1.一種EUV光源，其特征在于，包括：
液滴陣列，所述液滴陣列包括呈環形排布的若干噴嘴，若干噴嘴適于依次向下方的環形輻射位置噴吐液滴；
激光源，適于產生激光束，使激光束從液滴陣列上方入射并旋轉掃描，依次轟擊到達環形輻射位置的液滴，液滴受到激光轟擊時形成等離子體，等離子體輻射極紫外光；
一體式旋轉結構，位于液滴陣列和激光源之間，所述一體式旋轉結構包括聚光鏡、與聚光鏡的一體連接的電機驅動軸，所述聚光鏡包括內凹的第一表面以及相對的第二表面，第一表面與液滴整列相對，第二表面與電機驅動軸相連接，所述第一表面包括偏心且傾斜的橢球形反射面以及包圍橢球形反射面的非反射面，所述一體式旋轉結構適于旋轉掃描，旋轉掃描時偏心且傾斜的橢球形反射面收集輻射的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于環形輻射位置下方的中心焦點。
2.如權利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述一體式旋轉結構還包括與電機驅動軸一體連接的推力軸承。
3.如權利要求2所述的EUV光源，其特征在于，若干噴嘴呈環形排布為呈圓環形排布，圓環上的相鄰噴嘴之間的間距相等，且噴嘴均向圓環的中心方向傾斜第一角度。
4.如權利要求3所述的EUV光源，其特征在于，所述環形輻射位置為呈圓環形的區域，所述環形輻射位置所在圓環平行于若干噴嘴所在圓環，且所述環形輻射位置所在圓環的半徑小于若干噴嘴所在圓環的半徑。
5.如權利要求4所述的EUV光源，其特征在于，所述環形輻射位置所在圓環的圓心位于若干噴嘴所在圓環的圓心的正下方。
6.如權利要求5所述的EUV光源，其特征在于，所述中間焦點位于所述環形輻射位置所在圓環的圓心與若干噴嘴所在圓環的圓心兩者連線的延長線上。
7.如權利要求6所述的EUV光源，其特征在于，所述環形輻射位置所在圓環的圓心與所述若干噴嘴所在圓環的圓心的連線構成第一光軸。
8.如權利要求7所述的EUV光源，其特征在于，還包括無刷電機，所述無刷電機與所述電機驅動軸連接，所述無刷電機適于驅動所述一體式旋轉結構以第一光軸為旋轉軸旋轉掃描，在激光束依次轟擊到達環形輻射位置的液滴形成的輻射極紫外光時，橢球形反射面收集輻射的極紫外光，并將收集的輻射極紫外光反射后匯聚于中心焦點。
9.如權利要求8所述的EUV光源，其特征在于，所述橢球形反射面具有第二光軸，所述第二光軸穿過位于環形輻射位置的液滴的中心，所述橢球形反射面的傾斜角度等于第一光軸和第二光軸的夾角。
10.如權利要求9所述的EUV光源，其特征在于，所述聚光鏡的橢球形反射面的中心處具有第一通孔，所述電機驅動軸內具有第二通孔，所述推力軸承內具有第三通孔，第一通孔、第二通孔和第三通孔相互貫穿，所述激光源包括激光器、聚焦透鏡，所述激光器位于一體式旋轉結構上方，適于產生激光束，所述聚焦透鏡位于第一通孔中，并與聚光鏡固定在一起，所述聚焦透鏡適于將透過第二通孔的激光束聚焦到環形輻射位置，轟擊位于環形輻射位置的液滴。
11.如權利要求10所述的EUV光源，其特征在于，所述激光源還包括固定的反射鏡，所述固定的反射鏡將激光器發射的激光束反射后透過第二通孔和第三通孔入射到聚焦透鏡。
12.如權利要求10所述的EUV光源，其特征在于，還包括控制單元，所述控制單元輸出同步的第一信號、第二信號，第一信號控制若干噴嘴依次噴吐液滴，第二信號控制所述無刷電機驅動所述一體式旋轉結構中的橢球形反射面和聚焦透鏡同步旋轉。
13.如權利要求10所述的EUV光源，其特征在于，所述激光器為泵浦的脈沖輸出激光器。
14.如權利要求1所述的EUV光源，其特征在于，呈環形排布依次包括第一噴嘴、第二噴嘴、第二噴嘴……第N(N≥3)噴嘴，在第一噴嘴噴吐第一液 滴后，第二噴嘴噴滯后于第一噴嘴第一時間噴吐第二液滴，第三噴嘴滯后于第二噴嘴第一時間噴吐第三液滴……第N噴嘴滯后于第N-1噴嘴第一時間噴吐第N液滴。
15.如權利要求14所述的EUV光源，其特征在于，所述激光源產生激光束并使產生的激光束旋轉掃描，依次轟擊到達環形輻射位置的第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴。
16.如權利要求15所述的EUV光源，其特征在于，所述第一噴嘴在噴吐第一滴第一液滴后，間隔第二時間噴吐第二滴第一液滴，第二噴嘴在噴吐第一滴第二液滴后，間隔第二時間噴吐第二滴第二液滴，第三噴嘴在噴吐第一滴第三液滴后，間隔第二時間噴吐第二滴第三液滴……第N噴嘴在噴吐第一滴第N液滴后，間隔第二時間噴吐第二滴第N液滴。
17.一種曝光裝置，其特征在于，包括：如權利要求1所述的EUV光源。
18.一種一體式旋轉結構制作方法，其特征在于，包括：
提供圓柱體加工料，所述圓柱體加工料包括側面和位于側面兩端相對的第三表面和第四表面，以及穿過第三表面和第四表面中心的中心對稱軸；
沿第三表面加工所述圓柱體加工料，在所述圓柱體加工料中形成橢球形反射面，所述橢球型反射面具有第二光軸，所述第二光軸與中心對稱軸重合，且所述橢球反射面沉入圓柱體加工料內第一深度；
形成貫穿所述橢球型反射面中心的第一通孔；
加工圓柱體加工料的側面，形成第五表面和第六表面，所述第五表面平行于第六表面，第五表面與第二光軸具有第一夾角，所述第五表面和第六表面之間的中心對稱軸作為第一光軸；
以第五表面和第六表面作為加持基準面，繼續加工所述第一表面，在所述圓柱體加工料中形成與橢球型反射面邊緣接觸的弧形的非反射面，所述非反射面和橢球形反射面構成聚光鏡的第一表面。
19.如權利要求18所述的一體式旋轉結構制作方法，其特征在于，所述加工形成非反射面的步驟包括第一加工步驟和第二加工步驟，首先進行第一加工 步驟，形成與橢球型反射面的高點邊緣接觸或接近的第一弧面；進行第二加工步驟，形成與橢球型反射面的從高點到低點的邊緣接觸或接近的第二弧面。
20.如權利要求18所述的一體式旋轉結構制作方法，其特征在于，還包括，沿第五表面和第六表面加工去除部分圓柱體加工料，形成與第一表面相對的弧形的第二表面；繼續沿第五表面和第六表面加工剩余的圓柱體加工料，形成與第二表面連接的電機驅動軸；沿第四表面和剩下的第五表面和第六表面加工剩余的圓柱體加工料，形成與電機驅動軸一體連接的推力軸承。