專利名稱：鍍膜設備用的門閥傳動結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及連續濺射鍍膜設備中真空室之間隔斷用的門閥裝置，尤其是該門 閥的傳動結構。
背景技術：
目前的PVD (物理氣相沉積)技術，即在真空中對靶材進行蒸發、濺射，使靶材(陶 瓷、合金等)上的分子附著并沉積在沉底(玻璃、有機物、金屬等其他相關材料)上的方法， 需要在本底真空度達到高真空(10-1 10-6Pa)的條件下進行，這就要求連續式鍍膜設備 的各部分設計必需有良好的密閉性，而鍍膜設備中的活動部分恰是薄弱環節。門閥的傳動 不穩定會直接影響到腔體真空度的保持，從而影響正常工業生產。現有的門閥傳動采用氣缸撥叉傳動，基本可滿足目前低端產品的要求，但其旋轉 角度誤差大，傳動不精確，使得密封效果差。隨著對產品質量要求的不斷提高和對高端產品 的研發，對真空度的要求也隨之增長。現有的門閥傳動系統的密封效果已經很難為后續生 產服務，為達到較高的真空度和真空穩定性只能增加真空泵的數量，使得成本提高。

實用新型內容針對上述問題，本實用新型旨在提供一種傳動更精確并能有效增強密封效果的門 閥傳動結構。為實現該技術目的，本實用新型的方案是一種鍍膜設備用的門閥傳動結構，包括 提供動力的氣缸、安裝于支架上的門板組件，該組件由壓塊、肘節、門閥壓座和門閥板傳動 連接組成，所述氣缸通過齒條齒輪傳動結構連接至主軸，該主軸傳動連接壓塊，帶動門板組 件動作。所述齒條齒輪傳動結構包括固定連接在氣缸活動端上的齒條，通過聯軸器固定在 主軸上的齒輪，所述齒條和齒輪傳動嚙合。本結構的有益效果是傳動方法簡單實用，傳動效能高，控制精確。結構緊湊，傳動 靈活，門閥轉動無死角，門閥能緊密貼合真空室，密封效果非常理想。因為采用齒條齒輪傳 動非常靈活精密，因而各部件拆卸十分簡單，方便維護和更換各種部件。

圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型做進一步詳細說明。如圖1所示，本實用新型的一種鍍膜設備用的門閥傳動結構，包括提供動力的氣 缸1、安裝于支架2上的門板組件6，該組件由壓塊、肘節、門閥壓座和門閥板傳動連接組成， 所述氣缸1通過齒條齒輪傳動結構連接至主軸5，該主軸傳動連接壓塊，帶動門板組件2動作。所述齒條齒輪傳動結構包括固定連接在氣缸活動端上的齒條3，通過聯軸器固定在主軸 5上的齒輪4，所述齒條3和齒輪4傳動嚙合。在工作時，利用氣缸傳動至齒條-齒輪-聯軸器-主軸-壓塊-肘節_門閥壓座 最后帶動門閥板壓緊真空腔體。本齒條齒輪傳動結構保證了傳動的精確性，提高真空密封效果。齒條齒輪采用304 的不銹鋼材料變形量小，使用靈活部件緊湊精密，各部件結構合理，使用的動力小。提高了 連續鍍膜設備的真空度，為提高產品質量、生產高端產品提供了保障并節約了成本。以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡是依據本 實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何細微修改、等同替換和改進，均應包含在本 實用新型技術方案的保護范圍之內。
權利要求一種鍍膜設備用的門閥傳動結構，包括提供動力的氣缸、安裝于支架上的門板組件，該組件由壓塊、肘節、門閥壓座和門閥板傳動連接組成，其特征在于所述氣缸通過齒條齒輪傳動結構連接至主軸，該主軸傳動連接壓塊，帶動門板組件動作。
2.根據權利要求1所述的門閥傳動結構，其特征在于所述齒條齒輪傳動結構包括固 定連接在氣缸活動端上的齒條，通過聯軸器固定在主軸上的齒輪，所述齒條和齒輪傳動嚙I=I O
專利摘要本實用新型公開了一種傳動更精確并能有效增強密封效果的門閥傳動結構，包括提供動力的氣缸、安裝于支架上的門板組件，該組件由壓塊、肘節、門閥壓座和門閥板傳動連接組成，所述氣缸通過齒條齒輪傳動結構連接至主軸，該主軸傳動連接壓塊，帶動門板組件動作。本傳動方法簡單實用，傳動效能高，控制精確。結構緊湊，傳動靈活，門閥轉動無死角，門閥能緊密貼合真空室，密封效果非常理想。因為采用齒條齒輪傳動非常靈活精密，因而各部件拆卸十分簡單，方便維護和更換各種部件。
文檔編號C23C14/34GK201678730SQ20102019466
公開日2010年12月22日 申請日期2010年5月12日 優先權日2010年5月12日
發明者唐貴民, 姜翠寧, 王克斌, 王玨, 閆都倫, 陳強, 黃啟耀 申請人:深圳新南亞技術開發有限公司