專利名稱：一種otb鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種生產(chǎn)太陽(yáng)能電池的設(shè)備，具體是一種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置。
背景技術(shù)：
人們常常通過(guò)太陽(yáng)能電池進(jìn)行光電變換來(lái)獲得電力，硅太陽(yáng)能電池是一種有效地吸收太陽(yáng)能輻射并使之轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體電子器件，其廣泛應(yīng)用于各種照明及發(fā)電系統(tǒng)中。鍍膜是生產(chǎn)硅太陽(yáng)能電池的重要工序，膜層的均勻性對(duì)電池片的光電轉(zhuǎn)換效率有著很大的影響，現(xiàn)今鍍膜時(shí)膜層的均勻性不便于控制，鍍出的膜層均勻性差，如何改善鍍膜的膜層均勻性，進(jìn)而提高電池片轉(zhuǎn)換效率，這成為整個(gè)太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)普遍關(guān)注的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了能改善鍍膜時(shí)等離子體沉積分布，進(jìn)而提高鍍膜膜層均勻性的一種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置。本實(shí)用新型的目的主要通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，包括構(gòu)成圓環(huán)狀的噴淋管，所述噴淋管設(shè)有多個(gè)接通噴淋管內(nèi)部的噴淋孔，多個(gè)噴淋孔均勻分布在噴淋管構(gòu)成的圓環(huán)內(nèi)側(cè)壁上，所述噴淋管構(gòu)成的圓環(huán)外側(cè)壁上設(shè)置有一個(gè)接通噴淋管內(nèi)部的硅烷氣體輸入端口。本實(shí)用新型的噴淋管不限于構(gòu)成圓環(huán)狀，其也可構(gòu)成正三角形、方形、菱形等其它封閉多邊形。所述噴淋管的內(nèi)環(huán)直徑為30 500mm。所述噴淋孔為直徑為5 30_的圓孔。本實(shí)用新型的噴淋孔也不限于采用圓孔，其也可采用其它正多邊形孔進(jìn)行替換，為了便于制造，本實(shí)用新型優(yōu)選將噴淋孔設(shè)置為圓孔。所述噴淋孔的數(shù)量為2 15個(gè)。所述噴淋管的娃燒氣體輸入端口連接有娃燒氣體輸送管。本實(shí)用新型在噴淋管連接硅烷氣體輸送管，如此，便于向噴淋管中輸入硅烷氣體。所述硅烷氣體輸送管相對(duì)連接硅烷氣體輸入端口端的另一端連接有固定圓盤，所述固定圓盤設(shè)置有貫穿固定圓盤相對(duì)兩側(cè)壁的流體通孔和多個(gè)緊固孔，流體通孔位于固定圓盤的中央部位，硅烷氣體輸送管與流體通孔接通，所述多個(gè)緊固孔環(huán)繞流體通孔設(shè)置。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置固定圓盤，固定圓盤上設(shè)置有緊固孔，本實(shí)用新型可通過(guò)將螺栓穿過(guò)緊固孔，進(jìn)而完成對(duì)本實(shí)用新型的定位。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果本實(shí)用新型包括構(gòu)成圓環(huán)狀的噴淋管，噴淋管設(shè)有多個(gè)接通噴淋管內(nèi)部的噴淋孔，多個(gè)噴淋孔均勻分布在噴淋管構(gòu)成的圓環(huán)內(nèi)側(cè)壁上，本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)，整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于實(shí)現(xiàn)，制造成本低，且本實(shí)用新型在應(yīng)用時(shí)通過(guò)噴淋管構(gòu)成的圓環(huán)內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置的多個(gè)均勻分布的噴淋孔能使噴射在太陽(yáng)能電池硅片上的硅烷氣體分布均勻，硅烷氣體經(jīng)過(guò)電離形成均勻分布在太陽(yáng)能電池硅片上的等離子體，這就提高了鍍膜的致密性，進(jìn)而提高了電池片光電轉(zhuǎn)換效率。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中附圖標(biāo)記所對(duì)應(yīng)的名稱為1、噴淋管，2、噴淋孔，3、硅烷氣體輸送管，4、固
