以以與上面提到的第三子圖案202a相同的方式包括標度、標度的編號、和所述編號的符號。第二數據交疊圖案220b可以以與上面提到的第四子圖案202b相同的方式包括標度、標度的編號、和所述編號的符號。另外，第一數據交疊圖案220a和第二數據交疊圖案220b可包括數據圖案140的標題S。如圖5C的B-B截面所示,數據交疊圖案220可包括順序地形成在選通絕緣膜120上的半導體材料層130a和數據圖案材料層140a。半導體材料層130a是構成前面提到的半導體層130的材料層，數據圖案材料層140a是構成前面提到的數據圖案140的材料層。換句話講，同時通過一個圖案形成工藝形成數據圖案140和數據交疊圖案220。具體地，如上所述，如果同時通過半色調掩膜使半導體層130和數據圖案140圖案形成，則數據交疊圖案220包括半導體材料層130a和數據圖案材料層140a。如圖5C的B-B截面中的虛線所標記的，如果選通交疊圖案210的一端與數據交疊圖案220的一端相對齊(meet)，則可確定在選通交疊圖案210和數據交疊圖案220之間沒有發(fā)生移位。接著，如圖4D和圖所示，鈍化膜150形成在數據圖案140和數據交疊圖案220
上。 參照圖ro，鈍化膜150形成在包括數據圖案140和數據交疊圖案220的基板I上。具體地講，鈍化膜150可形成在基板I的整個有源區(qū)域100上。另外，參照圖的A-A截面，可去除鈍化膜150的預定區(qū)域，以露出漏極142，從而形成接觸孔H。盡管圖4D與圖4C相同，但在圖4D的有源區(qū)域100上實際上形成了鈍化膜150。接著，如圖4E和圖5E所示，像素電極圖案160形成在基板I的有源區(qū)域100內，同時像素交疊圖案230形成在有源區(qū)域100的每個角區(qū)域(尤其是每個邊緣區(qū)域)。如圖4E和圖5E所示，像素電極圖案160形成在鈍化膜150上，尤其通過接觸孔H與漏極142連接。如圖4E所示，像素交疊圖案230可包括第一像素交疊圖案230a和第二像素交疊圖案230b。第一像素交疊圖案230a可以以與前面提到的第三子圖案202a相同的方式包括標度、標度的編號和所述編號的符號。第二像素交疊圖案230b可以以與前面提到的第四子圖案202b相同的方式包括標度、標度的編號和所述編號的符號。另外，第一像素交疊圖案230a和第二像素交疊圖案230b可包括像素電極圖案160的標題P。同時通過一個圖案形成工藝形成像素電極圖案160和像素交疊圖案230。因此，可用相同的材料來制造像素電極圖案160和像素交疊圖案230。例如,可通過光刻工藝形成像素電極圖案160和像素交疊圖案230。在這種情況下，可通過使用與像素電極圖案160和像素交疊圖案230對應的像素掩膜圖案同時形成像素電極圖案160和像素交疊圖案230。如圖5E的C-C截面中的虛線所標記的，如果選通交疊圖案210的一端與像素交疊圖案230的一端相對齊(meet)，則可確定在選通交疊圖案210和像素交疊圖案230之間沒有發(fā)生移位。同時，盡管沒有示出，但可以以與相關技術相同的方式在有源區(qū)域的外部另外形成子交疊圖案。前面提到的用于顯示裝置的基板可用作(但不限于)用于液晶顯示裝置的薄膜晶體管基板或用于有機發(fā)光裝置的薄膜晶體管基板。對本領域技術人員將明顯的是，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可對本發(fā)明做出各種修改和變形。因此，本發(fā)明意在覆蓋落入所附權利要求及其等同物的范圍內的本發(fā)明的修改和變形。

本申請要求于2011年10月7日提交的韓國專利申請No. 10-2011-0102261的優(yōu)先權和權益，該申請通過引用包含于此，如同在本文中被完全闡述一樣。
權利要求
