技術總結
本發明公開了一種用于PECVD設備的石墨舟推舟機構，包括推舟及設于推舟上的一對推舟桿組件，各所述推舟桿組件遠離所述推舟的一端設有旋轉式拉舟塊，所述推舟上設有用于驅動旋轉式拉舟塊轉動的驅動組件，所述驅動組件與所述推舟桿組件連接，本發明具有結構簡單、能夠順利進入石墨舟底部并可靠拉舟等優點。

技術研發人員：肖潔;李斌;曹明旺
受保護的技術使用者：湖南紅太陽光電科技有限公司
文檔號碼：201611008331
技術研發日：2016.11.16
技術公布日：2017.05.31