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基板切割粉塵的吸塵裝置的制作方法

文檔序號(hào):12161551閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種基板切割粉塵的吸塵裝置,其特征在于:在基板切割工位的兩側(cè)分別增加消除靜電空氣的噴嘴和吸嘴,噴嘴與離子發(fā)生器連接,離子發(fā)生器與空氣泵連接,吸嘴通過吸管與過濾桶連接,吸管上裝有真空泵,吸嘴在真空泵的作用下將遺留的少量粉塵吸走。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板切割粉塵的吸塵裝置,其特征在于:所述基板切割工位下方設(shè)有集塵桶,集塵桶與過濾桶連接。

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