1.一種制造用于顯示裝置的基板的方法，所述方法包括以下步驟在所述基板的有源區(qū)域內形成第一圖案，并同時在所述有源區(qū)域的角區(qū)域形成第一交置圖案；以及在所述基板的所述有源區(qū)域內形成第二圖案，并同時在所述有源區(qū)域的角區(qū)域形成第二交疊圖案，其中，所述第一交疊圖案包括沿預定方向設置的標度，并且所述第二交疊圖案包括沿所述預定方向設置的標度以面對所述第一交疊圖案的標度。
2.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一交疊圖案包括第一子圖案，其具有沿第一方向設置的標度；以及第二子圖案，其具有沿與第一方向不同的第二方向設置的標度，其中，所述第二交疊圖案包括第三子圖案，其具有沿所述第一方向設置的標度；以及第四子圖案，其具有沿所述第二方向設置的標度，并且其中，所述第一子圖案和所述第三子圖案彼此對稱地相面對，所述第二子圖案和所述第四子圖案彼此對稱地相面對。
3.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一交疊圖案還包括所述標度的編號、所述編號的符號和表示所述第一圖案的標題中的至少一個，并且其中，所述第二交疊圖案還包括所述標度的編號、所述編號的符號和表示所述第二圖案的標題中的至少一個。
4.如權利要求1所述的方法，其中，在所述有源區(qū)域內的一個角區(qū)域形成多個所述第一交疊圖案。
5.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一圖案包括選通圖案，所述第一交疊圖案包括選通交疊圖案，并且其中，所述第二圖案包括數據圖案，所述第二交疊圖案包括數據交疊圖案。
6.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一圖案包括選通圖案，所述第一交疊圖案包括選通交疊圖案，并且其中，所述第二圖案包括像素電極圖案，所述第二交疊圖案包括像素交疊圖案。
7.一種用于顯示裝置的基板，所述基板包括第一圖案和第二圖案，它們形成在所述基板的有源區(qū)域內；第一交疊圖案，其形成在所述有源區(qū)域的角區(qū)域，并由與所述第一圖案的材料相同的材料制成；以及第二交疊圖案，其形成在所述有源區(qū)域的角區(qū)域，并由與所述第二圖案的材料相同的材料制成，其中，所述第一交疊圖案包括沿預定方向設置的標度，并且所述第二交疊圖案包括沿所述預定方向設置的標度以面對所述第一交疊圖案的標度。
8.如權利要求7所述的基板，其中，所述第一交疊圖案包括第一子圖案，其具有沿第一方向設置的標度；以及第二子圖案，其具有沿與第一方向不同的第二方向設置的標度，其中，所述第二交疊圖案包括第三子圖案，其具有沿所述第一方向設置的標度；以及第四子圖案，其具有沿所述第二方向設置的標度，并且其中，所述第一子圖案和所述第三子圖案彼此對稱地相面對，所述第二子圖案和所述第四子圖案彼此對稱地相面對。
9.如權利要求7所述的基板，其中，所述第一交疊圖案還包括所述標度的編號、所述編號的符號和表示所述第一圖案的標題中的至少一個，并且其中，所述第二交疊圖案還包括所述標度的編號、所述編號的符號和表示所述第二圖案的標題中的至少一個。
10.如權利要求7所述的基板，其中，在所述有源區(qū)域內的一個角區(qū)域形成多個所述第一交疊圖案。
全文摘要
本發(fā)明提供了用于顯示裝置的基板及其制造方法。制造用于顯示裝置的基板的方法包括以下步驟在所述基板的有源區(qū)域內形成第一圖案，并同時在所述有源區(qū)域的角區(qū)域形成第一交疊圖案；以及在所述基板的所述有源區(qū)域內形成第二圖案，并同時在所述有源區(qū)域的角區(qū)域形成第二交疊圖案，其中，所述第一交疊圖案包括沿預定方向設置的標度，并且所述第二交疊圖案包括沿所述預定方向設置的標度以面對所述第一交疊圖案的標度。
文檔編號G02F1/1362GK103035567SQ20121036721
公開日2013年4月10日 申請日期2012年9月28日 優(yōu)先權日2011年10月7日
發(fā)明者金倫吾, 林鐘千, 劉宰顯 申請人:樂金顯示有限公司