定圓盤。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，但本實(shí)用新型的實(shí)施 方式不限于此。實(shí)施例如圖I所示，一種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，包括構(gòu)成圓環(huán)狀的噴淋管I，其中，噴淋管I的內(nèi)環(huán)直徑為30 500mm,噴淋管I設(shè)有多個(gè)接通噴淋管I內(nèi)部的噴淋孔2，噴淋孔2為直徑為5 30mm的圓孔，其數(shù)量為2 15個(gè)，多個(gè)噴淋孔2均勻分布在噴淋管I構(gòu)成的圓環(huán)內(nèi)側(cè)壁的圓周上。多個(gè)噴淋孔2均勻分布在噴淋管I構(gòu)成的圓環(huán)內(nèi)側(cè)壁的圓周上具體為當(dāng)噴淋孔2的數(shù)量為兩個(gè)時(shí)，兩個(gè)噴淋孔2均設(shè)置在噴淋管I構(gòu)成的圓環(huán)的一條直徑上，且兩個(gè)噴淋孔2分別位于噴淋管I構(gòu)成的圓環(huán)相對(duì)兩端；當(dāng)噴淋孔2的數(shù)量為三個(gè)以上時(shí)，任意一個(gè)噴淋孔2距其相鄰的兩個(gè)噴淋孔2之間的距離相等。噴淋管I構(gòu)成的圓環(huán)外側(cè)壁上設(shè)置有一個(gè)接通噴淋管I內(nèi)部的硅烷氣體輸入端口，噴淋管I的娃燒氣體輸入端口連接有娃燒氣體輸送管3。娃燒氣體輸送管3相對(duì)連接娃燒氣體輸入端口端的另一端連接有固定圓盤4,固定圓盤4設(shè)置有貫穿固定圓盤4相對(duì)兩側(cè)壁的流體通孔和多個(gè)緊固孔，流體通孔位于固定圓盤4的中央部位，硅烷氣體輸送管4與流體通孔接通，多個(gè)緊固孔環(huán)繞流體通孔設(shè)置，為了便于采用螺栓對(duì)固定圓盤4進(jìn)行固定，緊固孔優(yōu)選采用螺紋孔。如上所述，則能很好的實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。
權(quán)利要求1.ー種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，其特征在于包括構(gòu)成圓環(huán)狀的噴淋管(1)，所述噴淋管(I)設(shè)有多個(gè)接通噴淋管(I)內(nèi)部的噴淋孔(2)，多個(gè)噴淋孔(2)均勻分布在噴淋管(I)構(gòu)成的圓環(huán)內(nèi)側(cè)壁上，所述噴淋管(I)構(gòu)成的圓環(huán)外側(cè)壁上設(shè)置有ー個(gè)接通噴淋管(I)內(nèi)部的硅烷氣體輸入端ロ。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，其特征在于所述噴淋管(I)的內(nèi)環(huán)直徑為30 500mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，其特征在于所述噴淋孔(2)為直徑為5 30mm的圓孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，其特征在于所述噴淋孔(2)的數(shù)量為2 15個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4任一項(xiàng)所述的ー種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，其特征在于所述噴淋管(I)的娃燒氣體輸入端ロ連接有娃燒氣體輸送管(3)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的ー種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，其特征在于所述硅烷氣體輸送管(3)相對(duì)連接硅烷氣體輸入端ロ端的另一端連接有固定圓盤(4)，所述固定圓盤(4)設(shè)置有貫穿固定圓盤(4)相對(duì)兩側(cè)壁的流體通孔和多個(gè)緊固孔，流體通孔位于固定圓盤(4)的中央部位，硅烷氣體輸送管(4)與流體通孔接通，所述多個(gè)緊固孔環(huán)繞流體通孔設(shè)置。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種OTB鍍膜設(shè)備的高均勻性硅烷噴淋裝置，包括構(gòu)成圓環(huán)狀的噴淋管(1)，噴淋管(1)設(shè)有多個(gè)接通噴淋管(1)內(nèi)部的噴淋孔(2)，多個(gè)噴淋孔(2)均勻分布在噴淋管(1)構(gòu)成的圓環(huán)內(nèi)側(cè)壁上，噴淋管(1)構(gòu)成的圓環(huán)外側(cè)壁上設(shè)置有一個(gè)接通噴淋管(1)內(nèi)部的硅烷氣體輸入端口。本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)，整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于實(shí)現(xiàn)，且通過(guò)多個(gè)噴淋孔(2)能提高鍍出的膜層的均勻性，從而能提高電池片的光電轉(zhuǎn)換效率。
文檔編號(hào)C23C16/455GK202558934SQ201220242979
公開(kāi)日2012年11月28日 申請(qǐng)日期2012年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月28日
發(fā)明者包崇彬, 李麗娟, 楊東, 舒毅, 劉亞龍, 羅衛(wèi)東, 羅丹丹, 杜莉, 李質(zhì)磊, 盛雯婷, 張鳳鳴 申請(qǐng)人:天威新能源控股有限公司, 保定天威集團(tuán)有限公司