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一種鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法與流程

文檔序號:12609869閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

S1.將分析純及以上的PbI2與碘甲胺或碘乙胺按摩爾比1:0.8~1.2的配比混合研磨,得到鈣鈦礦材料;

S2.將步驟S1得到的鈣鈦礦材料壓制成鈣鈦礦靶材;

S3.將步驟S2得到的鈣鈦礦靶材放入真空磁控濺射臺進行磁控濺射,薄膜厚度達到50~1500nm后放氣,得到鈣鈦礦薄膜。

2.根據權利要求1所述的鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,步驟S1中,在PbI2與碘甲胺或碘乙胺研磨前加入異丙醇或DMF或無水甲醇作為研磨介質,研磨后進行烘干,得到鈣鈦礦材料。

3.根據權利要求1或2所述的鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,步驟S1中,分析純及以上的PbI2與碘甲胺或碘乙胺按摩爾比1:1配比。

4.根據權利要求1所述的鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,步驟S2中,鈣鈦礦材料壓制后進行真空密封得到鈣鈦礦靶材。

5.根據權利要求1~2任一項所述的鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,步驟S2中,將步驟S1得到的鈣鈦礦材料放入模具中在5~150MPa壓力下壓制成鈣鈦礦靶材。

6.根據權利要求5所述的鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,步驟S2中,將步驟S1得到的鈣鈦礦材料放入模具中在10~100MPa壓力下壓制成鈣鈦礦靶材。

7.根據權利要求1所述的鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,步驟S3中,進行磁控濺射前將真空磁控濺射臺抽真空至10-4~10-6Pa充入氬氣至0.5~0.8Pa。

8.根據權利要求7所述的鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,步驟S3中,進行磁控濺射前將真空磁控濺射臺抽真空至10-5Pa充入氬氣至0.5~0.8Pa。

9.根據權利要求1或2或4或7或8所述的鈣鈦礦材料及其相關薄膜的制備方法,其特征在于,步驟S3中,磁控濺射薄膜達到100~1000nm后放氣取出。

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