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一種用于PECVD設備的石墨舟推舟機構的制作方法

文檔序號:12415802閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種用于PECVD設備的石墨舟推舟機構,包括推舟(300)及設于推舟(300)上的一對推舟桿組件(1),其特征在于:各所述推舟桿組件(1)遠離所述推舟(300)的一端設有旋轉式拉舟塊(2),所述推舟(300)上設有用于驅動旋轉式拉舟塊(2)轉動的驅動組件(3),所述驅動組件(3)與所述推舟桿組件(1)連接。

2.根據權利要求1所述的用于PECVD設備的石墨舟推舟機構,其特征在于:所述推舟桿組件(1)包括推舟管(11)及旋轉桿(12),所述推舟管(11)固設于所述推舟(300)上,所述旋轉桿(12)穿過所述推舟管(11),所述旋轉式拉舟塊(2)設于所述旋轉桿(12)遠離所述推舟(300)的一端,所述驅動組件(3)與所述旋轉桿(12)的另一端連接。

3.根據權利要求2所述的用于PECVD設備的石墨舟推舟機構,其特征在于:所述驅動組件(3)包括驅動缸(31)、一對連桿(32)及一對轉盤(33),所述驅動缸(31)裝設于所述推舟(300)上且推桿與一對連桿(32)的一端鉸接,一對連桿(32)的另一端分別與一個轉盤(33)鉸接,一對轉盤(33)與一對旋轉桿(12)一一對應連接。

4.根據權利要求3所述的用于PECVD設備的石墨舟推舟機構,其特征在于:所述驅動組件(3)還包括PLC控制器(34),所述PLC控制器(34)與所述驅動缸(31)連接。

5.根據權利要求3或4所述的用于PECVD設備的石墨舟推舟機構,其特征在于:所述驅動缸(31)為氣缸。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的用于PECVD設備的石墨舟推舟機構,其特征在于:所述旋轉式拉舟塊(2)靠近所述推舟(300)的側面為傾斜調整面(21),當石墨舟(100) 落在所述傾斜調整面(21)上時,所述石墨舟(100)向下滑動并向所述推舟(300)靠近。

7.根據權利要求6所述的用于PECVD設備的石墨舟推舟機構,其特征在于:當一對旋轉式拉舟塊(2)轉動至一對推舟桿組件(1)之間時,一對旋轉式拉舟塊(2)接觸。

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