麻豆精品无码国产在线播放,国产亚洲精品成人AA片新蒲金,国模无码大尺度一区二区三区,神马免费午夜福利剧场

一種反射式等離子體納米結構光開關及其制備方法與流程

文檔序號:12458410閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種反射式等離子體納米結構光開關,包括用于改變入射光偏振方向的偏振調制器件(4)和等離子體納米結構(5),其特征在于:所述等離子體納米結構(5)包括底層的金屬薄膜(1)、中間層的電介質薄膜(2)和分布在電介質薄膜(2)上表面的若干金屬納米環(301),且金屬納米環(301)對稱分布并形成周期排布的金屬納米環陣列(3),所述金屬納米環陣列(3)在一個方向上的排列周期為金屬納米環(301)共振波長的0.92~0.97倍,而在與該方向垂直的另外一個方向上的排列周期小于等于金屬納米環(301)共振波長的0.8倍或大于等于金屬納米環(301)共振波長的1.15倍。

2.根據權利要求1所述的一種反射式等離子體納米結構光開關,其特征在于:所述金屬薄膜(1)的材質為金、銀或銅。

3.根據權利要求1所述的一種反射式等離子體納米結構光開關,其特征在于:所述電介質薄膜(2)的材質為二氧化硅、氧化鋁或氧化鎂。

4.根據權利要求1所述的一種反射式等離子體納米結構光開關,其特征在于:所述金屬納米環(301)的內徑為80nm,壁厚為40nm,金屬納米環(301)在相互垂直的兩個方向的周期分別為900nm和1250nm,金屬納米環陣列(3)的厚度為40nm,電介質薄膜(2)的厚度為60nm,金屬薄膜(1)的厚度為200nm。

5.根據權利要求1所述的一種反射式等離子體納米結構光開關,其特征在于:所述用于改變入射光偏振方向的偏振調制器件(4)為普克爾斯盒、TN液晶盒、法拉第盒或克爾盒。

6.根據權利要求1所述的一種反射式等離子體納米結構光開關的制備方法,首先制備等離子體納米結構(5),然后將其與用于改變入射光偏振方向的偏振調制器件(4)組合即得到產品,其特征在于,所述等離子體納米結構(5)的制備方法為:取一基底層,并在基底層上依次沉積一層金屬薄膜(1)和一層電介質薄膜(2),然后在電介質薄膜(2)上利用電子束刻蝕方法制備出金屬納米環陣列(3),即得到等離子體納米結構(5)。

7.根據權利要求6所述的一種反射式等離子體納米結構光開關的制備方法,其特征在于:所述金屬薄膜(1)和電介質薄膜(2)采用物理氣相沉積法制備。

8.根據權利要求6所述的一種反射式等離子體納米結構光開關的制備方法,其特征在于,所述利用電子束刻蝕方法制備出金屬納米環陣列(3)的具體操作為:

1)在電介質薄膜(2)的上表面旋涂PMMA,以形成一層電子抗蝕劑層;

2)在電子抗蝕劑表面旋涂導電液后,利用電子束刻蝕出所需的納米環結構陣列圖案,除去導電液,得到圖案化的電子抗蝕劑;

3)以圖案化的電子抗蝕劑為掩膜版,在其上沉積一層金屬薄膜;

4)除去電子抗蝕劑,從而使沉積的金屬薄膜變為金屬納米環陣列(3)。

當前第2頁1 2 3 
網友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1
主站蜘蛛池模板: 城步| 信阳市| 青海省| 江油市| 宁波市| 枣强县| 什邡市| 屏边| 沂水县| 曲松县| 林西县| 潜江市| 延庆县| 临江市| 玉环县| 大冶市| 班戈县| 满城县| 西吉县| 邯郸市| 清苑县| 房山区| 基隆市| 深泽县| 吴桥县| 合水县| 三江| 聂拉木县| 崇信县| 吴旗县| 富民县| 丹寨县| 镇原县| 汕尾市| 平舆县| 焦作市| 瑞安市| 托里县| 雅安市| 虎林市| 沧源|