技術總結
本實用新型公開一種基板切割粉塵的吸塵裝置，在基板切割工位的兩側分別增加消除靜電空氣的噴嘴和吸嘴，噴嘴與離子發生器連接，離子發生器與空氣泵連接，吸嘴通過吸管與過濾桶連接，吸管上裝有真空泵，吸嘴在真空泵的作用下將遺留的少量粉塵吸走。本實用新型的優點是提高了成品的質量率。

技術研發人員：唐炯麟
受保護的技術使用者：上海北陸微電子有限公司
文檔號碼：201621036363
技術研發日：2016.09.04
技術公布日：2017.03.15